檢查基板時的測定區(qū)域補償方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種檢查基板時的測定區(qū)域補償方法，更詳細地，涉及一種當(dāng)無法信賴通過當(dāng)前的測定區(qū)域內(nèi)的信息來生成的補償矩陣的有效性時，利用與當(dāng)前的測定區(qū)域相鄰的測定區(qū)域內(nèi)的信息來生成針對當(dāng)前的測定區(qū)域的補償矩陣的方法。并且，涉及一種將柔性印刷電路基板的測定區(qū)域進一步細分化為多個區(qū)域，來生成補償矩陣，從而按被細分化的不同的區(qū)域來補償基于基板的彎曲或扭曲的襯墊的坐標的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]—般情況下，在電子裝置的內(nèi)部設(shè)置有至少一個印刷電路基板(printed circuitboard;PCB)，而在這種印刷電路基板上安裝有電路圖案、連接襯墊部以及與上述連接襯墊部電連接的驅(qū)動芯片等多種電路元件。
[0003]—般情況下，為了確認如上所述的多種電路元件是否正常形成于上述印刷電路基板，使用形狀測定裝置。
[0004]現(xiàn)有的形狀測定裝置設(shè)定預(yù)定的測定區(qū)域(Field of View，F(xiàn)0V)，并檢查預(yù)定的電路元件是否正常形成于上述測定區(qū)域內(nèi)。
[0005]只有在需要進行測定的位置準確地設(shè)定測定區(qū)域，才可以正常執(zhí)行對需要測定的電路元件的測定，然而印刷電路基板之類的測定對象物由于底部基板可以發(fā)生彎曲(warp)、扭曲(distort1n)等歪曲，因而需要對此進行補償。
[0006]為此，可以利用印刷電路基板(PCB)上的彎曲圖案或孔圖案等特征客體來生成補償矩陣，并補償測定區(qū)域內(nèi)的襯墊的位置。但是，當(dāng)無法信賴測定區(qū)域內(nèi)的補償矩陣的有效性時，需要提供能夠解決此類問題的方法。
[0007]另一方面，一般情況下，柔性印刷電路(Flexible Printed Circuit ;FPCB)為在柔韌的絕緣膜上形成復(fù)雜電路的電路基板。
[0008]柔性電路基板作為使用柔性材料的聚酯(Polyester;PET)或聚酰亞胺(Polyimide; PI)等耐熱性塑料I旲的基板，因彎曲、重置，折置、卷繞、曲扭等柔韋刃性而可以實現(xiàn)空間的有效利用和立體配線等。因此，使用于攝像機、車載音響、計算機和打印機的頭部、顯示器、便攜式設(shè)備以及觸摸輸入單元等。
[0009]最近，隨著使用柔性電路基板的電子產(chǎn)品的大小縮小，信號發(fā)生單元和傳遞單元變得多樣化和集成化，在狹小的面積印刷有多個電路。根據(jù)所使用的用途，柔性電路基板以按各單位排列的狀態(tài)制備多個印刷有執(zhí)行功能的電路的面板后，切斷各單位面板，并生產(chǎn)為各個產(chǎn)品。
[0010]如上所述，隨著將多個面板制成一個基板，柔性電路基板需要印刷小面積的面板的復(fù)雜的電路，因此，由于集成度的提高而使不合格率增大。
[0011]由此，當(dāng)制作柔性電路基板時，執(zhí)行檢查在各個面板印刷的電路是否不良的檢查作業(yè)。
[0012]此時，由于作為柔性電路基板的柔韌材質(zhì)的特性的彎曲(warp)、扭曲(distort1n)等歪曲比較嚴重，因而需要提供能夠?qū)⑦@種歪曲的影響最小化的補償方法。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0013]解決的技術(shù)問題
[0014]為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的目的在于，提供一種檢查基板時的測定區(qū)域補償方法，其在當(dāng)無法信賴通過當(dāng)前的測定區(qū)域(FOV)內(nèi)的信息來生成的補償矩陣的有效性時，能夠利用與當(dāng)前的測定區(qū)域相鄰的測定區(qū)域內(nèi)的信息來生成針對當(dāng)前的測定區(qū)域的補償矩陣。
[0015]另一方面，本發(fā)明的目的在于，提供一種檢查基板時的測定區(qū)域補償方法，其在柔性印刷電路基板的彎曲或扭曲嚴重的情況下，能夠?qū)⒂纱艘鸬挠绊懽钚』?br>[0016]本發(fā)明的目的并不局限于以上所提及的目的，本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能夠從以下的記載中明確地理解未提及的其他多種目的。
[0017]技術(shù)方案
[0018]用于解決上述問題的本發(fā)明的一實施方式的檢查基板時的測定區(qū)域補償方法包括:判斷基板上的第一測定區(qū)域的有效性的步驟;在上述第一測定區(qū)域沒有有效性的情況下，在以上述第一測定區(qū)域為中心來預(yù)先設(shè)定的半徑以內(nèi)的相鄰的多個測定區(qū)域中確定多個有效測定區(qū)域的步驟;在上述多個有效測定區(qū)域內(nèi)以上述第一測定區(qū)域為中心提取上述預(yù)先設(shè)定的半徑以內(nèi)的多個特征客體的步驟;以及利用上述所提取的多個特征客體的信息來生成針對上述第一測定區(qū)域的補償矩陣的步驟。
[0019]判斷上述第一測定區(qū)域的有效性的步驟可以包括:在上述第一測定區(qū)域內(nèi)求得最外圍的多個襯墊的坐標的步驟;在上述第一測定區(qū)域內(nèi)求得最外圍的多個特征客體的坐標的步驟;針對連接上述最外圍的多個襯墊的坐標的第一多邊形的第一面積，計算出連接上述第一多邊形和上述最外圍的多個特征客體的坐標的第二多邊形的重疊的第二面積的比率的步驟;以及判斷上述比率是否大于預(yù)先設(shè)定的基準值的步驟。
[0020]確定上述多個有效測定區(qū)域的步驟可以包括:針對各個上述相鄰的多個測定區(qū)域，在上述各測定區(qū)域內(nèi)求得最外圍的多個襯墊的坐標的步驟;在上述各測定區(qū)域內(nèi)求得最外圍的多個特征客體的坐標的步驟;針對連接上述最外圍的多個襯墊的坐標的第一多邊形的第一面積，計算出連接上述第一多邊形和上述最外圍的多個特征客體的坐標的第二多邊形的重疊的第二面積的比率的步驟;以及判斷上述比率是否大于預(yù)先設(shè)定的基準值的步驟。
[0021]可以由(上述第一多邊形和上述第二多邊形的重疊的面積)/上述第一面積X 100而確定上述比率。
[0022]上述最外圍的多個襯墊的坐標可以為上述最外圍的多個襯墊的中心坐標，上述最外圍的多個特征客體的坐標可以為上述最外圍的多個特征客體的中心坐標。
[0023]可以通過確認上述多個有效測定區(qū)域分別包括的特征客體的數(shù)量是否大于預(yù)先設(shè)定的值來確定上述多個有效測定區(qū)域。
[0024]上述第一測定區(qū)域的中心可以為連接上述第一測定區(qū)域內(nèi)的最外圍的襯墊的坐標來生成的多邊形的中心。
[0025]上述特征客體可以為上述第一測定區(qū)域內(nèi)的孔圖案、圓形圖案或彎曲圖案的邊角部分中的至少一種。
[0026]在生成上述補償矩陣的步驟之前，上述方法還可以包括預(yù)測上述補償矩陣的有效性的步驟。
[0027]預(yù)測上述補償矩陣的有效性的步驟可以包括:在上述第一測定區(qū)域內(nèi)求得最外圍的多個襯墊的坐標的步驟;在上述多個有效測定區(qū)域(FOV)內(nèi)，在以上述第一測定區(qū)域為中心，在上述預(yù)先設(shè)定的半徑以內(nèi)的多個特征客體中求得最外圍的多個特征客體的坐標的步驟;針對連接上述最外圍的多個襯墊的坐標的第一多邊形的第一面積，計算出連接上述第一多邊形和上述最外圍的多個特征客體的坐標的第二多邊形的重疊的第二面積的比率的步驟;以及判斷上述比率是否大于預(yù)先設(shè)定的基準值的步驟。
[0028]用于解決上述問題的本發(fā)明另一實施方式的檢查基板時的測定區(qū)域補償方法包括:在基板的測定區(qū)域(FOV)上提取特征客體的步驟;在上述所提取的特征客體中利用選擇相鄰的至少三個以上的特征客體的坐標來形成的多邊形，從而設(shè)定多個有效區(qū)域的步驟；利用與上述多個有效區(qū)域分別相對應(yīng)的多邊形的特征客體的坐標，按各個上述有效區(qū)域生成補償矩陣的步驟；以及選擇按各上述襯墊相匹配的補償矩陣來補償上述襯墊的坐標的步驟。
[0029 ]上述有效區(qū)域能夠以與上述有效區(qū)域相對應(yīng)的多邊形的重心坐標為中心被設(shè)定為有效距離以內(nèi)。
[0030]在各上述有效區(qū)域的補償矩陣中，設(shè)置有上述襯墊且從上述襯墊至上述多邊形的重心為止的距離最小的補償矩陣能夠被選擇為針對上述襯墊的補償矩陣。
[0031]上述有效距離能夠以上述重心坐標為中心形成上述多邊形的特征客體的坐標之間的距離的平均距離而確定。
[0032]上述多邊形可以為三角形。
[0033]上述特征客體可以為上述第一測定區(qū)域內(nèi)的孔圖案、圓形圖案或彎曲圖案的邊角部分中的至少一種。
[0034]上述補償矩陣可以為仿射變換(affine transformat1n)矩陣或投影變換(projective 1:作118；1^01'1]1&1:;[011)矩陣、尺