述升降機構(gòu)I上。也就是說，當(dāng)翻轉(zhuǎn)機構(gòu)2升或降到合適的高度位置時，用升降鎖定裝置12將翻轉(zhuǎn)機構(gòu)2鎖緊在升降機構(gòu)I上，整個翻轉(zhuǎn)機構(gòu)2就調(diào)節(jié)到了合適的高度。
[0033]作為一種優(yōu)選實施方式，所述升降鎖定裝置12包括分度銷120和與所述分度銷120配合的分度銷插板121，所述分度銷插板121上設(shè)置有分度銷插孔121a，這樣的方式實現(xiàn)了高精確度定位、運動靈活的操作，應(yīng)用更加方便。
[0034]所述翻轉(zhuǎn)機構(gòu)2使用了兩個單軸180度水平轉(zhuǎn)動部件21a、21b，從而實現(xiàn)了水平180度的轉(zhuǎn)動，從而增大了使用面積，可減少平臺的移動。
[0035]所述水平轉(zhuǎn)動部件21包括水平轉(zhuǎn)動鎖定裝置，水平轉(zhuǎn)動部件21在180度的轉(zhuǎn)動范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動，當(dāng)所述水平轉(zhuǎn)動部件21水平轉(zhuǎn)動到合適的預(yù)定位置時，所述水平轉(zhuǎn)動鎖定裝置將所述水平轉(zhuǎn)動部件21鎖定。
[0036]作為一種優(yōu)選的實施方式，所述水平轉(zhuǎn)動鎖定裝置可以包括分度銷210和與所述分度銷210配合的分度銷插板211，所述分度銷插板211上設(shè)置有分度銷插孔211a，分度銷精確定位方式和軸承配合方式，可實現(xiàn)定位準(zhǔn)確、運動靈活的操作，應(yīng)用更加方便。
[0037]所述翻轉(zhuǎn)機構(gòu)2使用了一個單軸360度垂直轉(zhuǎn)動部件22，從而實現(xiàn)了垂直360度的轉(zhuǎn)動的任意調(diào)節(jié)。
[0038]所述垂直轉(zhuǎn)動部件22包括垂直轉(zhuǎn)動鎖定裝置，垂直轉(zhuǎn)動部件22在360度的轉(zhuǎn)動范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動，當(dāng)所述垂直轉(zhuǎn)動部件22垂直轉(zhuǎn)動到合適的預(yù)定位置時，所述垂直轉(zhuǎn)動鎖定裝置將所述垂直轉(zhuǎn)動部件22鎖定。
[0039]作為一種優(yōu)選的實施方式，所述垂直轉(zhuǎn)動鎖定裝置可以包括分度銷220和與所述分度銷220配合的分度銷插板221，所述分度銷插板221上設(shè)置有分度銷插孔221a，分度銷精確定位方式和軸承配合方式，可實現(xiàn)定位準(zhǔn)確、運動靈活的操作，應(yīng)用更加方便。
[0040]在本實用新型的實際應(yīng)用中，測試頭4可以是單個測試頭，也可以連接一個測試系統(tǒng)。在連接一個測試系統(tǒng)的情形下，可將三自由度操控平臺100的升降機構(gòu)I通過測試系統(tǒng)的緊固裝置緊固在測試系統(tǒng)的主機柜上，實現(xiàn)一體化運動。使測試系統(tǒng)操控平臺以及探針臺(P1ber)或機械手(Handler)的連接更緊湊，減少測試工廠內(nèi)測試工位的占地面積。
[0041]此外，值得一提的是，也可以使用步進電機作為升降機構(gòu)實現(xiàn)升降調(diào)節(jié)的功能，但是這樣的方式成本昂貴，性價比不高。
[0042]升降機構(gòu)的改進提高了操控平臺控制的靈活性、穩(wěn)定性，并且結(jié)構(gòu)簡單降低了成本。升降機構(gòu)和翻轉(zhuǎn)機構(gòu)的配合，可以滿足測試頭在上下左右以及三個方位的任意角度和位置與外部的探針臺(Prober)或機械手(Handler)對接的需求，提高對接精度和可靠性，并且還可以有效縮短測試信號線的長度。
[0043]以上所述的僅是本實用新型的實施方式，在此應(yīng)當(dāng)指出，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出改進，但這些均屬于本實用新型的保護范圍。
【主權(quán)項】
1.一種三自由度操控平臺，其特征在于:所述三自由度操控平臺包括升降機構(gòu)、翻轉(zhuǎn)機構(gòu)、測試頭固定機構(gòu)和測試頭，所述翻轉(zhuǎn)機構(gòu)安裝于所述升降機構(gòu)上，所述測試頭通過所述測試頭固定機構(gòu)安裝于所述翻轉(zhuǎn)機構(gòu)上，所述翻轉(zhuǎn)機構(gòu)包括水平轉(zhuǎn)動部件和垂直轉(zhuǎn)動部件，所述水平轉(zhuǎn)動部件轉(zhuǎn)動時帶動所述垂直轉(zhuǎn)動部件和所述測試頭一起做水平轉(zhuǎn)動，所述垂直轉(zhuǎn)動部件轉(zhuǎn)動時帶動所述測試頭做垂直轉(zhuǎn)動，所述升降機構(gòu)包括滑軌、與所述滑軌配合的滑塊、升降鎖定裝置和與所述滑塊相連的氣壓桿，所述滑塊在所述滑軌上滑動時，所述氣壓桿做伸長或縮短運動，當(dāng)所述滑塊滑動到預(yù)定位置時，所述升降鎖定裝置將所述滑塊在預(yù)定位置鎖定。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三自由度操控平臺，其特征在于:所述升降鎖定裝置包括分度銷和與所述分度銷配合的分度銷插板，所述分度銷插板上設(shè)置有分度銷插孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三自由度操控平臺，其特征在于:所述水平轉(zhuǎn)動部件包括兩個單軸水平180度轉(zhuǎn)動部件，所述垂直轉(zhuǎn)動部件為單軸垂直360度轉(zhuǎn)動部件。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三自由度操控平臺，其特征在于:所述翻轉(zhuǎn)機構(gòu)作為一個整體固定在所述滑塊上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的三自由度操控平臺，其特征在于:所述翻轉(zhuǎn)機構(gòu)在所述滑軌上升降的行程在800毫米至1200毫米高度范圍內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三自由度操控平臺，其特征在于:所述水平轉(zhuǎn)動部件包括水平轉(zhuǎn)動鎖定裝置，當(dāng)所述水平轉(zhuǎn)動部件水平轉(zhuǎn)動到預(yù)定位置時，所述水平轉(zhuǎn)動鎖定裝置將所述水平轉(zhuǎn)動部件鎖定。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三自由度操控平臺，其特征在于:所述垂直轉(zhuǎn)動部件包括垂直轉(zhuǎn)動鎖定裝置，當(dāng)所述垂直轉(zhuǎn)動部件垂直轉(zhuǎn)動到預(yù)定位置時，所述垂直轉(zhuǎn)動鎖定裝置將所述垂直轉(zhuǎn)動部件鎖定。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的三自由度操控平臺，其特征在于:所述水平轉(zhuǎn)動鎖定裝置包括分度銷和與所述分度銷配合的分度銷插板，所述分度銷插板上設(shè)置有分度銷插孔。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的三自由度操控平臺，其特征在于:所述垂直轉(zhuǎn)動鎖定裝置包括分度銷和與所述分度銷配合的分度銷插板，所述分度銷插板上設(shè)置有分度銷插孔。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三自由度操控平臺，其特征在于:所述測試頭是單個測試頭，或者連接一個測試系統(tǒng)。
【專利摘要】本實用新型公開了一種三自由度操控平臺，其包括升降機構(gòu)、翻轉(zhuǎn)機構(gòu)、測試頭固定機構(gòu)和測試頭，所述翻轉(zhuǎn)機構(gòu)包括水平轉(zhuǎn)動部件和垂直轉(zhuǎn)動部件，所述水平轉(zhuǎn)動部件轉(zhuǎn)動時帶動垂直轉(zhuǎn)動部件和測試頭一起做水平轉(zhuǎn)動，所述垂直轉(zhuǎn)動部件轉(zhuǎn)動時帶動測試頭做垂直轉(zhuǎn)動，所述升降機構(gòu)包括滑軌、與所述滑軌配合的滑塊、升降鎖定裝置和與所述滑塊相連的氣壓桿，所述滑塊在滑軌上滑動時，所述氣壓桿做伸長或縮短運動，所述升降鎖定裝置將滑塊在預(yù)定位置鎖定。本實用新型提供的三自由度操控平臺，可以滿足測試頭在上下左右及三個方位的任意角度和位置與外部的探針臺或機械手對接的需求，提高對接精度和速度，并且還可以有效縮短測試信號線的長度。
【IPC分類】G01R1-02, G01R31-28
【公開號】CN204422573
【申請?zhí)枴緾N201520039543
【發(fā)明人】毛國梁, 趙坤嶺
【申請人】上海宏測半導(dǎo)體科技有限公司
【公開日】2015年6月24日
【申請日】2015年1月20日