組制備在所述過線板的同一表面上，接收引出電極和所述發(fā)射引出電極組制備在所述過線板另外的層上，所述過線板上的接收電極導(dǎo)通端位與所述發(fā)射電極基片上的接收電極引出端位對準(zhǔn)搭接連通。
[0015]根據(jù)本實用新型的另一個具體方面，所述過線板上各發(fā)射電極導(dǎo)通端位與發(fā)射電極基片上各發(fā)射電極引出端位的搭接連通，或所述過線板上接收電極導(dǎo)通端位與發(fā)射電極基片上接收電極引出端位的搭接連通，是以由導(dǎo)電顆粒和粘接劑混合而成的異方導(dǎo)通層將過線板與發(fā)射電極基片相粘接，同時將過線板上各發(fā)射電極導(dǎo)通端位與發(fā)射電極基片上各發(fā)射電極引出端位一一連通，或?qū)⑦^線板上接收電極導(dǎo)通端位與發(fā)射電極基片上接收電極引出端位連通。
[0016]根據(jù)本實用新型的另一個具體方面，所述發(fā)射電極基片上的各發(fā)射電極引出端位是導(dǎo)通點，所述過線板上各發(fā)射電極導(dǎo)通端位是導(dǎo)通盤；發(fā)射電極基片上的各發(fā)射電極導(dǎo)通點分別與過線板上的各發(fā)射電極導(dǎo)通盤排列位置相同，并一一對準(zhǔn)搭接連通。
[0017]根據(jù)本實用新型的另一個具體方面，所述發(fā)射電極基片上柵狀發(fā)射電極連接各自發(fā)射電極引出端位走線的排列，相對于柵狀發(fā)射電極的排列是呈發(fā)散狀的，各發(fā)射電極引出端位的間距大于對應(yīng)的各發(fā)射電極的間距。
[0018]根據(jù)本實用新型的另一個具體方面，所述發(fā)射電極基片上的柵狀發(fā)射電極組是直線形柵狀發(fā)射電極組，直線形柵狀發(fā)射電極組沿垂直于直線形發(fā)射電極的方向直線排列。
[0019]根據(jù)本實用新型的另一個具體方面，所述發(fā)射電極基片上的柵狀發(fā)射電極組是扇形柵狀發(fā)射電極組，扇形柵狀發(fā)射電極組排列成一個圓環(huán)形狀，各發(fā)射電極以柵狀發(fā)射電極組中最小相鄰發(fā)射電極角間距的整數(shù)倍分布在圓環(huán)上。
[0020]根據(jù)本實用新型的另一個具體方面，所述柵狀耦合電極是呈齒輪狀的連體電極，或者是齒輪狀的分體電極組。
[0021]根據(jù)本實用新型的另一個具體方面，所述發(fā)射電極基片上的接收電極為圓環(huán)形，處于柵狀發(fā)射電極組的內(nèi)圈；接收電極的引出線處于柵狀發(fā)射電極組和接收電極同一表面，通過所述柵狀發(fā)射電極組組間的空隙延伸到柵狀發(fā)射電極組的外圈，并通過所述發(fā)射電極基片上的接收電極引出端位與過線板上的接收電極導(dǎo)通端位對準(zhǔn)搭接連通；所述柵狀發(fā)射電極組的內(nèi)圈是指半徑小于圓環(huán)形柵狀發(fā)射電極組內(nèi)徑的區(qū)域，所述柵狀發(fā)射電極組的外圈是指半徑大于圓環(huán)形柵狀發(fā)射電極組外徑的區(qū)域。
[0022]根據(jù)本實用新型的另一個具體方面，所述柵狀發(fā)射電極組各發(fā)射電極的排列是以圓環(huán)中心旋轉(zhuǎn)對稱的，柵狀發(fā)射電極組除具有接收電極引出線延伸到發(fā)射電極組外圈的發(fā)射電極組組間空隙，還具有與其旋轉(zhuǎn)對稱的其他發(fā)射電極組組間空隙。
[0023]根據(jù)本實用新型的另一個具體方面，所述發(fā)射電極基片上的接收電極為圓環(huán)形，處于柵狀發(fā)射電極組的內(nèi)圈，柵狀發(fā)射電極組內(nèi)圈的區(qū)域內(nèi)還設(shè)置有一通孔，接收電極的引出線通過所述通孔引出去，所述柵狀發(fā)射電極組的內(nèi)圈是指半徑小于圓環(huán)形柵狀發(fā)射電極組內(nèi)徑的區(qū)域。
[0024]根據(jù)本實用新型的另一個具體方面，所述發(fā)射電極基片是玻璃片或陶瓷片或硅片。
[0025]根據(jù)本實用新型的另一個具體方面，所述發(fā)射電極基片上發(fā)射電極組的電極面，是朝向所述耦合電極基片上耦合電極的電極面，或者是背向所述耦合電極基片上耦合電極的電極面。
[0026]根據(jù)本實用新型的另一個具體方面，所述過線板上設(shè)置有與所述柵狀發(fā)射電極組、接收電極相連接的偵測電路。
[0027]本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)對比的有益效果是:
[0028]本實用新型所提出的多層電極位移傳感器，以硬性的雙層或多層印刷線路板直接與剛性的玻璃基片或陶瓷基片或硅基片的發(fā)射電極基片緊貼，形成多層電極的位移傳感器，即解決了在發(fā)射電極所在的基片上將細(xì)密柵狀發(fā)射電極相互導(dǎo)通所引起的困難，又避免了柔性線路板上引出線與柵狀電極的對位困難，特別是避免了柔性線路板上引出線與圓盤等二維柵狀電極的對位困難，將柵狀電極連接到PCB上的發(fā)射引出電極，在多層PCB上實現(xiàn)各組中相同相位的電極互聯(lián)，用多層印刷線路板與導(dǎo)電膜玻璃基片組成一種多層電極位移傳感器，使電容柵或電感柵等高密度柵狀電極位移傳感器變得更加緊湊、穩(wěn)定、可靠。
[0029]將偵測電路的IC及其他器件安置在過線板上，既節(jié)約了成本，又進(jìn)一步提高了傳感器的緊湊性、穩(wěn)定性和可靠性。
[0030]本實用新型提出的多層電極位移傳感器的方案，是利用半導(dǎo)體的光刻技術(shù)、平板顯示器的成盒導(dǎo)通技術(shù)、PCB板的層間連接技術(shù)，將成熟的制備工藝和材料移植到柵狀電極位移傳感器的制備上來，迅速完成工業(yè)實現(xiàn)，讓柵狀電極位移傳感器的制備產(chǎn)生一個突破。
[0031]本實用新型由于大大降低了高密度柵狀電極位移傳感器工藝制備的難度，非常適于工業(yè)化生產(chǎn)，使成本大大下降。
【附圖說明】
[0032]圖1是本實用新型【具體實施方式】一的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖2是本實用新型【具體實施方式】二的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0034]圖3是本實用新型【具體實施方式】三的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0035]圖4是本實用新型【具體實施方式】四的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0036]圖5是本實用新型【具體實施方式】五的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0037]以下均以電容柵位移傳感器為實施例，所揭露的方法也適用于電感柵位移傳感器和其他柵狀電極傳感器。
[0038]【具體實施方式】一
[0039]如圖1a和圖1b所示的電容柵角位移傳感器100，包括發(fā)射電極基片110、耦合電極基片120、過線板130和偵測電路140。發(fā)射電極基片110是玻璃材質(zhì)基片，柵狀發(fā)射電極組111和接收電極113制備在發(fā)射電極基片110的同一表面上，柵狀發(fā)射電極組111的各發(fā)射電極分別具有發(fā)射電極引出端位，各發(fā)射電極引出端位組成發(fā)射電極引出端位組112，接收電極113具有接收電極引出端位114 ;耦合電極基片120也是玻璃材質(zhì)基片，柵狀耦合電極組121制備在耦合電極基片120上，耦合電極組121將發(fā)射電極組111上的電信號傳遞到接收電極113上；過線板130是雙層或多層印刷線路板(PCB板)，其上制備有發(fā)射引出電極組131、接收引出電極133、發(fā)射電極導(dǎo)通端位組132和接收電極導(dǎo)通端位134，發(fā)射電極導(dǎo)通端位組132和接收電極導(dǎo)通端位134制備在過線板130的同一表面上，發(fā)射引出電極組131和接收引出電極133制備在過線板130另外的層上。
[0040]其中圖1a是發(fā)射電極基片110、耦合電極基片120、過線板130處于分離時的狀態(tài)，圖1b是發(fā)射電極基片110、過線板130、耦合電極基片120和偵測電路140組合成角位移傳感器100時的狀態(tài)。發(fā)射電極基片110上的柵狀發(fā)射電極組111由N組每組8路柵狀電極組成，8N條發(fā)射電極柵排成一個圓環(huán)，各發(fā)射電極以柵狀發(fā)射電極組111中最小相鄰發(fā)射電極角間距的整數(shù)倍分布在圓環(huán)形上，柵狀發(fā)射電極組111各發(fā)射電極的排列以圓環(huán)中心旋轉(zhuǎn)對稱，其內(nèi)的某些組間具有較大的空隙，各組中同相位的發(fā)射電極排列在各組中的相同位置；發(fā)射電極向外圈延伸到各自的引出端位，8N個發(fā)射電極引出端位組成發(fā)射電極引出端位組112 ;柵狀發(fā)射電極組111同一表面的內(nèi)圈是環(huán)形接收電極113，接收電極113通過柵狀發(fā)射電極組111組間較大的空隙延伸到外圈的接收電極引出端位114處。過線板130上的發(fā)射引出電極組131是一組8路電極組，發(fā)射電極導(dǎo)通端位組132由N組每組8路導(dǎo)通端位組成，各發(fā)射電極導(dǎo)通端位分別與發(fā)射電極基片110上的各發(fā)射電極引出端位的排列位置相同，每條發(fā)射引出電極與發(fā)射電極導(dǎo)通端位組132中同相位的N個發(fā)射電極導(dǎo)通端位通過導(dǎo)通孔相連通，各條發(fā)射引出電極依次與發(fā)射電極導(dǎo)通端位組132中不同相位的發(fā)射電極導(dǎo)通端位連通；接收電極導(dǎo)通端位134與發(fā)射電極基片110上的接收電極引出端位114的位置相同，接收引出電極133與接收電極導(dǎo)通端位134通過導(dǎo)通孔相連通。
[0041]在發(fā)射電極基片110上發(fā)射電極引出端位組112處和接收電極引出端位114處，涂敷由導(dǎo)電顆粒和粘接劑混合成漿料的異方導(dǎo)通層150，將過線板130與發(fā)射電極基片110層疊在一起，過線板130上制備有發(fā)射電極導(dǎo)通端位組132和接收電極導(dǎo)通端位134的表面，與發(fā)射電極基片110上制備有柵狀發(fā)射電極組111的表面相向靠緊壓接，過線板130上發(fā)射電極導(dǎo)通端位組132的各發(fā)射電極導(dǎo)通端位與發(fā)射電極基片110上發(fā)射電極引出端位組112的各發(fā)射電極引出端位一一對準(zhǔn)，接收電極導(dǎo)通端位134與發(fā)射