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一種多層電極位移傳感器的制造方法_5

文檔序號:8680493閱讀:來源:國知局
位514處,涂敷由導(dǎo)電顆粒和粘接劑混合成漿料的異方導(dǎo)通層551,將過線板530與發(fā)射電極基片510層疊在一起,過線板530上制備有發(fā)射電極導(dǎo)通端位組532和接收電極導(dǎo)通端位534的表面,與發(fā)射電極基片510上制備有柵狀發(fā)射電極組511的表面相向靠緊壓接,過線板530上發(fā)射電極導(dǎo)通端位組532的各發(fā)射電極導(dǎo)通端位與發(fā)射電極基片510上發(fā)射電極引出端位組512的各發(fā)射電極引出端位--對準,接收電極導(dǎo)通端位534與發(fā)射電極基片510上的接收電極引出端位514對準;由導(dǎo)電顆粒和粘接劑混合而成的異方導(dǎo)通層551將過線板530與發(fā)射電極基片510相粘接,同時將過線板530上各發(fā)射電極導(dǎo)通端位與發(fā)射電極基片510上各發(fā)射電極引出端位--連通,也將接收電極導(dǎo)通端位534也與接收電極引出端位514連通;過線板530上與發(fā)射電極基片510的柵狀發(fā)射電極組511和接收電極513層疊位置處,沒有任何導(dǎo)電層,并以非導(dǎo)電膠552與發(fā)射電極基片510粘接在一起;這樣,就使得發(fā)射電極基片510上的發(fā)射電極組511中同一相位的發(fā)射電極相互連通,并通過過線板530上8路發(fā)射引出電極組531中的一條發(fā)射引出電極引出,N組每組8路發(fā)射電極組511的8個不同相位發(fā)射電極分別從過線板530上8路發(fā)射引出電極組531的八條發(fā)射引出電極連接到偵測電路540中的偵測IC 541,接收電極513從過線板530上接收引出電極533也連接到偵測電路540中的偵測IC 541。
[0062]發(fā)射基片510上發(fā)射電極組511的電極面,間隔著過線板530朝向耦合電極基片520上耦合電極521的電極面,耦合電極基片520上的柵狀耦合電極521由N路柵狀電極組成,N條親合電極柵也依直線排列,親合電極組521中各親合電極部分與發(fā)射基片510上的發(fā)射電極組511重疊、部分與接收電極513重疊,耦合電極521將發(fā)射電極組511上的電信號傳遞到接收電極513上。當具有柵狀耦合電極組521的耦合基片520在發(fā)射基片510上沿發(fā)射電極組511柵狀發(fā)射電極排列方向移動時,發(fā)射基片510上接收電極513接收到的電信號的相位隨耦合基片520的移動而變化,并傳遞到偵測電路540,形成8路驅(qū)動鑒相式電容柵線位移傳感器500。
[0063]以上內(nèi)容是結(jié)合具體的優(yōu)選實施方式對本實用新型所作的進一步詳細說明,不能認定本實用新型的具體實施只局限于這些說明。對于本實用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本實用新型構(gòu)思的前提下,還可以做出若干簡單推演或替換,都應(yīng)當視為屬于本實用新型的保護范圍。
【主權(quán)項】
1.一種多層電極位移傳感器,主要包括柵狀發(fā)射電極組、柵狀耦合電極、接收電極和偵測電路;其特征在于: 所述位移傳感器具有發(fā)射電極基片,耦合電極基片和過線板;所述柵狀發(fā)射電極組和接收電極制備在發(fā)射電極基片的同一表面上,各柵狀發(fā)射電極分別具有發(fā)射電極引出端位;所述柵狀耦合電極制備在耦合電極基片上,耦合電極將發(fā)射電極組上的電信號傳遞到接收電極上;所述過線板是制備有發(fā)射引出電極組和發(fā)射電極導(dǎo)通端位組的雙層或多層印刷線路板,即PCB板,發(fā)射引出電極組和發(fā)射電極導(dǎo)通端位組制備在過線板的不同層上,發(fā)射電極導(dǎo)通端位組制備在過線板的一個表面上,每條發(fā)射引出電極與發(fā)射電極導(dǎo)通端位組中同相位的發(fā)射電極導(dǎo)通端位都通過導(dǎo)通孔相連通,各條發(fā)射引出電極依次與發(fā)射電極導(dǎo)通端位組中不同相位的發(fā)射電極導(dǎo)通端位連通;過線板與發(fā)射電極基片層疊在一起,過線板上制備有發(fā)射電極導(dǎo)通端位組的表面,與發(fā)射電極基片上制備有柵狀發(fā)射電極組的表面相向靠緊而對,所述過線板上的各發(fā)射電極導(dǎo)通端位分別與所述發(fā)射電極基片上的各發(fā)射電極引出端位的排列位置相同并具有相互重疊的區(qū)域,過線板上各發(fā)射電極導(dǎo)通端位與發(fā)射電極基片上各發(fā)射電極引出端位一一對準搭接連通;所述耦合電極基片與所述發(fā)射電極基片相互隔離、相對而置,并且可相對移動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層電極位移傳感器,其特征在于: 所述過線板上制備有發(fā)射電極導(dǎo)通端位組區(qū)域的表面上未設(shè)置阻焊層。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層電極位移傳感器,其特征在于: 所述發(fā)射電極基片上設(shè)置有連接接收電極的接收電極引出端位,所述過線板上設(shè)置有相互連接的接收電極導(dǎo)通端位和接收發(fā)射引出電極,接收電極導(dǎo)通端位和所述發(fā)射電極導(dǎo)通端位組制備在所述過線板的同一表面上,接收引出電極和所述發(fā)射引出電極組制備在所述過線板另外的層上,所述過線板上的接收電極導(dǎo)通端位與所述發(fā)射電極基片上的接收電極引出端位對準搭接連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的多層電極位移傳感器,其特征在于: 所述過線板上各發(fā)射電極導(dǎo)通端位與發(fā)射電極基片上各發(fā)射電極引出端位的搭接連通,或所述過線板上接收電極導(dǎo)通端位與發(fā)射電極基片上接收電極引出端位的搭接連通,是以由導(dǎo)電顆粒和粘接劑混合而成的異方導(dǎo)通層將過線板與發(fā)射電極基片相粘接,同時將過線板上各發(fā)射電極導(dǎo)通端位與發(fā)射電極基片上各發(fā)射電極引出端位一一連通,或?qū)⑦^線板上接收電極導(dǎo)通端位與發(fā)射電極基片上接收電極引出端位連通。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的多層電極位移傳感器,其特征在于: 所述發(fā)射電極基片上的各發(fā)射電極引出端位是導(dǎo)通點,所述過線板上各發(fā)射電極導(dǎo)通端位是導(dǎo)通盤;發(fā)射電極基片上的各發(fā)射電極導(dǎo)通點分別與過線板上的各發(fā)射電極導(dǎo)通盤排列位置相同,并一一對準搭接連通。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層電極位移傳感器,其特征在于: 所述發(fā)射電極基片上柵狀發(fā)射電極連接各自發(fā)射電極引出端位走線的排列,相對于柵狀發(fā)射電極的排列是呈發(fā)散狀的,各發(fā)射電極引出端位的間距大于對應(yīng)的各發(fā)射電極的間距。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層電極位移傳感器,其特征在于: 所述發(fā)射電極基片上的柵狀發(fā)射電極組是直線形柵狀發(fā)射電極組,直線形柵狀發(fā)射電極組沿垂直于直線形發(fā)射電極的方向直線排列。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層電極位移傳感器,其特征在于: 所述發(fā)射電極基片上的柵狀發(fā)射電極組是扇形柵狀發(fā)射電極組,扇形柵狀發(fā)射電極組排列成一個圓環(huán)形狀,各發(fā)射電極以柵狀發(fā)射電極組中最小相鄰發(fā)射電極角間距的整數(shù)倍分布在圓環(huán)上。
9.根據(jù)權(quán)利要求3和8所述的多層電極位移傳感器,其特征在于: 所述發(fā)射電極基片上的接收電極為圓環(huán)形,處于柵狀發(fā)射電極組的內(nèi)圈;接收電極的引出線處于柵狀發(fā)射電極組和接收電極同一表面,通過所述柵狀發(fā)射電極組組間的空隙延伸到柵狀發(fā)射電極組的外圈,并通過所述發(fā)射電極基片上的接收電極引出端位與過線板上的接收電極導(dǎo)通端位對準搭接連通;所述柵狀發(fā)射電極組的內(nèi)圈是指半徑小于圓環(huán)形柵狀發(fā)射電極組內(nèi)徑的區(qū)域,所述柵狀發(fā)射電極組的外圈是指半徑大于圓環(huán)形柵狀發(fā)射電極組外徑的區(qū)域。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的多層電極位移傳感器,其特征在于: 所述柵狀發(fā)射電極組各發(fā)射電極的排列是以圓環(huán)中心旋轉(zhuǎn)對稱的,柵狀發(fā)射電極組除具有接收電極引出線延伸到發(fā)射電極組外圈的發(fā)射電極組組間空隙,還具有與其旋轉(zhuǎn)對稱的其他發(fā)射電極組組間空隙。
11.根據(jù)權(quán)利要求3和8所述的多層電極位移傳感器,其特征在于: 所述發(fā)射電極基片上的接收電極為圓環(huán)形,處于柵狀發(fā)射電極組的內(nèi)圈,柵狀發(fā)射電極組內(nèi)圈的區(qū)域內(nèi)還設(shè)置有一通孔,接收電極的引出線通過所述通孔引出去,所述柵狀發(fā)射電極組的內(nèi)圈是指半徑小于圓環(huán)形柵狀發(fā)射電極組內(nèi)徑的區(qū)域。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層電極位移傳感器,其特征在于: 所述過線板上設(shè)置有與所述柵狀發(fā)射電極組、接收電極相連接的偵測電路。
【專利摘要】本實用新型公開了一種多層電極位移傳感器,在發(fā)射電極基片上蝕刻出柵狀電極位移傳感器的發(fā)射電極組,在PCB板上蝕刻出柵狀發(fā)射引出電極組,并且讓發(fā)射電極基片上各發(fā)射電極引出端位的排列位置與PCB板上引出電極導(dǎo)通端位的排列位置是相同的,將PCB板各條引出電極導(dǎo)通端位分別與發(fā)射電極基片上各發(fā)射電極引出端位一一對準,用異方導(dǎo)通層將PCB板各引出電極導(dǎo)通端位分別與發(fā)射電極基片各發(fā)射電極引出端位一一連通,這樣,玻璃基片上的各條發(fā)射電極通過異方導(dǎo)通層被引出到PCB板上,通過多層的印刷線路板將各條同相位的發(fā)射電極相互連通,由此制成柵狀電極位移傳感器。
【IPC分類】G01B7-30, G01B7-02
【公開號】CN204388771
【申請?zhí)枴緾N201420787926
【發(fā)明人】陳其良, 陳賦, 康永忠, 陳梅英
【申請人】深圳市聯(lián)思精密機器有限公司
【公開日】2015年6月10日
【申請日】2014年12月12日
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