板81下方的推拉電動件82，該推拉電動件82可拉動旋轉(zhuǎn)板81的活動端向下傾斜。當?shù)谝惠斔屯ǖ?1上的硅片運送至第二輸送通道31時，控制器根據(jù)檢測信號控制轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)裝置8是否向下傾斜，當檢測信號為破損時，轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)裝置8向下傾斜，硅片落入到破損收集盒6中，當檢測信號為正常時，轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)裝置8保持水平，硅片繼續(xù)向后運送至第三輸送單元4。
[0026]如圖5所示，第三輸送單元4包括:與第一輸送通道21數(shù)量配合的第三輸送通道41、與所有第三輸送通道41傳動連接的第三馬達42，第三馬達42可帶動所有第三輸送通道41同步運送。第三輸送通道41接收第二輸送通道31運送的硅片，并將硅片繼續(xù)向后運送至下一工序的設備上。
[0027]如圖2、3所示，本檢測設備還包括:用于檢測本檢測設備異?；蛳乱还ば蛟O備異常的異常檢測單元和用于設備異常時收集硅片的異常收集盒7。第一輸送單元2的底部設置有升降電動件23，升降電動件23可推動整個第一輸送單元2升降運動，第一輸送單元2底部還設有至少一個導向機構(gòu)24，導向機構(gòu)為導桿和套筒，其作用是使第一輸送單元2的升降運送更平穩(wěn)可靠。異常收集盒7設置在第一輸送單元2的前端下方，當異常檢測單元檢測到本檢測設備或下一工序的設備出現(xiàn)故障時，控制器接收異常檢測單元發(fā)出的信號，并控制升降電動件23推動第一輸送單元2升至上位，此時硅片從上一工序設備的傳送帶上掉落至異常收集盒7內(nèi)，以便有效收集保護硅片，防止硅片在設備異常時造成損壞。
[0028]第一輸送通道21由兩對稱設置的第一傳送帶組件211構(gòu)成，背光源52設置在兩第一傳送帶組件211之間的下方。第二輸送通道31由兩對稱設置的第二傳送帶組件311構(gòu)成，旋轉(zhuǎn)板81兩側(cè)設有第四傳送帶組件811，旋轉(zhuǎn)板81與第二輸送單元3后端之間的鉸接軸為傳動軸，第二傳送帶組件311通過傳動軸將動力傳遞至第四傳送帶組件811上，從而達到旋轉(zhuǎn)板81的運送速度與第二輸送通道31的運送速度相同。第三輸送通道41也由兩對稱設置的第三傳送帶組件411構(gòu)成。
[0029]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【主權項】
1.一種硅片破損檢測設備，其特征在于包括:機架(I)，用于依次向后輸送硅片的第一輸送單元(2)、第二輸送單元(3)和第三輸送單元(4)，用于檢測娃片破損的破損檢測單元(5)，用于收集破損硅片的破損收集盒(6)，用于控制第一輸送單元(2)、第二輸送單元(3)和第三輸送單元(4)運行狀態(tài)的控制器； 所述破損檢測單元(5)與第一輸送單元位置(2)配合，所述第二輸送單元(3)的后端可向下傾斜轉(zhuǎn)動，所述破損收集盒(6)設于第二輸送單元(3)的后端下方，所述控制器接收破損檢測單元(5)的檢測信號，并控制第二輸送單元(3)后端是否向下傾斜。2.如權利要求1所述的硅片破損檢測設備，其特征在于，還包括:用于檢測本檢測設備異?；蛳乱还ば蛟O備異常的異常檢測單元、用于設備異常時收集硅片的異常收集盒(7)，所述異常收集盒(7)設于第一輸送單元(2)的前端下方，所述第一輸送單元(2)可升降運動，所述控制器接收異常檢測單元的檢測信號，并控制第一輸送單元(2)是否向上升起。3.如權利要求1所述的硅片破損檢測設備，其特征在于，所述檢測單元包括:設于第一輸送單元(2)上方的相機(51)、設于第一輸送單元下方的背光源(52)、接收相機(51)所拍圖像的圖像分析模塊，所述圖像分析模塊分析圖像并將檢測信號傳送至控制器。4.如權利要求2所述的硅片破損檢測設備，其特征在于，所述第一輸送單元(2)底部設有升降電動件(23)，第一輸送單元(2)的底部還設有至少一個導向機構(gòu)(24)，所述升降電動件(23)可推動第一輸送單元(2)升降運動，所述升降電動件(23)與控制器連接。5.如權利要求1所述的硅片破損檢測設備，其特征在于，所述第二輸送單元(3)的后端連接有轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)裝置(8)，該轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)裝置(8)包括:一端鉸接在第二輸送單元(3)后端的旋轉(zhuǎn)板(81)、鉸接連接在所述旋轉(zhuǎn)板(81)下方的推拉電動件(82)，所述推拉電動件(82)可拉動旋轉(zhuǎn)板(81)的活動端向下傾斜，所述推拉電動件(82 )與控制器連接。6.如權利要求5所述的硅片破損檢測設備，其特征在于，所述第一輸送單元(2)包括:并排設置的至少一個第一輸送通道(21)、與第一輸送通道(21)數(shù)量相同的第一馬達(22)，每個第一輸送通道(21)傳動連接一個第一馬達(22)，所述第一馬達(22)可帶動各自連接的第一輸送通道(21)向后運送硅片； 所述第二輸送單元(3)包括:與第一輸送通道(21)數(shù)量配合的第二輸送通道(31)、與所有第二輸送通道(31)傳動連接的第二馬達(32)，所述第二馬達(32)可帶動所有第二輸送通道(31)同步運送； 所述第三輸送單元(4)包括:與第一輸送通道(21)數(shù)量配合的第三輸送通道(41)、與所有第三輸送通道(41)傳動連接的第三馬達(42)，所述第三馬達(42)可帶動所有第三輸送通道(41)同步運送。7.如權利要求6所述的硅片破損檢測設備，其特征在于，每個第一輸送通道(21)均配合設有破損檢測單元(5)，每個第二輸送通道(31)的后端連接一轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)裝置(8)。8.如權利要求7所述的硅片破損檢測設備，其特征在于，所述第一輸送通道(21)、第二輸送通道(31)及第三輸送通道(41)均由兩對稱設置的傳送帶組件構(gòu)成，所述旋轉(zhuǎn)板(81)的兩側(cè)也設有傳送帶組件。
【專利摘要】本實用新型公開了一種硅片破損檢測設備，包括：機架，用于依次向后輸送硅片的第一輸送單元、第二輸送單元和第三輸送單元，用于檢測硅片破損的檢測單元，用于收集破損硅片的破損收集盒，用于設備異常時收集硅片的異常收集盒。檢測單元、第一輸送單元、第二輸送單元及第三輸送單元均與一控制器連接。本實用新型可對有規(guī)則的硅片進行在線批量自動檢測，且能根據(jù)檢測信號自動處理硅片，設備結(jié)構(gòu)簡單連貫，能有效提高硅片的完整度和生產(chǎn)加工效率。
【IPC分類】G01N21/88, B07C5/34
【公開號】CN205262985
【申請?zhí)枴緾N201520957315
【發(fā)明人】劉大鵬, 張濤, 梁善友, 蔣開發(fā), 張勇
【申請人】深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司
【公開日】2016年5月25日
【申請日】2015年11月26日