一種氧化銦錫膜手持式探頭測試裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及氧化銦錫膜測試裝置，尤其是一種氧化銦錫膜手持式探頭測試裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] 目前，現(xiàn)有的氧化銦錫薄膜層的脆弱和柔韌性缺乏，使氧化銦錫薄膜方塊電阻、電 阻率的測試較為復(fù)雜。氧化銦錫是一種銦（III族）氧化物（In 2O3)和錫（IV族）氧化物 (SnO2)的混合物，通常質(zhì)量比為90%In203:10% Sn02&97%In203:3% SnO2;氧化銦錫在 薄膜狀時，無色透明，隨薄膜厚度加深，顏色反射色發(fā)生變化，由淡灰藍色一亮灰色一黃色 -紫紅色一綠色一紅色，透射顏色呈顯茶色，隨之薄膜層加厚，透射顏色呈現(xiàn)茶色越重；氧 化銦錫在塊狀態(tài)時，它呈黃偏灰黑色；在薄膜狀態(tài)時，膜層脆弱，碰觸硬物碰扎，會形成ITO 膜層空洞。
[0003] 由于氧化銦錫薄膜脆弱和柔韌性缺乏的特性，現(xiàn)有四探針分尖頭探針和圓頭探 針，圓頭探針間距過寬、間距微弱變化，測試薄膜時出現(xiàn)數(shù)值測量重復(fù)性差，前者尖頭探針 對膜層存在破壞性，導(dǎo)致薄膜層形成ITO空洞，制約了高端產(chǎn)品測量電阻的制程；尖頭探針 或通常采用平臺，外靠人為受力加壓測試，或采用支架支撐，加測試平臺，前者存在人為性 受力差別不均勻，測試數(shù)據(jù)跳動，測試數(shù)據(jù)重復(fù)性差，后者雖把前者系列弊端予以掩蓋，由 于測試支架活動范圍受限，需延續(xù)固定軌道測試，測試范圍、測試頻率受制約，對于氧化銦 錫薄膜連續(xù)生產(chǎn)企業(yè)，無法滿足制程連續(xù)性。
[0004] 具體的表現(xiàn)有：讀取數(shù)值的測量準確性及測量重復(fù)性不一；主要部件測試的探針 處，磨損、彎曲、變形情況較多，一般有時200-300小時就會失效、損壞，增加維修維護成本， 耗費大量時間與能源。測試中對表面薄膜層損傷破壞率不小，降低了成品率，以及產(chǎn)品質(zhì) 量；現(xiàn)有的測試裝置與ITO膜層接觸，壓力保持的一致性差，導(dǎo)致工作人員測量要求高，操 作緩慢、繁瑣復(fù)雜，需依靠測量架支撐，測試頻率及工作效率低；形成氧化銦錫膜測試技術(shù) 發(fā)展中的瓶頸，是本領(lǐng)域長期以來難以解決的技術(shù)問題，不能滿足用戶和市場的需求。
[0005] 鑒于上述原因，現(xiàn)有的氧化銦錫膜測試裝置需要創(chuàng)新。 【實用新型內(nèi)容】
[0006] 本實用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種氧化銦錫膜手持式 探頭測試裝置，提高測量節(jié)拍3倍以上，降低磨損、彎曲、變形情況，減少維修和維護成本； 裝置及其方法簡單合理，使用方便快捷，確保讀取數(shù)值的測量準確性及測量重復(fù)性，大大提 高工作效率和成品率；有效延長使用壽命，達到2000小時以上，節(jié)能環(huán)保。
[0007] 本實用新型為了實現(xiàn)上述目的，采用如下的技術(shù)方案：
[0008] -種氧化銦錫膜手持式探頭測試裝置，是由：電阻測試儀裝置1，手持式探頭測試 裝置外殼2,自重配重塊3,上滑竿4,外殼內(nèi)擋板5,測試內(nèi)芯裝置6,底座支撐防滑裝置7， 圓滑探針針頭8,下滑竿裝置9,導(dǎo)線10,測試探針套管11，S型懸臂式彈簧12構(gòu)成；氧化銦 錫膜上方設(shè)置底座支撐防滑裝置7,底座支撐防滑裝置7上方設(shè)置手持式探頭測試裝置外 殼2 ;底座支撐防滑裝置7與手持式探頭測試裝置外殼2之間的中部預(yù)留孔，孔中設(shè)置下滑 竿裝置9 ;
[0009] 下滑竿裝置9內(nèi)設(shè)置至少四根測試探針套管11，測試探針套管11內(nèi)設(shè)置S型懸臂 式彈簧12 ;S型懸臂式彈簧12的上端設(shè)置導(dǎo)線10,下端設(shè)置圓滑探針針頭8,圓滑探針針頭 8設(shè)置于測試探針套管11內(nèi)的下部；導(dǎo)線10的另一端通過手持式探頭測試裝置外殼2設(shè) 置于電阻測試儀裝置1的一側(cè)。
[0010] 手持式探頭測試裝置外殼2內(nèi)的上部設(shè)置外殼內(nèi)擋板5,外殼內(nèi)擋板5中部預(yù)留 孔，孔中設(shè)置上滑竿4 ;上滑竿4的上端設(shè)置自重配重塊3,下端設(shè)置測試內(nèi)芯裝置6 ;下滑 竿裝置9設(shè)置于測試內(nèi)芯裝置6下部，測試內(nèi)芯裝置6內(nèi)設(shè)置導(dǎo)線10。
[0011] 手持式探頭測試裝置外殼2設(shè)置為圓筒形、或正多邊柱形，與自重配重塊3、上滑 竿4、外殼內(nèi)擋板5、測試內(nèi)芯裝置6、下滑竿裝置9五者同軸心線設(shè)置；自重配重塊3設(shè)置 為圓形、正多邊形的金屬、或鐵塊。
[0012] 下滑竿裝置9內(nèi)設(shè)置的四根測試探針套管11均布為一排、或者矩形；測試探針套 管11下端對應(yīng)設(shè)置圓滑探針針頭8。
[0013] 圓滑探針針頭8采用球形鍍金，直徑Φ設(shè)置為0. 7mm，相鄰的圓滑探針針頭8之間 的距離S設(shè)置為0. 5mm±0. 01mm。
[0014] 底座支撐防滑裝置7以手持式探頭測試裝置外殼2的軸心線為中心，對稱設(shè)置至 少三個。
[0015] 本實用新型的工作原理是：采用四探針探頭自重原理，測量節(jié)拍快，測量精度提 高，改善探針形態(tài)，避免人為性測量對氧化銦錫薄膜層破損，能夠與市面現(xiàn)有測試電阻儀器 相連接匹配；該裝置耐用性好，機身其加工精度不高，結(jié)構(gòu)緊湊探針間距精確，導(dǎo)向精度高， 針尖上下滑動靈活，無卡阻和拖尾現(xiàn)象，保證同一平面上的針尖在同一水平線上，探針型號 普通，便于維修維護。
[0016] 本實用新型包括四探針探頭自重測量，四探針與氧化銦錫膜層接觸點受力平均， 受力壓力減少。測試探頭裝置垂直放于測試樣本上，結(jié)合柔軟圓滑探針針頭、底座支持防滑 裝置，利用探頭自身重量對探針進行施加壓力，致使四探針與氧化銦錫膜層緊密接觸，結(jié)構(gòu) 緊湊合理，探針間距精確，導(dǎo)向精度高，針尖上下滑動靈活，無卡阻和拖尾現(xiàn)象，保證同一平 面上的針尖在同一水平線上，配合探針柔軟防滑的特性，加以底座支撐防滑裝置，得以穩(wěn)定 精密接觸測量氧化銦錫薄膜，傳導(dǎo)至電阻測試儀。
[0017] 本實用新型用于對薄膜方塊電阻、電阻率的測試。測試探頭裝置垂直放于測試樣 本上，結(jié)合圓滑探針針頭、底座支持防滑裝置，利用探頭自身重量對探針進行施加壓力，致 使四探針與氧化銦錫膜層緊密接觸，結(jié)構(gòu)緊湊，探針間距精確，導(dǎo)向精度高，針尖上下滑動 靈活，無卡阻和拖尾現(xiàn)象，保證同一平面上的針尖在同一水平線上，加以底座支撐防滑裝 置，得以穩(wěn)定精密接觸測量氧化銦錫薄膜，傳導(dǎo)至電阻測試儀。