技術編號:8562507
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。 本發(fā)明涉及氧化銦錫膜測試裝置,尤其是一種氧化銦錫膜手持式探頭測試裝置。背景技術 目前,現(xiàn)有的氧化銦錫薄膜層的脆弱和柔韌性缺乏,使氧化銦錫薄膜方塊電阻、電 阻率的測試較為復雜。氧化銦錫是一種銦(III族)氧化物(In 2O3)和錫(IV族)氧化物 (SnO2)的混合物,通常質量比為90%In20310% Sn02&97%In2033% SnO2;氧化銦錫在 薄膜狀時,無色透明,隨薄膜厚度加深,顏色反射色發(fā)生變化,由淡灰藍色一亮灰色一黃色 -紫紅色一...
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