的多 路出射光光強(qiáng)相同，即該多路光強(qiáng)相同的出射光不是由多個激光器發(fā)射得到的，而是僅僅 由一個激光器經(jīng)過該多路分光棱鏡37的反射、折射得到的，由此，在有限的布置空間內(nèi)，可 以選用體積稍大的激光器，當(dāng)激光器體積增大后，其內(nèi)部散熱性能改善，并且，由于該激光 器內(nèi)增設(shè)了反饋電路，可以根據(jù)需要改變激光器的內(nèi)部參數(shù)，因此，能夠增強(qiáng)激光器的輸出 功率和波長的穩(wěn)定性。其中，多個分光面之間平行且多個分光面與水平方向的夾角α分別 為45°是為了使經(jīng)過各分光面反射后光只平移而不發(fā)生方向的變化，從而便于對PSD進(jìn)行 布置。激光器36發(fā)射的激光沿著與該直線的垂直方向射向其中一處于最外側(cè)的分光面，其 原因在于，光線具有直線傳播的性質(zhì)，如果是從處于中間位置的某個分光面入射，則僅有處 于該分光面反射光方向的分光面可以起到分光的作用，其他分光面則無法發(fā)揮作用。
[0072] 其中，作為多個分光面的一種具體的實(shí)現(xiàn)方式，分光面為5個，依次為第一分光 面31，第二分光面32,第三分光面33、第四分光面34和第五分光面35。激光器36發(fā)射 的激光沿著與各分光面中心直線垂直的方向射向第一分光面31，第一分光面31的反射率 為80 %，透射率為20%，則，經(jīng)過通過該第一分光面31的出射光的光強(qiáng)的理論值為激光器 36原始光強(qiáng)的1X20%= 20% ;第二分光面32的反射率為25%，透射率為75%，經(jīng)過第 二分光面32的出射光的光強(qiáng)的理論值為激光器36原始光強(qiáng)的1X80% X25%= 20% ; 經(jīng)過第二分光面32的透射光的光強(qiáng)的理論值為激光器36原始光強(qiáng)的1X80% X75% = 60 % ;第三分光面33的反射率為34 %，透射率為66 %，經(jīng)過第三分光面33的出射光的光 強(qiáng)的理論值為激光器36原始光強(qiáng)的60% X 34%的20. 4%，經(jīng)過第三分光面33的透射光 的光強(qiáng)的理論值為激光器36原始光強(qiáng)的60% X66%= 39. 6% ;第四分光面34的反射率 為50%，透射率為50%，經(jīng)過第四分光面34的出射光的光強(qiáng)的理論值為激光器36原始光 強(qiáng)的39. 6% X50%= 19. 8%，經(jīng)過第四分光面34的透射光的光強(qiáng)的理論值為激光器36 原始光強(qiáng)的39. 6% X50%= 19. 8% ;第五分光面的反射率為100%，透射率為0,經(jīng)過第五 分光面35的出射光的光強(qiáng)的理論值為激光器36原始光強(qiáng)的19. 8%。由此可見，經(jīng)過該第 一分光面31、第二分光面32、第三分光面33、第四分光面34和第五分光面35的出射光的 光強(qiáng)分別為激光器36原始光強(qiáng)的20%、20%、20. 4%、19. 8%和19. 8%，由于20%= 20% ~20. 4%~19. 8%~19. 8%，因此，可以認(rèn)為經(jīng)過本發(fā)明實(shí)施例提供的多路激光發(fā)射裝置 透射、反射得到的五路出射光的光強(qiáng)相等，均為激光器36原始光強(qiáng)的20%。在此種情況下， 該五路出射光的光強(qiáng)的影響因子可以認(rèn)為是只有激光器36的原始光強(qiáng)，而不是像申請?zhí)?為201410188236. 2的發(fā)明專利申請涉及的自動實(shí)時快速檢測晶片基底二維形貌的裝置， 需要同時調(diào)節(jié)各激光器，因此，本發(fā)明實(shí)施例提供的多路激光發(fā)射裝置便于對出射光的光 強(qiáng)進(jìn)行控制，并且調(diào)節(jié)更加方便。
[0073] 其中，多個分光面的上、下表面分別設(shè)有增透模，增透膜與激光器發(fā)射的激光波長 相配合。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例提供的多路激光發(fā)射裝置，即該裝置中分光面包括五個，出射光 分別是經(jīng)過各分光面反射、折射得到的，其中，經(jīng)過第一分光面31的出射光是經(jīng)過該第一 分光面31透射得到的，經(jīng)過第二分光面32的出射光是經(jīng)過第一分光面31反射和第二分光 面32反射得到的，經(jīng)過第三分光面33的出射光是經(jīng)過第一分光面31反射、第二分光面32 透射和第三分光面33反射得到的，經(jīng)過第四分光面34的出射光是經(jīng)過第一分光面31反 射、第二分光面32透射、第三分光面33透射和第四分光面34反射得到的，經(jīng)過第五分光面 35的出射光是經(jīng)過第一分光面31反射、第二分光面32透射、第三分光面33透射、第四分光 面34透射和第五分光面35反射后得到的。這就需要光線在經(jīng)過第一~第五分光面時由于 分光面本身造成的光強(qiáng)衰減盡可能低，因此，在分光面的上、下表面設(shè)置與激光器36的發(fā) 光波長相配合的增透?？梢员M可能降低由于分光面本身造成的光強(qiáng)衰減，從而保證該五路 出射光的光強(qiáng)相等。
[0074] 其中，多個分光面兩兩之間的間距相等，根據(jù)幾何關(guān)系，當(dāng)多個分光面兩兩之間的 間距相等時，多路出射光之間的間距也兩兩之間相等，此時，便于根據(jù)各路出射光的位置對 各PSD的位置進(jìn)行布置。
[0075] 實(shí)施例四
[0076] 參見附圖4,為了保證附圖的一致性，附圖4中沿用了附圖2對第一分光片和第二 分光片的標(biāo)號，即將第一分光片整體標(biāo)號為21，將第二分光片整體標(biāo)為22,但是，為了便于 對光路進(jìn)行說明，說明時，仍按照附圖1中的對第一分光片和第二分光片的標(biāo)號，即將第一 分光片分為4和4'，而將第二分光片分為14和14'。
[0077] 與本發(fā)明實(shí)施例三提供自動檢測晶片基底二維形貌的裝置的不同之處在于，本發(fā) 明實(shí)施例四提供的自動檢測晶片基底二維形貌的裝置通過第二分光片14耦合了溫度檢測 裝置，溫度檢測裝置設(shè)置于第二分光片14上方，第二種激光經(jīng)過第二分光片14上對應(yīng)于 第一方向光束的任一個區(qū)域透射，對應(yīng)于第二種激光的區(qū)域，第二分光片14的鍍膜使其在 U 2-l〇nm，λ2+1〇ηΠ ι)的波長范圍內(nèi)的透射率大于95%，其中，人2為第二種激光的波長。
[0078] 溫度檢測裝置包括第二種激光發(fā)射裝置、第四分光元件17和激光接收裝置，第二 種激光發(fā)射裝置發(fā)出的第二種激光經(jīng)過第四分光元件17并被第二分光片透射后射向晶片 基底，被晶片基底反射后形成第二種反射光束，第二種反射光束依次經(jīng)過第二分光片透射、 第四分光元件17后，被激光接收裝置接收。其中，激光發(fā)射裝置包括發(fā)射光纖15和第一透 鏡16,發(fā)射光纖15處于第一透鏡16的焦點(diǎn)處，從而，經(jīng)過發(fā)射光纖15發(fā)出的第二種激光 經(jīng)過第一透鏡16后成為平行光，激光接收裝置包括第二透鏡18和接收光纖19,接收光纖 19處于第二透鏡18的焦點(diǎn)處，從而，經(jīng)過第二透鏡18的平行光束在到達(dá)接收光纖19時成 為匯聚光。此外，接收光纖19的芯徑大于發(fā)射光纖15的芯徑，光纖芯徑越大，能夠接收的 光的光強(qiáng)就越大，當(dāng)接收光纖19的芯徑大于發(fā)射光纖的芯徑時，接收光纖能夠保證第二平 行光束經(jīng)過第二透鏡18折射后得到的光能夠完全被接收光纖19接收，從而，系統(tǒng)穩(wěn)定性更 好。
[0079] 此外，還可以根據(jù)激光接收裝置將探測得到的光強(qiáng)信號計算得到所述晶片基底的 實(shí)時溫度，此時，可以根據(jù)多次測量得到的所述晶片基底的二維形貌和晶片基底的實(shí)時溫 度，得到晶片基底的二維形貌和所述晶片基底的實(shí)時溫度之間的分布關(guān)系。
[0080] 實(shí)施例五
[0081] 參見附圖5,為了保證附圖的一致性，附圖5中沿用了附圖2對第一分光片和第二 分光片的標(biāo)號，即將第一分光片整體標(biāo)號為21，將第二分光片整體標(biāo)為22,但是，為了便于 對光路進(jìn)行說明，說明時，仍按照附圖1中的對第一分光片和第二分光片的標(biāo)號，即將第一 分光片分為4和4'，而將第二分光片分為14和14'。
[0082] 與本發(fā)明實(shí)施例四提供的自動檢測晶片基底二維形貌的裝置的不同之處在于，本 發(fā)明實(shí)施例物提供的自動檢測晶片基底二維形貌的裝置沒有通過第二分光片14耦合溫度 檢測裝置，而是通過第一分光片4 '耦合溫度檢測裝置，溫度檢測裝置設(shè)置于第一分光片 4 ^右方，第二種激光經(jīng)過第一分光片4'上對應(yīng)于第二方向光束的任一個區(qū)域4'透射， 并經(jīng)過第二分光片上對應(yīng)于第二方向光束14 '的任一個區(qū)域14 '反射，對應(yīng)于第二種激 光的區(qū)域，第一分光片4'的鍍膜使其在（λ2-1〇ηΠ ι，λ2+1〇ηΠ ι)的波長范圍內(nèi)的透射率大 于95%，第二分光片14 '的鍍膜使其在（λ2-1〇ηΠ ι，λ2+1〇ηΠ ι)的波長范圍內(nèi)的反射率大于 95%，其中，λ 2為第二種激光的波長。
[0083] 其中，溫度檢測裝置包括第二種激光發(fā)射裝置、第四分光元件17和激光接收裝 置，第二種激光發(fā)射裝置發(fā)出的第二種激光經(jīng)過第四分光元件17,第一分光片4 '透射，第 二分光片14 '反射后射向晶片基底，被晶片基底反射后形成第二種反射光束，第二種反射 光束依次經(jīng)過第二分光片14 '反射、第一分光片4 '透射和第四分光元件17后，被激光接 收裝置接收。
[0084] 本發(fā)明實(shí)施例五