]此時，上述比率可以被使用為表示在第一測定區(qū)域內(nèi)的特征客體在襯墊的周圍均勾地分布的均勾性(un i f ormi ty)的指標(biāo)。上述比率越大，就意味著均勾性越高，而這意味著上述補償矩陣的有效性高。
[0076]然后，判斷上述比率是否大于預(yù)先設(shè)定的基準(zhǔn)值(S230)。
[0077]上述比率可以通過如下的數(shù)學(xué)式I來進(jìn)行定義。
[0078][數(shù)學(xué)式]
[0079](第一多邊形和上述第二多邊形的重疊的面積P2/第一多邊形的面積Pl第一面積)*100
[0080]上述預(yù)先設(shè)定的基準(zhǔn)值可以被設(shè)定為通過多次測試來保證補償矩陣的有效性的基準(zhǔn)值，而這可以根據(jù)情況來進(jìn)行多種設(shè)定。
[0081 ]若判斷上述第一測定區(qū)域F14沒有有效性，則在以上述第一測定區(qū)域F14為中心來預(yù)先設(shè)定的半徑以內(nèi)的相鄰的多個測定區(qū)域中確定多個有效測定區(qū)域(S110)。
[0082]此時，上述第一測定區(qū)域的中心可以為連接上述第一測定區(qū)域內(nèi)的最外圍的襯墊的坐標(biāo)來生成的多邊形的中心。
[0083]如圖3所示，以上述第一測定區(qū)域F14為中心來預(yù)先設(shè)定的半徑以內(nèi)的相鄰的多個測定區(qū)域F8、F9、F13、F15、F18、F19、F20可首先被選定為候選測定區(qū)域。
[0084]在上述所選定的候選測定區(qū)域中確定有效測定區(qū)域的方法可以針對各上述候選測定區(qū)域分別適用與用于判斷上述所述的第一測定區(qū)域的有效性的方法相同的方法。
[0085]并且，包含在各上述候選測定區(qū)域的特征客體的數(shù)量是否大于預(yù)先設(shè)定的值為基礎(chǔ)，只有在大于預(yù)先設(shè)定的值的情況下，才可以被選定為有效測定區(qū)域。上述兩種方法可以單獨適用，也可以同時適用。
[0086]若確定上述多個有效測定區(qū)域?819、？15、？18、？19、？20，則在上述多個有效測定區(qū)域F8、F9、F15、F18、F19、F20內(nèi)以上述第一測定區(qū)域F14為中心提取上述預(yù)先設(shè)定的半徑以內(nèi)的多個特征客體(S120)。此時，并非利用上述多個有效測定區(qū)域F8、F9、F15、F18、F19、F20內(nèi)的所有特征客體，而是提取從上述第一測定區(qū)域F14的中心預(yù)先設(shè)定的半徑以內(nèi)的多個特征客體。
[0087]而且，預(yù)測利用上述所提取的多個特征客體的信息來生成的補償矩陣的有效性(S130)。此時，有效性的預(yù)測方法與上述說明的第一測定區(qū)域的有效性的判斷方法類似。
[0088]圖6為在本發(fā)明的實施例的檢查基板時的測定區(qū)域補償方法中，判斷利用有效測定區(qū)域內(nèi)的特征客體的信息來生成的補償矩陣的有效性的方法的順序圖。
[0089]如上述圖6所示，首先，在上述第一測定區(qū)域內(nèi)求得最外圍的多個襯墊的坐標(biāo)(S300)。并且，在上述多個有效測定區(qū)域內(nèi)，在以上述第一測定區(qū)域為中心的上述預(yù)先設(shè)定的半徑以內(nèi)的多個特征客體中求得最外圍的多個特征客體的坐標(biāo)。
[0090]然后，設(shè)定連接上述最外圍的多個襯墊的坐標(biāo)的第一多邊形和連接上述最外圍的多個特征客體的坐標(biāo)的第二多邊形。若上述第一多邊形和第二多邊形被設(shè)定，則針對作為上述第一多邊形的面積的第一面積，計算出表示上述第一多邊形和上述第二多邊形重疊的面積的第二面積的比率(S320)。
[0091]若計算出上述比率，則判斷上述比率是否大于預(yù)先設(shè)定的基準(zhǔn)值(S330)。
[0092]判斷結(jié)果，若上述比率大于預(yù)先設(shè)定的基準(zhǔn)值，則判斷利用上述所提取的多個特征客體的信息來生成的補償矩陣有效，利用上述所提取的多個特征客體來生成針對上述第一測定區(qū)域的補償矩陣(S140)。
[0093]此時，可以確定根據(jù)上述比率來生成的補償矩陣的種類。上述補償矩陣的種類可以為仿射變換(aff ine transformat 1n)矩陣或投影變換(projective transformat1n)矩陣、尺度和旋轉(zhuǎn)(80&1;[]^&1'(^&1:;[011 transformat 1n)變換矩陣中的一種。
[0094]例如，若上述比率大于80，則仿射變換矩陣可以生成為補償矩陣，若上述比率大于60且小于80，則可以生成仿射變換矩陣，若上述比率大于40且小于60，則可以生成尺度和旋轉(zhuǎn)變換矩陣。
[0095]確定上述補償矩陣的種類的比率的范圍僅為例示，可以在多種范圍內(nèi)進(jìn)行設(shè)定。
[0096]另一方面，在柔性印刷電路基板(Flexible Printed Circuit;FPCB)的情況下，因柔韌的材質(zhì)的特性，導(dǎo)致基板的彎曲(warp)或扭曲(distort1n)等歪曲變大。其結(jié)果，在測定區(qū)域內(nèi)，由于彎曲或扭曲程度也會按區(qū)域變得不同，因此，在以測定區(qū)域為單位進(jìn)行補償，并進(jìn)行基板檢查的情況下，無法確?；鍣z查的可靠性。
[0097]以下，為了提高檢查柔性印刷電路基板時的可靠性，本發(fā)明的實施例對測定區(qū)域進(jìn)行進(jìn)一步的細(xì)分化，并補償襯墊的坐標(biāo)的方法進(jìn)行說明。
[0098]圖7為本發(fā)明另一實施例的檢查基板時的測定區(qū)域補償方法的順序圖，圖8為用于說明本發(fā)明另一實施例的檢查基板時的測定區(qū)域補償方法的基板的示例圖。
[0099]如上述圖7所示，首先，在基板300的測定區(qū)域上提取特征客體310(S400)。此時，如同在上述實施例中進(jìn)行的說明，特征客體310可以為測定區(qū)域內(nèi)的孔圖案、圓形圖案或彎曲圖案的邊角部分中的至少一種。
[0100]然后，在上述所提取的特征客體中利用選擇相鄰的至少三個以上的特征客體的坐標(biāo)來形成的多邊形，并設(shè)定多個有效區(qū)域(S410)。在測定區(qū)域上存在多個特征客體，其中，只要選擇相鄰的至少三個以上的特征客體，就可以形成多邊形。
[0101]如果假設(shè)上述多邊形為三角形的情況進(jìn)行說明如下，如上述圖8所示，可以在測定區(qū)域上選擇相鄰的三個特征客體來形成多個三角形320。可以利用以這種方式形成的多個三角形將FOV分割為多個區(qū)域。
[0102]上述有效區(qū)域320能夠以與上述有效區(qū)域320相對應(yīng)的多邊形的重心坐標(biāo)為中心設(shè)定在有效距離以內(nèi)，其結(jié)果，如上述圖8所示，有效區(qū)域320可呈圓形。
[0103]上述有效距離可以以上述重心坐標(biāo)為中心形成上述多邊形的特征客體的坐標(biāo)之間的距離的平均距離而確定，作為一例，有效距離可以被設(shè)定為多種大小。
[0104]然后，利用與上述多個有效區(qū)域分別相對應(yīng)的多邊形的特征客體的坐標(biāo)，按各個上述有效區(qū)域生成補償矩陣(S420)。
[0105]上述補償矩陣可以為上述仿射變換(affine transformat1n)矩陣或投影變換(projective 1:作118；1^01'1]1&1:;[011)矩陣、尺度和方定車專(80&1;[呢&1'0七&1:;[011 transformat1n)^換矩陣中的一種。
[0106]另一方面，若生成補償矩陣，則選擇按各上述襯墊340相匹配的補償矩陣來補償上述襯墊的坐標(biāo)(S430)。
[0107]此時，按各襯墊相匹配的補償矩陣可以在各上述有效區(qū)域的補償矩陣中，可以被選擇為設(shè)置有上述襯墊且從上述襯墊至上述多邊形的重心為止的距離最小的補償矩陣。
[0108]由于可以在重疊有有效區(qū)域的區(qū)域內(nèi)設(shè)置襯墊340，因此，選擇至多邊形的重心為止的距離最小的補償矩陣作為針對相應(yīng)的襯墊340的補償矩陣，從而能夠提高補償襯墊的坐標(biāo)時的可靠性。
[0109]像這樣，將測定區(qū)域進(jìn)一步細(xì)分化為多個區(qū)域，來生成補償矩陣，從而補償被細(xì)分化的各區(qū)域的基于基板的彎曲或扭曲的襯墊的坐標(biāo)，最終可以顯著提高檢查柔性印刷電路基板時的可靠性。
[0110]在本實施例中，雖然對于以利用測定區(qū)域上的特征客體來分割區(qū)域，并按被分割的不同區(qū)域生成補償矩陣，并按不同的襯墊進(jìn)行適用進(jìn)行了說明，但也能夠以相反的方式利用襯墊來分割區(qū)域，并按分割后的不同的區(qū)域來生成補償矩陣，并將此適用于不同的特征客體。
[0111]在上述中說明的本發(fā)明的實施例的檢查基板時的測定區(qū)域補償方法的體現(xiàn)方法可以被體現(xiàn)為能夠通過多種計算機單元來執(zhí)行的