干ITO-PET，使乙醇蒸發(fā)，然后放入預(yù)處理腔中，持續(xù)通入高純氧氣，用等離子體轟擊基片5min ；
[0108]所述復(fù)合生物酶的成分為:堿性蛋白酶0.5g/L，纖維素酶0.9g/L，多酚氧化酶0.05g/L，其余為去離子水；
[0109]2.多孔結(jié)構(gòu)YSZ制備
[Ο??Ο] a)稱取適量的Ni(Νθ3)2.6Η2Ο和去離子水放入燒杯中充分溶解，在磁力攪拌的作用下用分液漏斗緩慢滴入氨水，使之充分反應(yīng)，滴定完畢后80°C水浴Ih得到懸濁液，經(jīng)離心機(jī)分離得到沉淀物，然后放入箱式爐中300°C保溫5h即可得到黑色的N1粉末；
[0111]b)稱取YSZ和N1粉末，按質(zhì)量比5:1放入球磨機(jī)中，再加入一定量的分散劑和乙醇，使之充分混合，得到Y(jié)SZ漿料；
[0112]c)將YSZ漿料采用絲網(wǎng)印刷技術(shù)涂覆在導(dǎo)電塑料ITO-PET表面，厚度為2μπι，放入烘干箱中烘干；
[0113]3.有機(jī)薄膜蒸鍍
[0114]a)把待蒸發(fā)的有機(jī)材料(Alq3、CuPc)放入相應(yīng)的蒸發(fā)舟中，并用掩膜擋??；
[0115]b)把烘干后的導(dǎo)電塑料基片從預(yù)處理腔傳送到有機(jī)腔，將基片置于有機(jī)腔內(nèi)的樣品托上，對(duì)準(zhǔn)有機(jī)束源；
[0116]c)對(duì)有機(jī)腔進(jìn)行抽真空，當(dāng)真空達(dá)到所需數(shù)值時(shí)，調(diào)節(jié)蒸發(fā)爐溫控儀，增加蒸發(fā)溫度，對(duì)材料進(jìn)行加熱，條件合適后，依次蒸鍍有機(jī)材料Alq3、CuPc，控制蒸鍍速率與時(shí)間，使之厚度分別為5μηι、2.3μηι ；
[0117]4.絲網(wǎng)狀金屬陰極制備
[0118]當(dāng)各種有機(jī)薄膜蒸鍍完畢后，將基片取出，覆蓋絲網(wǎng)狀電極掩模版，隨后將基片送入金屬蒸鍍室，抽真空使氣壓保持在1.5 X 10—3，進(jìn)行金屬電極的蒸鍍，調(diào)節(jié)電流，使Cr: Al的蒸鍍比例為8:1，得到厚度為3μπι的Cr:Al電極；
[0119]器件測(cè)試數(shù)據(jù):
[0120]器件制作完成后，使用探測(cè)器件發(fā)光亮度的亮度計(jì)探測(cè)器件發(fā)光亮度，使用半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)測(cè)試器件電流-電壓特性。經(jīng)檢測(cè)，該器件對(duì)NO2等氣體具有氣敏響應(yīng)特性，該氣體能夠增大器件的發(fā)光亮度;工作電壓為20V時(shí)，發(fā)光亮度為16 cd/m2，隨NO2等含氮?dú)怏w濃度增加，發(fā)光亮度增加。最低檢測(cè)量0.2ppm NO2濃度下，發(fā)光亮度為18 cd/m2,30 ppm NO2濃度下，發(fā)光亮度為35cd/V，50 ppm N02濃度下，發(fā)光亮度為72 cd/m2,100 ppm NO2濃度下，發(fā)光亮度為145cd/m2，150 ppm NO2濃度下，發(fā)光亮度為222 cd/m2。
[0121]實(shí)施例5:
[0122]—種具有氣體檢測(cè)功能的真空環(huán)網(wǎng)柜，其特征在于，在真空環(huán)網(wǎng)柜柜體的外部安裝氣體檢測(cè)模塊，該氣體檢測(cè)模塊由如下方法制作而成:
[0123]具體流程為:導(dǎo)電塑料ITO-PET表面清洗及處理一基片置于真空腔一真空蒸鍍有機(jī)層一蒸鍍金屬電極一封裝或測(cè)試。
[0124]1.導(dǎo)電塑料ITO-PET清洗
[0125]首先，切割特定尺寸的ITO-PET，用專用洗滌劑和無(wú)塵布對(duì)ITO-PET基片進(jìn)行搓洗，以去除基片上的各種油污物，然后依次放入復(fù)合生物酶液，去離子水、丙酮、乙醇中，各超聲15min;然后，用高純氮?dú)獯蹈蒊TO-PET，使乙醇蒸發(fā)，然后放入預(yù)處理腔中，持續(xù)通入高純氧氣，用等離子體轟擊基片5min ；
[0126]所述復(fù)合生物酶的成分為:堿性蛋白酶0.4g/L，纖維素酶1.lg/L，多酚氧化酶
0.05g/L，其余為去離子水；
[0127]2.多孔結(jié)構(gòu)YSZ制備
[0128]a)稱取適量的Ni(Νθ3)2.6Η2Ο和去離子水放入燒杯中充分溶解，在磁力攪拌的作用下用分液漏斗緩慢滴入氨水，使之充分反應(yīng)，滴定完畢后80°C水浴Ih得到懸濁液，經(jīng)離心機(jī)分離得到沉淀物，然后放入箱式爐中300°C保溫5h即可得到黑色的N1粉末；
[0129]b)稱取YSZ和N1粉末，按質(zhì)量比5:1放入球磨機(jī)中，再加入一定量的分散劑和乙醇，使之充分混合，得到Y(jié)SZ漿料；
[0130]c)將YSZ漿料采用絲網(wǎng)印刷技術(shù)涂覆在導(dǎo)電塑料ITO-PET表面，厚度為2μπι，放入烘干箱中烘干；
[0131]3.有機(jī)薄膜蒸鍍
[0132]a)把待蒸發(fā)的有機(jī)材料(Alq3、CuPc)放入相應(yīng)的蒸發(fā)舟中，并用掩膜擋?。?br>[0133]b)把烘干后的導(dǎo)電塑料基片從預(yù)處理腔傳送到有機(jī)腔，將基片置于有機(jī)腔內(nèi)的樣品托上，對(duì)準(zhǔn)有機(jī)束源；
[0134]c)對(duì)有機(jī)腔進(jìn)行抽真空，當(dāng)真空達(dá)到所需數(shù)值時(shí)，調(diào)節(jié)蒸發(fā)爐溫控儀，增加蒸發(fā)溫度，對(duì)材料進(jìn)行加熱，條件合適后，依次蒸鍍有機(jī)材料Alq3、CuPc，控制蒸鍍速率與時(shí)間，使之厚度分別為5.6μηι、2μηι ；
[0135]4.絲網(wǎng)狀金屬陰極制備
[0136]當(dāng)各種有機(jī)薄膜蒸鍍完畢后，將基片取出，覆蓋絲網(wǎng)狀電極掩模版，隨后將基片送入金屬蒸鍍室，抽真空使氣壓保持在1.5 X 10—3，進(jìn)行金屬電極的蒸鍍，調(diào)節(jié)電流，使Cr: Al的蒸鍍比例為8:1，得到厚度為3μπι的Cr:Al電極；
[0137]器件測(cè)試數(shù)據(jù):
[0138]器件制作完成后，使用探測(cè)器件發(fā)光亮度的亮度計(jì)探測(cè)器件發(fā)光亮度，使用半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)測(cè)試器件電流-電壓特性。經(jīng)檢測(cè)，該器件對(duì)NO2等氣體具有氣敏響應(yīng)特性，該氣體能夠增大器件的發(fā)光亮度;工作電壓為20V時(shí)，發(fā)光亮度為16 cd/m2，隨NO2等含氮?dú)怏w濃度增加，發(fā)光亮度增加。最低檢測(cè)量0.1ppm NO2濃度下，發(fā)光亮度為19 cd/m2，30 ppm NO2濃度下，發(fā)光亮度為35cd/V，50 ppm NO2濃度下，發(fā)光亮度為65 cd/m2,100 ppm NO2濃度下，發(fā)光亮度為150cd/m2，150 ppm NO2濃度下，發(fā)光亮度為208 cd/m2。
[0139]以上所述，僅為本發(fā)明較佳的【具體實(shí)施方式】，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)發(fā)明及其發(fā)明構(gòu)思加以等同替換或改變，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種具有氣體檢測(cè)功能的真空環(huán)網(wǎng)柜，其特征在于，在真空環(huán)網(wǎng)柜柜體的外部安裝氣體檢測(cè)模塊，該氣體檢測(cè)模塊包括柔性基底、發(fā)光層、空穴傳輸層、絲網(wǎng)狀陰極，其中，柔性襯底為導(dǎo)電塑料ITO-PET，多孔結(jié)構(gòu)YSZ為空穴傳輸層。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空環(huán)網(wǎng)柜，其特征在于，所述YSZ漿料厚度為2μπι涂覆在導(dǎo)電塑料表面。3.—種具有氣體檢測(cè)功能的真空環(huán)網(wǎng)柜的制作方法，其特征在于，在真空環(huán)網(wǎng)柜柜體的外部安裝氣體檢測(cè)模塊，該氣體檢測(cè)模塊的制作步驟如下: 有機(jī)電致發(fā)光氣體傳感器制備工藝涉及薄膜技術(shù)及薄膜處理工藝等，主要包括有機(jī)小分子或高分子聚合物等的有機(jī)薄膜的制備、金屬電極的制備和器件封裝等工藝； 具體步驟為:導(dǎo)電塑料ITO-PET表面清洗及處理，基片置于真空腔，真空蒸鍍有機(jī)層，蒸鍍金屬電極，封裝或測(cè)試； (1)導(dǎo)電塑料ITO-PET清洗 首先，切割特定尺寸的ITO-PET，用專用洗滌劑和無(wú)塵布對(duì)ITO-PET基片進(jìn)行搓洗，以去除基片上的各種油污物，然后依次放入復(fù)合生物酶液(可選)，去離子水、丙酮、乙醇中，各超聲15min;然后，用高純氮?dú)獯蹈蒊TO-PET，使乙醇蒸發(fā)，然后放入預(yù)處理腔中，持續(xù)通入高純氧氣，用等離子體轟擊基片5min ； 所述復(fù)合生物酶的成分為:堿性蛋白酶0.2-0.5g/L，纖維素酶0.9-1.3g/L，多酚氧化酶.0.05g/L，其余為去離子水。 (2)多孔結(jié)構(gòu)YSZ制備 a)稱取適量的Ni(Νθ3)2.6Η2Ο和去離子水放入燒杯中充分溶解，在磁力攪拌的作用下用分液漏斗緩慢滴入氨水，使之充分反應(yīng)，滴定完畢后80°C水浴Ih得到懸濁液，經(jīng)離心機(jī)分離得到沉淀物，然后放入箱式爐中300°C保溫5h即可得到黑色的N1粉末； b)稱取YSZ和N1粉末，按質(zhì)量比5:6放入球磨機(jī)中，再加入一定量的分散劑和乙醇，使之充分混合，得到Y(jié)SZ漿料； c)將YSZ漿料采用絲網(wǎng)印刷技術(shù)涂覆在導(dǎo)電塑料ITO-PET表面，厚度為2μπι，放入烘干箱中烘干； (3)有機(jī)薄膜蒸鍍 a)把待蒸發(fā)的有機(jī)材料(AIq3、CuPc)放入相應(yīng)的蒸發(fā)舟中，并用掩膜擋??； b)把烘干后的導(dǎo)電塑料基片從預(yù)處理腔傳送到有機(jī)腔，將基片置于有機(jī)腔內(nèi)的樣品托上，對(duì)準(zhǔn)有機(jī)束源； c)對(duì)有機(jī)腔進(jìn)行抽真空，當(dāng)真空達(dá)到所需數(shù)值時(shí)，調(diào)節(jié)蒸發(fā)爐溫控儀，增加蒸發(fā)溫度，對(duì)材料進(jìn)行加熱，條件合適后，依次蒸鍍有機(jī)材料Alq3、CuPc，控制蒸鍍速率與時(shí)間，使之厚度分別為2.5μηι、2μηι; (4)絲網(wǎng)狀金屬陰極制備 當(dāng)各種有機(jī)薄膜蒸鍍完畢后，將基片取出，覆蓋絲網(wǎng)狀電極掩模版，隨后將基片送入金屬蒸鍍室，抽真空使氣壓保持在1.5 X 10—3，進(jìn)行金屬電極的蒸鍍，調(diào)節(jié)電流，使Cr: Al的蒸鍍比例為8:1，得到厚度為3μπι的Cr:Al電極。
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種具有氣體檢測(cè)功能的真空環(huán)網(wǎng)柜及其制作方法，本發(fā)明通過(guò)在真空環(huán)網(wǎng)柜的柜體外部安裝氣體檢測(cè)模塊，使得該真空環(huán)網(wǎng)柜能夠?qū)χ苓叚h(huán)境進(jìn)行氣體檢測(cè)，該氣體檢測(cè)模塊基于有機(jī)電致發(fā)光的氣體傳感器，從傳感器的組件材料，制作工藝，結(jié)構(gòu)等多方面進(jìn)行了創(chuàng)造性的優(yōu)化設(shè)計(jì)，在多種因素的協(xié)同作用下，達(dá)到了出乎意料的靈敏度，具有很大的市場(chǎng)前景。
【IPC分類】H02B13/065, G01N21/66
【公開(kāi)號(hào)】CN105527271
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510869305
【發(fā)明人】潘燕
【申請(qǐng)人】潘燕
【公開(kāi)日】2016年4月27日
【申請(qǐng)日】2015年12月2日