技術(shù)編號：10209762
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種精密測試技術(shù)及儀器領(lǐng)域，特別涉及一種激光波長修正式平面反射鏡激光干涉儀。背景技術(shù)激光器的出現(xiàn)，使古老的干涉技術(shù)得到迅速發(fā)展，激光具有亮度高、方向性好、單色性及相干性好等特點，激光干涉測量技術(shù)已經(jīng)比較成熟。激光干涉測量系統(tǒng)應(yīng)用非常廣泛精密長度、角度的測量如線紋尺、光柵、量塊、精密絲杠的檢測；精密儀器中的定位檢測系統(tǒng)如精密機械的控制、校正;大規(guī)模集成電路專用設(shè)備和檢測儀器中的定位檢測系統(tǒng);微小尺寸的測量等。目前，在大多數(shù)激光干涉測長系統(tǒng)中，都采用...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。