一種應(yīng)用于測量半導(dǎo)體器件熱阻的固定裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于半導(dǎo)體熱阻測量領(lǐng)域，具體是一種可定量調(diào)節(jié)壓力并顯示壓力大小的半導(dǎo)體器件固定裝置，可用于不同高度的半導(dǎo)體器件的熱阻測量。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體器件向尺寸小、集成度高等方向的發(fā)展，尤其是工作功率的不斷增大導(dǎo)致器件工作時產(chǎn)生的熱量不斷增多，使結(jié)溫升高，從而導(dǎo)致器件可靠性下降，壽命縮短。為了準(zhǔn)確評價其可靠性，對器件熱阻的測試尤為重要。
[0003]目前，半導(dǎo)體器件熱阻測試多采用電學(xué)法，相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)主要有國軍標(biāo)128A-973103，美軍標(biāo)MIL-STD-750E 3101.4等，測試設(shè)備均帶有器件固定裝置。測量時需用固定裝置將器件壓于恒溫平臺上，該壓力大小對于測量結(jié)果影響很大?，F(xiàn)有的簡易器件固定裝置難以保證施加壓力的可重復(fù)性，并且大小也無法得知，容易損壞器件，而基于氣壓的器件固定裝置需要氣瓶和氣壓表等裝置，體積過大且成本過高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]針對熱阻測量中存在的器件固定問題，本實用新型設(shè)計了一種基于套筒、橫臂、彈簧、軸承、壓力傳感器的半導(dǎo)體器件固定裝置，壓力可快速調(diào)節(jié)并定量顯示，對于不同高度的半導(dǎo)體器件均適用，對于器件具有一定的保護(hù)作用，并且可實現(xiàn)快速脫離器件。該裝置可應(yīng)用于多種半導(dǎo)體器件，結(jié)構(gòu)簡單可靠。
[0005]本實用新型采用的技術(shù)方案如下:
[0006]一種應(yīng)用于測量半導(dǎo)體器件熱阻的固定裝置，并且可定量調(diào)節(jié)及顯示壓力大小，裝配后整體效果圖如圖5所示。零件示意圖如圖1所示，包括壓力調(diào)節(jié)螺栓1、平面軸承2、第一套筒3、壓力彈簧4、第二套筒5、壓桿回彈彈簧6、壓桿7、水平橫梁8、垂直立柱9、整體回彈彈簧10、第一手柄頂絲11、第二手柄頂絲12、壓力傳感器罩13、圓柱頂絲14、壓力傳感器15。
[0007]壓力調(diào)節(jié)螺栓I由一個橫向圓柱型手柄和一個縱向圓柱型螺栓組成，螺栓有外螺紋。
[0008]第一套筒3由三個圓柱型套筒組成，第一部分外徑大于第二部分，第二部分外徑大于第三部分。第三部分底端外部有外螺紋。
[0009]將壓力調(diào)節(jié)螺栓I與套筒3頂端裝配，裝配后，壓力調(diào)節(jié)螺栓I位于第一套筒3內(nèi)部。壓力調(diào)節(jié)螺栓I下方是平面軸承2，平面軸承2下方是壓力彈簧4。順時針旋轉(zhuǎn)壓力調(diào)節(jié)螺栓I可控制向下的進(jìn)動量，使壓力彈簧4產(chǎn)生不同壓力，平面軸承2將壓力調(diào)節(jié)螺栓I產(chǎn)生的水平轉(zhuǎn)動摩擦力與下方的壓力彈簧4隔離，避免裝置轉(zhuǎn)動對被測器件表面產(chǎn)生劃傷。
[0010]第二套筒5是一個圓筒，圓筒頂端內(nèi)徑大，底端內(nèi)徑小，第二套筒5頂端內(nèi)徑與第一套筒3底端外徑一致，第二套筒5頂端有內(nèi)螺紋。
[0011]壓桿7由兩個圓柱組成，第一部分直徑大于第二部分，第二部分底端有外螺紋。
[0012]將壓桿回彈彈簧6套在壓桿7第二部分外部，然后穿過第二套筒5。將第一套筒3底端與第二套筒5頂端裝配，裝配后，第一套筒3位于第二套筒5上方，壓桿7位于壓力彈簧4下方。
[0013]壓力傳感器罩13是一個圓筒，圓筒頂端內(nèi)徑小，底端內(nèi)徑大，底端一側(cè)有一圓形通孔，另一側(cè)有一 U型通孔。壓力傳感器罩13頂端內(nèi)徑與壓桿7底端外徑一致，壓力傳感器罩13頂端有內(nèi)螺紋，將壓桿7底端與壓力傳感器罩13頂端裝配，裝配后，壓桿7位于壓力傳感器罩13上方。
[0014]水平橫梁8由圓柱型套筒A和方形橫梁B組成。圓柱型套筒A位于方形橫梁B上方的部分，側(cè)面有一圓形通孔，圓柱型套筒A底端內(nèi)部有一臺階。將整體回彈彈簧10置于圓柱型套筒A內(nèi)部，位于圓柱型套筒A底端臺階上方。將第一套筒3穿過圓柱型套筒A，第一套筒3第一部分位于圓柱型套筒A上方，第一套筒3第二部分、第三部分位于圓柱型套筒A內(nèi)部，整體回彈彈簧10套在第一套筒3第三部分外部，第一套筒3第三部分底端穿過圓柱型套筒A底端。第一手柄頂絲11穿過圓柱型套筒A側(cè)面圓形通孔，將圓柱型套筒A與套筒3垂直位置固定。
[0015]垂直立柱9是一個長方體，頂端有一方形通孔，頂端側(cè)面有一圓形通孔。將水平橫梁8的方形橫梁B穿過垂直立柱9的方形通孔，第二手柄頂絲12穿過垂直立柱9側(cè)面圓形通孔，將方形橫梁B與垂直立柱9水平位置固定。垂直立柱9底端有四個圓形內(nèi)螺紋孔，固定于熱沉平臺上方。將壓力傳感器15置于壓力傳感器罩13內(nèi)部，壓力傳感器15的數(shù)據(jù)線穿過壓力傳感器罩13側(cè)面U型通孔。將圓柱頂絲14穿過壓力傳感器罩13側(cè)面圓形通孔，將壓力傳感器15與壓力傳感器罩13固定。
【附圖說明】
[0016]圖1為本實用新型所涉及器件固定裝置的零件示意圖，圖中:1_壓力調(diào)節(jié)螺栓，2-平面軸承，3-第一套筒，4-壓力彈簧，5-第二套筒，6-壓桿回彈彈簧，7-壓桿，8-水平橫梁，9-垂直立柱，10-整體回彈彈簧，11-第一手柄頂絲，12-第二手柄頂絲，13-壓力傳感器罩，14-圓柱頂絲，15-壓力傳感器。
[0017]圖2為壓力調(diào)節(jié)螺栓1、平面軸承2、第一套筒3、壓力彈簧4裝配后的示意圖。
[0018]圖3為第二套筒5、壓桿回彈彈簧6、壓桿7、壓力傳感器罩13裝配后的示意圖。
[0019]圖4為壓力調(diào)節(jié)螺栓1、平面軸承2、第一套筒3、壓力彈簧4、第二套筒5、壓桿回彈彈簧6、壓桿7、水平橫梁8、整體回彈彈簧10、第一手柄頂絲11、壓力傳感器罩13裝配后的示意圖。
[0020]圖5為所有零件裝配后的示意圖。
【具體實施方式】
[0021]下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本實用新型進(jìn)行更詳細(xì)的說明。
[0022]本實用新型所涉及的測試裝置整體效果圖如圖5所示，零件示意圖如圖1所示。包括壓力調(diào)節(jié)螺栓1、平面軸承2、第一套筒3、壓力彈簧4、第二套筒5、壓桿回彈彈簧6、壓桿
7、水平橫梁8、垂直立柱9、整體回彈彈簧10、第一手柄頂絲11、第二手柄頂絲12、壓力傳感器罩13、圓柱頂絲14、壓力傳感器15。
[0023]本實用新型包括以下部分:
[0024]壓力調(diào)節(jié)螺栓I由一個橫向圓柱型手柄和一個縱向圓柱型螺栓組成，螺栓有外螺紋。第一套筒3由三個圓柱型套筒組成，第一部分外徑大于第二部分，第二部分外徑大于第三部分，第三部分底端外部有外螺紋。將壓力調(diào)節(jié)螺栓I與第一套筒3頂端裝配，裝配后，壓力調(diào)節(jié)螺栓I位于第一套筒3內(nèi)部。壓力調(diào)節(jié)螺栓I下方是平面軸承2，平面軸承2下方是壓力彈簧4。
[0025]第二套筒5是一個圓筒，圓筒頂端內(nèi)徑大，底