用上述激光干涉儀的測(cè)量方法，
[0024]—種采用對(duì)比式抗干擾平面反射鏡激光干涉儀的測(cè)量方法:
[0025]在實(shí)際測(cè)量環(huán)境中，設(shè)所述反射測(cè)量光電探測(cè)器測(cè)量到的信號(hào)讀數(shù)為X，所述干涉測(cè)量光電探測(cè)器測(cè)量得到的信號(hào)讀數(shù)為y，將χ值和1值在最強(qiáng)干涉數(shù)據(jù)庫(kù)、最弱干涉數(shù)據(jù)庫(kù)、l/η波長(zhǎng)干涉數(shù)據(jù)庫(kù)中進(jìn)行比對(duì)，當(dāng)χ值和y值與最強(qiáng)干涉數(shù)據(jù)庫(kù)中的某一組值相匹配，則認(rèn)為此位置為最強(qiáng)相長(zhǎng)干涉位置，當(dāng)χ值和?值與最弱干涉數(shù)據(jù)庫(kù)中的某一組值相匹配，則認(rèn)為此位置為最弱相消干涉位置，當(dāng)χ值和?值與l/η波長(zhǎng)干涉數(shù)據(jù)庫(kù)中的某一組值相匹配，則認(rèn)為此位置為l/η波長(zhǎng)干涉位置。
[0026]本申請(qǐng)的測(cè)量方法，通過(guò)χ值和y值確定當(dāng)前干涉光束的干涉情況，以此實(shí)現(xiàn)抗環(huán)境干擾的能力，同時(shí)還提高了測(cè)量精度。
[0027]作為進(jìn)一步的優(yōu)選方案，設(shè)定y值的匹配閾值Λ，設(shè)最強(qiáng)干涉數(shù)據(jù)庫(kù)、最弱干涉數(shù)據(jù)庫(kù)、l/η波長(zhǎng)干涉數(shù)據(jù)庫(kù)中干涉測(cè)量光電探測(cè)器對(duì)應(yīng)的數(shù)值為r，根據(jù)χ值對(duì)最強(qiáng)干涉數(shù)據(jù)庫(kù)、最弱干涉數(shù)據(jù)庫(kù)、l/η波長(zhǎng)干涉數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行y’的查詢，如果存在y’使|y_y’ |〈Λ，再區(qū)分y’所在的數(shù)據(jù)庫(kù)，如果y’在最強(qiáng)干涉數(shù)據(jù)庫(kù)內(nèi)，則認(rèn)為此位置為最強(qiáng)相長(zhǎng)干涉位置，如果r在最弱干涉數(shù)據(jù)庫(kù)內(nèi)，則認(rèn)為此位置為最弱相消干涉位置，如果r在l/η波長(zhǎng)干涉數(shù)據(jù)庫(kù)內(nèi)，則認(rèn)為此位置為l/η波長(zhǎng)干涉位置。
[0028]作為進(jìn)一步的優(yōu)選方案，，設(shè)最強(qiáng)干涉數(shù)據(jù)庫(kù)、最弱干涉數(shù)據(jù)庫(kù)、l/η波長(zhǎng)干涉數(shù)據(jù)庫(kù)中反射測(cè)量光電探測(cè)器對(duì)應(yīng)的數(shù)值為X’，在實(shí)際測(cè)量中，選擇最接近實(shí)際測(cè)量值χ的X’作為匹配值，根據(jù)X’值對(duì)最強(qiáng)干涉數(shù)據(jù)庫(kù)、最弱干涉數(shù)據(jù)庫(kù)、l/η波長(zhǎng)干涉數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行y’進(jìn)行查詢，如果存在y’使|y_y’ |〈 Λ，再區(qū)分y’所在的數(shù)據(jù)庫(kù)，如果y’在最強(qiáng)干涉數(shù)據(jù)庫(kù)內(nèi)，則認(rèn)為此位置為最強(qiáng)相長(zhǎng)干涉位置，如果1，在最弱干涉數(shù)據(jù)庫(kù)內(nèi)，則認(rèn)為此位置為最弱相消干涉位置，如果1，在l/η波長(zhǎng)干涉數(shù)據(jù)庫(kù)內(nèi)，則認(rèn)為此位置為l/η波長(zhǎng)干涉位置。
[0029]作為進(jìn)一步的優(yōu)選方案，所述匹配閾值Λ的大小保證在進(jìn)行數(shù)據(jù)查詢時(shí)，當(dāng)滿足y-y’ |〈Λ時(shí)，y’為唯一值。當(dāng)匹配閾值Λ較大時(shí)，可能會(huì)出現(xiàn)一組χ值和y值匹配到兩組或者多組χ’值和y’值，給測(cè)量帶來(lái)不便，所以先匹配閾值Λ，使在測(cè)量過(guò)程中一組χ值和y值最多匹配一組χ’值和y’值，方便測(cè)量。
[0030]作為進(jìn)一步的優(yōu)選方案，所述匹配閾值Λ的大小按照實(shí)際測(cè)量的精度要求進(jìn)行設(shè)定，當(dāng)需要高精度的測(cè)量值時(shí)，采用較小的匹配閾值，當(dāng)不需要高精度測(cè)量值時(shí)，采用較大的匹配閾值。
[0031]作為進(jìn)一步的優(yōu)選方案，設(shè)Λ= 5%。
[0032]在本申請(qǐng)的測(cè)量方法中，通過(guò)設(shè)置匹配閾值Λ，根據(jù)實(shí)際測(cè)量精度的需要設(shè)置匹配閾值Λ的大小，以此方便測(cè)量過(guò)程中，數(shù)據(jù)的匹配選擇，降低測(cè)量難度。
[0033]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果:
[0034]通過(guò)設(shè)置反射測(cè)量光電探測(cè)器，激光干涉測(cè)量環(huán)境發(fā)生變化后，可以通過(guò)對(duì)移動(dòng)平面反射鏡反射激光強(qiáng)度進(jìn)行測(cè)量，激光干涉狀態(tài)不再直接由干涉測(cè)量光電探測(cè)器的信號(hào)大小確定，而是由反射測(cè)量光電探測(cè)器與干涉測(cè)量光電探測(cè)器共同決定，可以大大提高激光干涉儀的抗干擾能力。
[0035]本申請(qǐng)其他實(shí)施方案的有益效果:
[0036]本申請(qǐng)的激光干涉儀，不僅能夠確定最強(qiáng)相長(zhǎng)干涉的位置，而且還能夠確定最弱相消干涉的位置及l(fā)/η波長(zhǎng)干涉位置，所以，使得本申請(qǐng)的激光干涉儀不僅能夠抗環(huán)境干擾，而且還提高了測(cè)量精度。
【附圖說(shuō)明】
:
[0037]圖1為本實(shí)用新型激光干涉儀結(jié)構(gòu)的光路示意圖，
[0038]圖中標(biāo)記:
[0039]1-激光源，2-固定平面反射鏡，3-移動(dòng)平面反射鏡，4-干涉測(cè)量光電探測(cè)器，5-分光鏡組，6-反射測(cè)量光電探測(cè)器，7-第一激光束，8-第二激光束，9-反射激光束，51-第一分光鏡，52-第二分光鏡。
【具體實(shí)施方式】
[0040]下面結(jié)合試驗(yàn)例及【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。但不應(yīng)將此理解為本實(shí)用新型上述主題的范圍僅限于以下的實(shí)施例，凡基于本【實(shí)用新型內(nèi)容】所實(shí)現(xiàn)的技術(shù)均屬于本實(shí)用新型的范圍。
[0041]實(shí)施例1，對(duì)比式抗干擾平面反射鏡激光干涉儀，包括有激光源1、固定平面反射鏡2、干涉測(cè)量光電探測(cè)器4、移動(dòng)平面反射鏡3和分光鏡組5，所述激光源1射出的激光束經(jīng)所述分光鏡組5后分為第一激光束7和第二激光束8，第一激光束7射向所述固定平面反射鏡2，經(jīng)所述固定平面反射鏡2反射后再次射向所述分光鏡組5，再經(jīng)分光鏡組5后射向所述干涉測(cè)量光電探測(cè)器4，第二激光束8射向所述移動(dòng)平面反射鏡3，經(jīng)所述移動(dòng)平面反射鏡3反射后再次射向所述分光鏡組5，經(jīng)分光鏡組5后射向所述干涉測(cè)量光電探測(cè)器4，第一激光束7與第二激光束8在射向所述干涉測(cè)量光電探測(cè)器4時(shí)發(fā)生干涉，所述激光干涉儀還包括有反射測(cè)量光電探測(cè)器6，所述第二激光束8在由所述移動(dòng)平面反射鏡3射向所述分光鏡組5后還形成有反射激光束9，所述反射激光束9射向所述反射測(cè)量光電探測(cè)器
6ο
[0042]作為本實(shí)施例的優(yōu)選方案，所述分光鏡組5包括有第一分光鏡51和第二分光鏡52，所述激光源1射出的激光束先射到第一分光鏡51，經(jīng)第一分光鏡51反射形成第一激光束7，經(jīng)第一分光鏡51透射形成第二激光束8，第一激光束7射向所述固定平面反射鏡2，經(jīng)反射后再次射向所述第一分光鏡51，然后再透射過(guò)所述第一分光鏡51，所述第二激光束8射向所述第二分光鏡52，經(jīng)所述第二分光鏡52透射后射向所述移動(dòng)平面反射鏡3，經(jīng)所述移動(dòng)平面反射鏡3反射后再射向所述第二分光鏡52，經(jīng)所述第二分光鏡52透射后射向所述第一分光鏡51，并且與從所述第一分光鏡51透射出的第一激光束7發(fā)生干涉，形成干涉光束后射向所述干涉測(cè)量光電探測(cè)器4，由所述移動(dòng)平面反射鏡3射向所述第二分光鏡52的所述第二激光束8還被所述第二分光鏡52反射形成所述反射激光束9。
[0043]本實(shí)施例的激光干涉儀，由于反射測(cè)量光電探測(cè)器6可以測(cè)量移動(dòng)平面反射鏡3反射激光束的強(qiáng)度，根據(jù)反射激光束的強(qiáng)度確定激光干涉光束的干涉狀態(tài)，如此實(shí)現(xiàn)抗環(huán)境干擾的目的。
[0044]作為進(jìn)一步的優(yōu)選方案，在所述激光源1、固定平面反射鏡2、干涉測(cè)量光電探測(cè)器4、分光鏡組5、反射測(cè)量光電探測(cè)器6中任意兩個(gè)之間的激光束設(shè)置在封閉空間內(nèi)而不與外部環(huán)境空間接觸。在本申請(qǐng)中，激光源1、固定平面反射鏡2、干涉測(cè)量光電探測(cè)器4、分光鏡組5和反射測(cè)量光電探測(cè)器6這些部件任意兩個(gè)之間的激光束設(shè)置在封閉空間內(nèi)，使得在進(jìn)行測(cè)量的過(guò)程中，上述這些部件之間的激光束并不會(huì)受到環(huán)境因素的影響，進(jìn)而保證了本申請(qǐng)激光干涉儀的測(cè)量精度。
[0045]作為進(jìn)一步的優(yōu)選方案，所述分光鏡組5與所述移動(dòng)平面反射鏡3之間的激光束暴露在環(huán)境空氣之中。在實(shí)際使用時(shí)，移動(dòng)平面反射鏡3設(shè)置在被測(cè)物體上，隨被測(cè)物體運(yùn)動(dòng)，所以在本申請(qǐng)中，將分光鏡組5與移動(dòng)平面反射鏡3之間的激光束暴露在環(huán)境空氣之中，首先是使得本申請(qǐng)激光干涉儀結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，同時(shí)還方便本申請(qǐng)激光干涉儀的布置。
[0046]實(shí)施例2，如圖所示，一種用于對(duì)比式抗干擾平面反射鏡激光干涉儀的標(biāo)定方法，包括下述步驟:
[0047]步驟一、位置調(diào)整:調(diào)整好激光源1、固定平面反射鏡2、分光鏡組5、干涉測(cè)量光電探測(cè)器4、反射測(cè)量光電探測(cè)器6和移動(dòng)平面反射鏡3的位置；
[0048]步驟二、調(diào)整光路:啟動(dòng)所述激光源1，進(jìn)一步精確調(diào)整固定平面反射鏡2、分光鏡組5、干涉測(cè)量光電探測(cè)器4、反射測(cè)量光電探測(cè)器6和移動(dòng)平面反射鏡3的位置，使激光干涉儀的光路達(dá)到設(shè)計(jì)要求；
[0049]步驟三、生成最強(qiáng)干涉數(shù)據(jù)庫(kù):在空氣潔凈的環(huán)境下移動(dòng)所述移動(dòng)平面反射鏡3，當(dāng)射向所述干涉測(cè)量光電探測(cè)器4的干涉光束為最強(qiáng)相長(zhǎng)干涉時(shí)固定所述移動(dòng)平面反射鏡3，記錄此時(shí)反射測(cè)量光電探測(cè)器6讀數(shù)和干涉測(cè)量光電探測(cè)器4讀數(shù)，改變空氣環(huán)境使所述反射測(cè)量光電探測(cè)器6讀數(shù)變化，同時(shí)記錄若干個(gè)反射測(cè)量光電探測(cè)器6讀數(shù)以及對(duì)應(yīng)的干涉測(cè)量光電探測(cè)器