[0018] 本實用新型測試探頭提起時，內(nèi)部測試內(nèi)芯垂直下壓，通過所配比自重力，施壓給 四探針，通過探針內(nèi)部彈簧調(diào)節(jié)壓力，緊密結(jié)合探針與測試樣品氧化銦錫薄膜層。
[0019] 本實用新型探頭裝置頂部配有自重配重鐵塊，根據(jù)探針彈簧壓力，配備相應(yīng)配重 鐵塊，以致能與薄膜緊密結(jié)合，減少傳輸電流、電壓損耗。
[0020] 本實用新型采用特制的S型懸臂式彈簧，使每根探針都具有獨立、準(zhǔn)確的壓力，探 針尾部伸入彈簧，測試時彈簧整體受力，并且確保壓力可以垂直用于彈簧。采用這種結(jié)合， 針頭運動穩(wěn)定，更換維修方便。
[0021] 本實用新型測試薄膜的四探針探頭，為球形鍍金探針，保證接觸電阻最小，將裝置 緊密有效接觸被測氧化銦錫薄膜。
[0022] 本實用新型測試探針尾部套管壁增厚，能保證探針伸縮游移率，套管與導(dǎo)線連接 尾端，PBC板焊接、固封，減少探針伸縮游移率。
[0023] 本實用新型探頭裝置外殼上下端伸縮滑竿，依靠自重上下滑動，探頭裝置放于測 試樣品表面時，上下環(huán)固架支撐，保證無卡頓受阻，更平緩的垂直壓于測試樣品表面。
[0024] 本實用新型的具體實施不局限于以上內(nèi)容的說明。對于本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的普 通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干簡單推演或替換，都應(yīng)當(dāng) 視為屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0025] 本實用新型的有益效果是：結(jié)構(gòu)簡單合理，使用方便，操作快捷，制造容易，提高測 量節(jié)拍3倍以上，降低磨損、彎曲、變形情況，減少維修和維護(hù)成本；確保讀取數(shù)值的測量準(zhǔn) 確性及測量重復(fù)性，大大提高工作效率和成品率；有效延長使用壽命，達(dá)到2000小時以上， 節(jié)能環(huán)保。正常工作中，實現(xiàn)測試100000次以上無故障。具體研發(fā)結(jié)果見下（表1)。
[0026] 本實用新型采用手持式、自重力探頭，無需借助人為施壓，探頭放于測試樣品后即 可讀取數(shù)值，測量準(zhǔn)確性及測量重復(fù)性得以保證；主要部件探針處，無較大外力對其施壓， 減少磨損、彎曲、變形情況，采用針套式圓頭形探頭，杜絕了測試對表面薄膜層的損傷破壞， 形成ITO膜層空洞。
[0027] 本實用新型使用自重力壓合探針與波膜層接觸，壓力保持一致，避免人員測量差 別性，簡化了操作，無需依靠測量架支撐，提高了測試頻率及工作效率。滿足了用戶和市場 的需求。
[0028] (表 1):
[0029]
【主權(quán)項】
1. 一種氧化銦錫膜手持式探頭測試裝置，是由：電阻測試儀裝置（I)，手持式探頭測試 裝置外殼（2)，自重配重塊（3)，上滑竿（4)，外殼內(nèi)擋板（5)，測試內(nèi)芯裝置（6)，底座支撐防 滑裝置（7)，圓滑探針針頭（8)，下滑竿裝置（9)，導(dǎo)線（10)，測試探針套管（I I)，S型懸臂式 彈簧（12)構(gòu)成；其特征在于：氧化銦錫膜上方設(shè)置底座支撐防滑裝置（7)，底座支撐防滑裝 置（7)上方設(shè)置手持式探頭測試裝置外殼（2);底座支撐防滑裝置（7)與手持式探頭測試 裝置外殼（2)之間的中部預(yù)留孔，孔中設(shè)置下滑竿裝置（9); 下滑竿裝置（9)內(nèi)設(shè)置至少四根測試探針套管（11)，測試探針套管（11)內(nèi)設(shè)置S型懸 臂式彈簧（12) ;S型懸臂式彈簧（12)的上端設(shè)置導(dǎo)線（10)，下端設(shè)置圓滑探針針頭（8)，圓 滑探針針頭（8)設(shè)置于測試探針套管（11)內(nèi)的下部；導(dǎo)線（10)的另一端通過手持式探頭 測試裝置外殼（2)設(shè)置于電阻測試儀裝置（1)的一側(cè)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氧化銦錫膜手持式探頭測試裝置，其特征在于：手持式 探頭測試裝置外殼（2)內(nèi)的上部設(shè)置外殼內(nèi)擋板（5)，外殼內(nèi)擋板（5)中部預(yù)留孔，孔中設(shè) 置上滑竿（4);上滑竿（4)的上端設(shè)置自重配重塊（3)，下端設(shè)置測試內(nèi)芯裝置（6);下滑竿 裝置（9)設(shè)置于測試內(nèi)芯裝置（6)下部，測試內(nèi)芯裝置（6)內(nèi)設(shè)置導(dǎo)線（10)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1、或2所述的一種氧化銦錫膜手持式探頭測試裝置，其特征在于：手 持式探頭測試裝置外殼（2)設(shè)置為圓筒形、或正多邊柱形，與自重配重塊（3)、上滑竿（4)、 外殼內(nèi)擋板（5)、測試內(nèi)芯裝置（6)、下滑竿裝置（9)五者同軸心線設(shè)置；自重配重塊（3)設(shè) 置為圓形、正多邊形的金屬、或鐵塊。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氧化銦錫膜手持式探頭測試裝置，其特征在于：下滑竿 裝置（9)內(nèi)設(shè)置的四根測試探針套管（11)均布為一排、或者矩形；測試探針套管（11)下端 對應(yīng)設(shè)置圓滑探針針頭（8)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種氧化銦錫膜手持式探頭測試裝置，其特征在于：圓滑探 針針頭（8)采用球形鍍金，直徑Φ設(shè)置為0. 7_，相鄰的圓滑探針針頭（8)之間的距離S設(shè) 置為 0· 5臟±0. Olmnin
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氧化銦錫膜手持式探頭測試裝置，其特征在于：底座支 撐防滑裝置（7)以手持式探頭測試裝置外殼（2)的軸心線為中心，對稱設(shè)置至少三個。
【專利摘要】一種氧化銦錫膜手持式探頭測試裝置，提高測量節(jié)拍3倍以上，降低磨損、彎曲、變形情況，減少維修和維護(hù)成本；裝置及其方法簡單合理，使用方便快捷，確保讀取數(shù)值的測量準(zhǔn)確性及測量重復(fù)性，大大提高工作效率和成品率；有效延長使用壽命，達(dá)到2000小時以上，節(jié)能環(huán)保。是由：電阻測試儀裝置，手持式探頭測試裝置外殼，自重配重塊，上滑竿，外殼內(nèi)擋板，測試內(nèi)芯裝置，底座支撐防滑裝置，圓滑探針針頭，下滑竿裝置，導(dǎo)線，測試探針套管，S型懸臂式彈簧構(gòu)成；氧化銦錫膜上方設(shè)置底座支撐防滑裝置，底座支撐防滑裝置上方設(shè)置手持式探頭測試裝置外殼；底座支撐防滑裝置與手持式探頭測試裝置外殼之間的中部預(yù)留孔，孔中設(shè)置下滑竿裝置。
【IPC分類】G01R27-02
【公開號】CN204269732
【申請?zhí)枴緾N201420770326
【發(fā)明人】董安光, 王戀貴, 譚華, 秦遵紅
【申請人】洛陽康耀電子有限公司
【公開日】2015年4月15日
【申請日】2014年11月29日