度和方定車專(80&1;[呢&1'0七&1:;[011 transformat1n)^換矩陣中的一種。
[0035]發(fā)明效果
[0036]根據(jù)本發(fā)明的實施例的檢查基板時的測定區(qū)域補償方法，當(dāng)無法信賴通過當(dāng)前的測定區(qū)域內(nèi)的信息來生成的補償矩陣的有效性時，利用與當(dāng)前的測定區(qū)域相鄰的測定區(qū)域內(nèi)的信息來生成針對當(dāng)前的測定區(qū)域的補償矩陣，從而能夠提高針對當(dāng)前的測定區(qū)域的基板檢查結(jié)果的可靠性。
[0037]并且，在柔性印刷電路基板時的補償測定區(qū)域時，將由基板的彎曲或扭曲之類的歪曲引起的影響最小化，從而能夠提高檢查基板的可靠性。
[0038]本發(fā)明的效果并不局限于以上所提及的效果，只要是本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，就可以從以下的記載中明確地理解未提及的其他多種效果。
【附圖說明】
[0039]圖1為用于執(zhí)行本發(fā)明的實施例的檢查基板時的測定區(qū)域補償方法的基板檢查裝置的結(jié)構(gòu)圖。
[0040]圖2為本發(fā)明的實施例的檢查基板時的測定區(qū)域補償方法的順序圖。
[0041]圖3為擬適用本發(fā)明的實施例的檢查基板時的測定區(qū)域補償方法的基板的示例圖。
[0042]圖4為在本發(fā)明的實施例的檢查基板時的測定區(qū)域補償方法中判斷第一測定區(qū)域的有效性的方法的順序圖。
[0043]圖5為用于說明判斷第一測定區(qū)域的有效性的方法的第一測定區(qū)域的示例圖。
[0044]圖6為判斷利用有效測定區(qū)域內(nèi)的特征客體的信息來生成的補償矩陣的有效性的方法的順序圖。
[0045]圖7為本發(fā)明另一實施例的檢查基板時的測定區(qū)域補償方法的流程圖。
[0046]圖8為用于說明本發(fā)明另一實施例的檢查基板時的測定區(qū)域補償方法的基板的示例圖。
[0047]100:基板檢查裝置110:控制部
[0048]120:平臺部130:測定部
[0049]140:存儲部150:顯示部
[0050]160:用戶界面部 200:第一測定區(qū)域[0051 ]210:襯墊220:特征客體
[0052]300:基板320:三角形
[0053]330:有效區(qū)域 340:襯墊
[0054]Pl:第一多邊形 P2:第二多邊形
[0055]S1:第一面積S2:第二面積
【具體實施方式】
[0056]只要參照與所附的附圖一同詳細(xì)說明的多個實施例，就能夠明確地理解本發(fā)明的目的、效果及用于實現(xiàn)這些的技術(shù)結(jié)構(gòu)。在對本發(fā)明進行說明的過程中，在判斷對公知功能或結(jié)構(gòu)的具體說明會不必要地混淆本發(fā)明的要旨的情況下，將省略對此的詳細(xì)說明。并且，后述的多個術(shù)語作為在本發(fā)明中考慮結(jié)構(gòu)、作用及功能等來定義的術(shù)語，這可以根據(jù)使用人員、運作人員的意圖或慣例等而有所不同。
[0057]然而本發(fā)明并不局限于以下所公開的多個實施例，而是能夠以互不相同的多種形態(tài)體現(xiàn)。只不過，本實施例僅為了使本發(fā)明的公開變得更加完整，為了使本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員完整地了解本發(fā)明的范疇而提供，本發(fā)明僅通過專利權(quán)利要求書中所記載的權(quán)利要求的范圍來定義。因此，其定義應(yīng)以本說明書的整體內(nèi)容為基礎(chǔ)而定。
[0058]在說明書全文中，當(dāng)指某個部分“包括”某種結(jié)構(gòu)要素時，只要沒有特別相反的記載，這就意味著并不排除其他結(jié)構(gòu)要素，而是還可以包括其他結(jié)構(gòu)要素。
[0059]以下，參照附圖對本發(fā)明的優(yōu)選的實施例進行詳細(xì)說明。
[0060]圖1為用于執(zhí)行本發(fā)明的一實施例的檢查基板時的測定區(qū)域補償方法的基板檢查裝置的結(jié)構(gòu)圖。
[0061]如上述圖1所示，基板檢查裝置100可以包括控制部110，用于控制基板檢查裝置100的工作，并對用于執(zhí)行各種功能的運算進行處理;平臺部120，移動及搭載作為檢查對象的基板，從而進行固定;測定部130，用于針對搭載于上述平臺部120的基板執(zhí)行檢查;存儲部140，存儲用于驅(qū)動基板檢查裝置100的程序及數(shù)據(jù)；顯示部150，用于輸出基板檢查裝置100的工作狀態(tài)及檢查結(jié)果等;及用戶界面部160，用于接收使用人員的指令等。
[0062]首先，為了設(shè)定用于執(zhí)行基板檢查的檢查區(qū)域而在基板上設(shè)定測定區(qū)域。上述測定區(qū)域意味著為了檢查上述基板是否不良而設(shè)定于上述基板上的預(yù)定的區(qū)域，并且在基板上能夠有多個上述測定區(qū)域。上述測定區(qū)域能夠以上述測定部130所包括的攝像機(未圖示)的拍攝范圍(Field of View，F(xiàn)0V)為基準(zhǔn)來進行設(shè)定。
[0063]接著，獲得針對上述測定區(qū)域的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)。上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)例如可以為針對基板的理論性的平面圖像?？梢詮挠涗浻袑τ谏鲜龌宓男螤畹挠嬎銠C輔助設(shè)計(CAD)信息或格伯(gerber)信息中獲得上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)。上述計算機輔助設(shè)計信息或格伯信息包括上述基板的設(shè)計基準(zhǔn)信息，一般情況下，包括與襯墊、電路圖案、孔圖案等相關(guān)的配置信息。
[0064]另一方面，可以從通過學(xué)習(xí)模式獲得的學(xué)習(xí)信息中獲得上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)。例如，上述學(xué)習(xí)模式能夠以如下方式體現(xiàn):在上述存儲部140中檢索基板信息，若檢索結(jié)果沒有基板信息，則實施空板學(xué)習(xí)，接著，若結(jié)束上述空板學(xué)習(xí)來計算出空板的襯墊及配線信息等基板信息，則在上述數(shù)據(jù)庫存儲上述基板信息的方式等。即，在上述學(xué)習(xí)模式中，可以學(xué)習(xí)印刷電路基板的空板來獲得印刷電路基板的設(shè)計基準(zhǔn)信息，并可以通過上述學(xué)習(xí)模式來獲得學(xué)習(xí)信息，從而可以獲得上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)。
[0065]然后，獲得針對上述測定區(qū)域的測定數(shù)據(jù)。上述測定數(shù)據(jù)可以為利用上述基板檢查裝置100來實際對與上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)相對應(yīng)的上述基板進行拍攝的圖像。上述測定數(shù)據(jù)與基準(zhǔn)數(shù)據(jù)類似，但可以因上述基板的彎曲或扭曲而比基準(zhǔn)數(shù)據(jù)略微歪曲。
[0066]因此，為了補償這種歪曲，可以利用測定區(qū)域的多個特征客體的坐標(biāo)來生成補償矩陣，并利用此來補償測定區(qū)域上的襯墊的位置。上述特征客體(feature)可以為上述基板上的孔圖案、圓形圖案或彎曲圖案的邊角部分中的至少一種。
[0067]但是，在無法信賴?yán)蒙鲜鰷y定區(qū)域內(nèi)的多個特征客體的信息來生成的補償矩陣的有效性的情況下，若直接在上述測定區(qū)域適用上述補償矩陣，則可以發(fā)生無法信賴基板檢查結(jié)果的問題。
[0068]為了解決這種問題，本發(fā)明的實施例的檢查基板時的測定區(qū)域補償方法可以適用如下方法。
[0069]圖2為本發(fā)明的一實施例的檢查基板時的測定區(qū)域補償方法的順序圖，圖3為適用本發(fā)明的一實施例的檢查基板時的測定區(qū)域補償方法的測定區(qū)域的示例圖。
[0070]如上述圖2及圖3所示，首先，判斷基板上的第一測定區(qū)域F14的有效性(S100)。在本發(fā)明的實施例中，基板上的第一測定區(qū)域F14的有效性意味著從包括在上述第一測定區(qū)域F14內(nèi)的特征客體的信息中生成的補償矩陣的有效性，在上述補償矩陣沒有有效性的情況下，判斷上述第一測定區(qū)域(FOV)沒有有效性。判斷上述第一測定區(qū)域(FOV)的有效性的方法可以根據(jù)設(shè)計人員來考慮多種方法，而本發(fā)明的實施例利用如下方法來判斷第一測定區(qū)域(FOV)的有效性。
[0071]圖4為在本發(fā)明的實施例的檢查基板時的測定區(qū)域補償方法中判斷第一測定區(qū)域的有效性的方法的順序圖，圖5為用于說明判斷第一測定區(qū)域的有效性的方法的第一測定區(qū)域的示例圖。
[0072]首先，在上述第一測定區(qū)域200內(nèi)求得最外圍的多個襯墊210的坐標(biāo)(S200)。然后，在上述第一測定區(qū)域200內(nèi)求得最外圍的多個特征客體220的坐標(biāo)(S210)。
[0073]上述最外圍的多個襯墊210的坐標(biāo)可以為上述最外圍的多個襯墊的各個中心坐標(biāo)，上述最外圍的多個特征客體的坐標(biāo)可以為上述最外圍的多個特征客體210的各個中心坐標(biāo)。
[0074]并且，設(shè)定連接上述最外圍的多個襯墊210的坐標(biāo)的第一多邊形Pl和連接上述最外圍的多個特征客體220的坐標(biāo)的第二多邊形P2，并計算出針對上述第一多邊形Pl的面積SI的上述第一多邊形Pl和上述第二多邊形P2相重疊的面積S2比率(S220)。
[0075