氣壓梯度等情況，以單點(diǎn)參數(shù)修正激光波長(zhǎng)將存在較大誤差。
[0025]所以，基于上述原因，在本申請(qǐng)中，在測(cè)量過(guò)程中檢測(cè)當(dāng)前測(cè)量環(huán)境下，激光的環(huán)境等效波長(zhǎng)λ’，所以直接避免了不同區(qū)域空氣折射率不同而帶來(lái)的問(wèn)題，如此，減小環(huán)境因素帶來(lái)的誤差，進(jìn)而進(jìn)一步的提高了本申請(qǐng)激光干涉儀的測(cè)量精度。
[0026]本申請(qǐng)還公開(kāi)了一種用于上述激光波長(zhǎng)修正式平面反射鏡激光干涉儀的測(cè)量方法，其包括有下述步驟:
[0027]步驟一:安裝本發(fā)明所述平面反射鏡激光干涉儀；
[0028]步驟二:將測(cè)量平面反射鏡裝置設(shè)置在被測(cè)物體上；
[0029]步驟三:調(diào)試本發(fā)明所述角反射鏡激光干涉儀，使形成符合要求的光路，并且，使第一激光束與第二激光束處于干涉狀態(tài)；
[0030]步驟四:開(kāi)始測(cè)量工作前，啟動(dòng)精密位移裝置，使測(cè)量平面反射鏡產(chǎn)生位移，所述測(cè)量平面反射鏡的位移方向與被測(cè)物體的位移方向在同一直線上，當(dāng)光電探測(cè)器檢測(cè)到最強(qiáng)相長(zhǎng)干涉時(shí)，停止精密位移裝置，并將光電探測(cè)器計(jì)數(shù)清零；
[0031]步驟五:開(kāi)始測(cè)量工作，被測(cè)物體開(kāi)始移動(dòng)，光電探測(cè)器記錄第一激光束與第二激光束最強(qiáng)相長(zhǎng)干涉的次數(shù)N;
[0032]步驟六:被測(cè)物體位移結(jié)束，處于靜止?fàn)顟B(tài)，再次啟動(dòng)精密位移裝置，使測(cè)量平面反射鏡產(chǎn)生位移，所述測(cè)量平面反射鏡的位移方向與被測(cè)物體的位移方向在同一直線上，當(dāng)光電探測(cè)器再次檢測(cè)到最強(qiáng)相長(zhǎng)干涉時(shí)，停止所述精密位移裝置，使測(cè)量平面反射鏡停止；
[0033]步驟七:讀取精密位移裝置為所述測(cè)量平面反射鏡提供的位移值A(chǔ)L;
[0034]步驟八:記錄測(cè)量過(guò)程中光電探測(cè)器記錄的最強(qiáng)相長(zhǎng)干涉次數(shù)N和測(cè)量平面反射鏡位移值A(chǔ)L。
[0035]步驟九:再次啟動(dòng)精密位移裝置，移動(dòng)測(cè)量平面反射鏡，使光電探測(cè)器記錄最強(qiáng)相長(zhǎng)干涉的次數(shù)M(M為正整數(shù))，并讀取Μ次最強(qiáng)相長(zhǎng)干涉對(duì)應(yīng)的測(cè)量平面反射鏡位移值Z。根據(jù)Ζ=ΜΧλ’/2，得出當(dāng)前測(cè)量環(huán)境下，激光的等效波長(zhǎng)λ’=2Ζ/Μ。
[0036]步驟十:計(jì)算被測(cè)物體的位移值。
[0037]若位移AL與被測(cè)物體的位移方向相同，則，被測(cè)物體實(shí)際產(chǎn)生的位移值L= Ν Xλ72+(λ’/2-Λυ，其中Λ?<λ’/2，式中λ’為激光等效波長(zhǎng)；
[0038]若位移AL與被測(cè)物體的位移方向相反，則，被測(cè)物體實(shí)際產(chǎn)生的位移值L= NXλ’/2+AL，其中Λ?<λ’/2，式中λ’為激光等效波長(zhǎng)。
[0039]本申請(qǐng)的測(cè)量方法，由于將測(cè)量平面反射鏡位移值A(chǔ)L補(bǔ)充入被測(cè)物體的位移值中，直接提高了被測(cè)物體位移的測(cè)量精度。同時(shí)，通過(guò)檢測(cè)測(cè)量環(huán)境中的等效波長(zhǎng)λ’，即對(duì)激光的波長(zhǎng)進(jìn)行修正，如此減小環(huán)境因素帶來(lái)的誤差，進(jìn)而進(jìn)一步的提高了本申請(qǐng)激光干涉儀的測(cè)量精度。
[0040]作為本申請(qǐng)的優(yōu)選方案，所述步驟四至步驟九中，所述最強(qiáng)相長(zhǎng)干涉還可以是最弱相消干涉。在本方案中，在進(jìn)行測(cè)量過(guò)程中，光電探測(cè)器是記錄第一激光束與第二激光束最弱相消干涉的次數(shù)，如此依然可以得到一個(gè)精度較高的被測(cè)物體的位移值L。
[0041]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果:
[0042]1、將被測(cè)物體實(shí)際位移中超出半個(gè)激光波長(zhǎng)的小數(shù)部分AL也測(cè)量出來(lái)補(bǔ)充到位移檢測(cè)結(jié)果中，進(jìn)而使得本申請(qǐng)的激光干涉儀所測(cè)量得到的位移結(jié)果更加精確，其精度高于半個(gè)激光波長(zhǎng)，具體取決于精密位移裝置所能提供的位移精度；
[0043]2、檢測(cè)測(cè)量環(huán)境中激光的等效波長(zhǎng)λ’，對(duì)激光波長(zhǎng)進(jìn)行修正，如此，減小環(huán)境因素帶來(lái)的誤差，進(jìn)而進(jìn)一步的提高了本申請(qǐng)激光干涉儀的測(cè)量精度。
【附圖說(shuō)明】
:
[0044]圖1為本發(fā)明激光干涉儀結(jié)構(gòu)的光路示意圖；
[0045]圖2為本發(fā)明中測(cè)量平面反射鏡與第二位移件為一體式結(jié)構(gòu)的示意圖，
[0046]圖中標(biāo)記:
[0047]1-激光源，2-固定平面反射鏡，3-光電探測(cè)器，4-測(cè)量平面反射鏡裝置，5-分光鏡，6-測(cè)量平面反射鏡，7-精密位移裝置，8-第一激光束，9-第二激光束，10-被測(cè)物體，11-支撐平臺(tái)，12-驅(qū)動(dòng)裝置，13-第一位移件，14-第二位移件，15-斜面，16-約束裝置，17-磁性件。
【具體實(shí)施方式】
[0048]下面結(jié)合試驗(yàn)例及【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。但不應(yīng)將此理解為本發(fā)明上述主題的范圍僅限于以下的實(shí)施例，凡基于本
【發(fā)明內(nèi)容】
所實(shí)現(xiàn)的技術(shù)均屬于本發(fā)明的范圍。
[0049]實(shí)施例1，
[0050]如圖1、2所示，一種激光波長(zhǎng)修正式平面反射鏡激光干涉儀，包括激光源1、固定平面反射鏡2、光電探測(cè)器3、測(cè)量平面反射鏡裝置4和分光鏡5，所述測(cè)量平面反射鏡裝置4包括測(cè)量平面反射鏡6和精密位移裝置7，所述激光源1射出的激光束經(jīng)所述分光鏡5后分為第一激光束8和第二激光束9，第一激光束8射向所述固定平面反射鏡2，經(jīng)所述固定平面反射鏡2反射后再次射向所述分光鏡5，再經(jīng)分光鏡5后射向所述光電探測(cè)器3，第二激光束9射向所述測(cè)量平面反射鏡6，經(jīng)所述測(cè)量平面反射鏡6反射后再次射向所述分光鏡5，經(jīng)分光鏡5后射向所述光電探測(cè)器3，第一激光束8與第二激光束9在射向所述光電探測(cè)器3時(shí)發(fā)生干涉，所述測(cè)量平面反射鏡6設(shè)置在所述精密位移裝置7上，所述精密位移裝置7設(shè)置在被測(cè)物體10上，所述精密位移裝置7為所述測(cè)量平面反射鏡6提供與被測(cè)物體10位移同向或反向的位移。
[0051 ]本實(shí)施例中，由于將測(cè)量平面反射鏡6設(shè)置在精密位移裝置7上，而精密位移裝置7設(shè)置在被測(cè)物體10上，當(dāng)被測(cè)物體10發(fā)生位移時(shí)，被測(cè)物體10帶動(dòng)精密位移裝置7，進(jìn)而帶動(dòng)測(cè)量平面反射鏡6，如此，當(dāng)被測(cè)物體10發(fā)生位移時(shí)，在位移過(guò)程中，由于第二激光束9光程的變化，使得第一激光束8與第二激光束9的干涉狀態(tài)也隨之變化，開(kāi)始測(cè)量工作前，啟動(dòng)精密位移裝置7，使測(cè)量平面反射鏡6產(chǎn)生位移，所述測(cè)量平面反射鏡6的位移方向與被測(cè)物體10的位移方向在同一直線上，當(dāng)光電探測(cè)器3檢測(cè)到最強(qiáng)相長(zhǎng)干涉時(shí)，停止精密位移裝置7，并將光電探測(cè)器3計(jì)數(shù)清零，然后再開(kāi)始測(cè)量被測(cè)物體10的位移，在第一激光束8與第二激光束9干涉狀態(tài)變化過(guò)程中，光電探測(cè)器3記錄最強(qiáng)相長(zhǎng)干涉的次數(shù)N，當(dāng)被測(cè)物體10移動(dòng)結(jié)束，處于靜止?fàn)顟B(tài)時(shí)，光電探測(cè)器3停止計(jì)數(shù);此時(shí)，通過(guò)精密位移裝置7使測(cè)量平面反射鏡6在被測(cè)物體10的位移方向上移動(dòng)，并觀測(cè)光電探測(cè)器3，當(dāng)光電探測(cè)器3檢測(cè)到最強(qiáng)相長(zhǎng)干涉時(shí)，停止精密位移裝置7，并讀取精密位移裝置7為測(cè)量平面反射鏡6提供的位移值A(chǔ)L。
[0052]若位移AL與被測(cè)物體10的位移方向相同，則，被測(cè)物體10實(shí)際產(chǎn)生的位移值L = NXλ/2+(λ/2_Λυ，其中Λ?<λ/2，式中λ為激光波長(zhǎng)；
[0053 ]而，若位移AL與被測(cè)物體10的位移方向相反，則，被測(cè)物體10實(shí)際產(chǎn)生的位移值L= NXA/2+AL，其中Λ?<λ/2，式中λ為激光波長(zhǎng)。
[0054]如此，通過(guò)上述結(jié)構(gòu)，將被測(cè)物體10實(shí)際位移中超出半個(gè)激光波長(zhǎng)的小數(shù)部分AL也測(cè)量出來(lái)并補(bǔ)充到位移檢測(cè)結(jié)果中，進(jìn)而使得本申請(qǐng)的激光干涉儀所測(cè)量得到的位移結(jié)果更加精確，其精度高于半個(gè)激光波長(zhǎng)，具體取決于精密位移裝置7所能提供的位移精度。
[0055]實(shí)施例2，
[0056]如圖1、2所示，如實(shí)施例1所述的激光干涉儀，所述精密位移裝置7包括支撐平臺(tái)11和設(shè)置在所述支撐平臺(tái)11上的驅(qū)動(dòng)裝置12，所述支撐平臺(tái)11與所述被測(cè)物體10相配合，所述驅(qū)動(dòng)裝置12為所述測(cè)量平面反射鏡6提供在被測(cè)物體10位移方向上的位移，所述驅(qū)動(dòng)裝置12為壓電陶瓷型驅(qū)動(dòng)裝置。
[0057]在本實(shí)施例中，采用的壓電陶瓷型驅(qū)動(dòng)裝置12為能夠?qū)C(jī)械能和電能互相轉(zhuǎn)換的功能陶瓷材料，其在電場(chǎng)作用下產(chǎn)生的形變量很小，最多不超過(guò)本身尺寸的千萬(wàn)分之一的微小位移，具有良好的往復(fù)形變恢復(fù)能力，穩(wěn)定性好、精度尚，進(jìn)一步提尚了本實(shí)施例中精密位移裝置7的精度。
[0058]實(shí)施例3，
[0059]如圖1、2所示，如實(shí)施例2所述的激光干涉儀，所述精密位移裝置7還包括設(shè)置在所述支撐平臺(tái)11上的第一位移件13和設(shè)置在所述第一位移件13上的第二位移件14，所述驅(qū)動(dòng)裝置12與所述第一位移件13相配合，為所述第一位移件13提供沿所述支撐平臺(tái)11的位移，所述第一位移件13具有一相對(duì)于其位移方向傾斜的斜面15，所述第二位移件14滑動(dòng)設(shè)置在所述第一位移件13的斜面15上，使所述第二位移件14可沿所述第一位移件13的斜面15滑動(dòng)，所述第一位移件13與第二位移件14之間貼緊配合，所述測(cè)量平面反射鏡6設(shè)置在所述第二位移件14上，所述支撐平臺(tái)11上還設(shè)置有約束裝置16，所述約束裝置16限制所述第二位移件14沿所述第一位移件13位移方向上的運(yùn)動(dòng)，使得當(dāng)?shù)谝晃灰萍?3被所述驅(qū)動(dòng)裝置12帶動(dòng)而產(chǎn)生位移時(shí)，所述第二位移件14被所述第一位移件13帶動(dòng)而產(chǎn)生位移，并且，所述第二位移件14的位移方向與所述第一位移件13的位移方向相垂直，所述第一位移件13的斜面