程序指令形態(tài)，并能夠記錄于計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)。上述計(jì)算機(jī)上述計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)可以單獨(dú)或組合包含程序指令、數(shù)據(jù)文件、數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)等。記錄于上述介質(zhì)的程序指令可以為為了本發(fā)明而特別設(shè)計(jì)并構(gòu)成的程序指令，或者為已公開于計(jì)算機(jī)軟件技術(shù)人員來可進(jìn)行使用的程序指令。作為計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)的例，包括硬盤、軟盤及磁帶之類的磁介質(zhì)(magnetic media)、CD-ROM，DVD之類的光介質(zhì)(opticalmedia)、軟式光盤(floptical disk)之類的磁光介質(zhì)(magneto-optical media)及只讀存儲(chǔ)器(R0M)、隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(RAM)、閃存等以存儲(chǔ)并執(zhí)行程序指令的方式特別構(gòu)成的硬件裝置。程序指令的例不僅包括例如通過編譯器制成的機(jī)械語言代碼，而且包括可以使用解釋器等，通過計(jì)算機(jī)來執(zhí)行的高級(jí)語言代碼。
[0112]以上，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行了說明，但需要理解的是，只要是本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，就能在不脫離專利權(quán)利要求書中記載的本發(fā)明的思想的范圍內(nèi)，借助結(jié)構(gòu)要素的附加、變更、刪除或追加等而對(duì)本發(fā)明實(shí)施多種修改及變更，而這同樣屬于本發(fā)明的權(quán)利范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法，其中，包括: 判斷基板上的第一測(cè)定區(qū)域(FOV)的有效性的步驟； 在上述第一測(cè)定區(qū)域(FOV)沒有有效性的情況下，在以上述第一測(cè)定區(qū)域(FOV)為中心來預(yù)先設(shè)定的半徑以內(nèi)的相鄰的多個(gè)測(cè)定區(qū)域中確定多個(gè)有效測(cè)定區(qū)域(FOV)的步驟； 在上述多個(gè)有效測(cè)定區(qū)域(FOV)內(nèi)以上述第一測(cè)定區(qū)域?yàn)橹行奶崛∩鲜鲱A(yù)先設(shè)定的半徑以內(nèi)的多個(gè)特征客體的步驟;以及 利用上述所提取的多個(gè)特征客體的信息來生成針對(duì)上述第一測(cè)定區(qū)域的補(bǔ)償矩陣的步驟。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法，其中，判斷上述第一測(cè)定區(qū)域的有效性的步驟包括: 在上述第一測(cè)定區(qū)域內(nèi)求得最外圍的多個(gè)襯墊的坐標(biāo)的步驟； 在上述第一測(cè)定區(qū)域內(nèi)求得最外圍的多個(gè)特征客體的坐標(biāo)的步驟； 針對(duì)連接上述最外圍的多個(gè)襯墊的坐標(biāo)的第一多邊形的第一面積，計(jì)算出連接上述第一多邊形和上述最外圍的多個(gè)特征客體的坐標(biāo)的第二多邊形的重疊的第二面積的比率的步驟；以及 判斷上述比率是否大于預(yù)先設(shè)定的基準(zhǔn)值的步驟。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法，其中，確定上述多個(gè)有效測(cè)定區(qū)域的步驟包括: 針對(duì)各個(gè)上述相鄰的多個(gè)測(cè)定區(qū)域，在上述各測(cè)定區(qū)域內(nèi)求得最外圍的多個(gè)襯墊的坐標(biāo)的步驟； 在上述各測(cè)定區(qū)域內(nèi)求得最外圍的多個(gè)特征客體的坐標(biāo)的步驟； 針對(duì)連接上述最外圍的多個(gè)襯墊的坐標(biāo)的第一多邊形的第一面積，計(jì)算出連接上述第一多邊形和上述最外圍的多個(gè)特征客體的坐標(biāo)的第二多邊形的重疊的第二面積的比率的步驟；以及 判斷上述比率是否大于預(yù)先設(shè)定的基準(zhǔn)值的步驟。4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法，其中，由(上述第一多邊形和上述第二多邊形的重疊的面積)/上述第一面積X 100而確定上述比率。5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法，其中，上述最外圍的多個(gè)襯墊的坐標(biāo)為上述最外圍的多個(gè)襯墊的中心坐標(biāo)，上述最外圍的多個(gè)特征客體的坐標(biāo)為上述最外圍的多個(gè)特征客體的中心坐標(biāo)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法，其中，通過確認(rèn)上述多個(gè)有效測(cè)定區(qū)域分別包括的特征客體的數(shù)量是否大于預(yù)先設(shè)定的值來確定上述多個(gè)有效測(cè)定區(qū)域。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法，其中，上述第一測(cè)定區(qū)域的中心為連接上述第一測(cè)定區(qū)域內(nèi)的最外圍的襯墊的坐標(biāo)來生成的多邊形的中心。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法，其中，上述特征客體為上述第一測(cè)定區(qū)域內(nèi)的孔圖案、圓形圖案或彎曲圖案的邊角部分中的至少一種。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法，其中，在生成上述補(bǔ)償矩陣的步驟之前，上述方法還包括預(yù)測(cè)上述補(bǔ)償矩陣的有效性的步驟。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法，其中，預(yù)測(cè)上述補(bǔ)償矩陣的有效性的步驟包括: 在上述第一測(cè)定區(qū)域內(nèi)求得最外圍的多個(gè)襯墊的坐標(biāo)的步驟； 在上述多個(gè)有效測(cè)定區(qū)域(FOV)內(nèi)，在以上述第一測(cè)定區(qū)域?yàn)橹行膩眍A(yù)先設(shè)定的半徑以內(nèi)的上述多個(gè)特征客體中求得最外圍的多個(gè)特征客體的坐標(biāo)的步驟； 針對(duì)連接上述最外圍的多個(gè)襯墊的坐標(biāo)的第一多邊形的第一面積，計(jì)算出連接上述第一多邊形和上述最外圍的多個(gè)特征客體的坐標(biāo)的第二多邊形的重疊的第二面積的比率的步驟；以及 判斷上述比率是否大于預(yù)先設(shè)定的基準(zhǔn)值的步驟， 在上述比率大于預(yù)先設(shè)定的基準(zhǔn)值的情況下，利用所上述提取的多個(gè)特征客體的信息來生成上述補(bǔ)償矩陣。11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法，其中，根據(jù)上述比率來確定所生成的補(bǔ)償矩陣的種類。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法，其中，上述補(bǔ)償矩陣的種類為仿射變換矩陣(affine transformat1n)或投影變換矩陣(projectivetransformat1n)、尺度和旋轉(zhuǎn)(scaling&rotat1n transformat1n)變換矩陣中的一種。13.—種檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法，其中，包括: 在基板的測(cè)定區(qū)域(FOV)上提取特征客體的步驟； 在上述所提取的特征客體中利用選擇相鄰的至少三個(gè)以上的特征客體的坐標(biāo)來形成的多邊形，從而設(shè)定多個(gè)有效區(qū)域的步驟； 利用與上述多個(gè)有效區(qū)域分別相對(duì)應(yīng)的多邊形的特征客體的坐標(biāo)，按各個(gè)上述有效區(qū)域生成補(bǔ)償矩陣的步驟;以及 選擇按各上述襯墊相匹配的補(bǔ)償矩陣來補(bǔ)償上述襯墊的坐標(biāo)的步驟。14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法，其中，上述有效區(qū)域以與上述有效區(qū)域相對(duì)應(yīng)的多邊形的重心坐標(biāo)為中心被設(shè)定為有效距離以內(nèi)。15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法，其中，在各上述有效區(qū)域的補(bǔ)償矩陣中，設(shè)置有上述襯墊且從上述襯墊至上述多邊形的重心為止的距離最小的補(bǔ)償矩陣被選擇為針對(duì)上述襯墊的補(bǔ)償矩陣。16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法，其中，上述有效距離以上述重心坐標(biāo)為中心形成上述多邊形的特征客體的坐標(biāo)之間的距離的平均距離而確定。17.根據(jù)權(quán)利要求13所述的檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法，其中，上述多邊形為三角形。18.根據(jù)權(quán)利要求13所述的檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法，其中，上述特征客體為上述第一測(cè)定區(qū)域內(nèi)的孔圖案、圓形圖案或彎曲圖案的邊角部分中的至少一種。19.根據(jù)權(quán)利要求13所述的檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法，其中，上述補(bǔ)償矩陣為仿射變換矩陣(affine transformat1n)或投影變換矩陣(projective transformat1n)、尺度和旋轉(zhuǎn)(scaling&rotat1n transformat1n)變換矩陣中的一種。20.—種記錄介質(zhì)，其中，存儲(chǔ)有用于執(zhí)行權(quán)利要求1至3及權(quán)利要求6至19中任意一項(xiàng)所述的檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法的程序。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法。上述方法包括：判斷基板上的第一測(cè)定區(qū)域的有效性的步驟；在上述第一測(cè)定區(qū)域(FOV)沒有有效性的情況下，在以上述第一測(cè)定區(qū)域(FOV)為中心來預(yù)先設(shè)定的半徑以內(nèi)的相鄰的多個(gè)測(cè)定區(qū)域中確定多個(gè)有效測(cè)定區(qū)域(FOV)的步驟；在上述多個(gè)有效測(cè)定區(qū)域(FOV)內(nèi)以上述第一測(cè)定區(qū)域?yàn)橹行奶崛∩鲜鲱A(yù)先設(shè)定的半徑以內(nèi)的多個(gè)特征客體的步驟；以及利用上述所提取的多個(gè)特征客體的信息來生成針對(duì)上述第一測(cè)定區(qū)域的補(bǔ)償矩陣的步驟。根據(jù)上述方法，即使在利用第一測(cè)定區(qū)域內(nèi)的特征客體的信息來生成的補(bǔ)償矩陣沒有有效性的情況下，也能夠提高檢查基板時(shí)的檢查結(jié)果的可靠性。
【IPC分類】G01N21/956, G01B11/00, G01B11/30
【公開號(hào)】CN105593636
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201480054313
【發(fā)明人】鄭升源, 崔鐘鎮(zhèn), 金資根
【申請(qǐng)人】株式會(huì)社高永科技
【公開日】2016年5月18日
【申請(qǐng)日】2014年10月22日
【公告號(hào)】WO2015068971A1