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一種應(yīng)用于測(cè)量半導(dǎo)體器件熱阻的固定裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8714255

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隨著半導(dǎo)體器件向尺寸小、集成度高等方向的發(fā)展,尤其是工作功率的不斷增大導(dǎo)致器件工作時(shí)產(chǎn)生的熱量不斷增多,使結(jié)溫升高,從而導(dǎo)致器件可靠性下降,壽命縮短。為了準(zhǔn)確評(píng)價(jià)其可靠性,對(duì)器件熱阻的測(cè)試尤為重要。目前,半導(dǎo)體器件熱阻測(cè)試多采用電學(xué)法,相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)主要有國(guó)軍標(biāo)128A-973103,美軍標(biāo)MIL-STD-750E 3101.4等,測(cè)試設(shè)備均帶有器件固定裝置。測(cè)量時(shí)需用固定裝置將器件壓于恒溫平臺(tái)上,該壓力大小對(duì)于測(cè)量結(jié)果影響很大?,F(xiàn)有的簡(jiǎn)易器件固定裝置難以保證施...
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