峰右端像素。
[0076](5)將峰頂點像素之中X坐標值最小的像素設為最初的關注像素。
[0077](5)的處理之后進入(6)的處理。
[0078](6)判斷是否滿足與關注像素對應的峰左端像素和峰右端像素在X方向上的距離(峰右端像素的X坐標值-峰左端像素的X坐標值)為規(guī)定像素數(例如，成為提取對象的二維圖像在X方向上的所有像素數的(1/20?1/5)的數)以下的條件。
[0079]在滿足該條件的情況下，進入(7)的處理。
[0080]在不滿足該條件的情況下，當存在X坐標值比當前關注像素大的峰頂點像素時，將X坐標值比當前關注像素大且X坐標值最接近的峰頂點像素變更為下一關注像素，再次進行(6)的處理。
[0081]在不滿足該條件的情況下，當不存在X坐標值比當前關注像素大的峰頂點像素時，結束一系列處理。
[0082](7)判定是否滿足如下條件，即:當前關注像素和與當前關注像素對應的峰左端像素在Y方向上的距離(峰左端像素的Y坐標值-峰頂點像素的Y坐標值)、或當前關注像素和與當前關注像素對應的峰右端像素在Y方向上的距離(峰右端像素的Y坐標值-峰頂點像素的Y坐標值)之中較短的距離是峰左端像素和峰右端像素在X方向上的距離(峰右端像素的X坐標值-峰左端像素的X坐標值)的規(guī)定倍(例如，1/2倍?2倍)以上。
[0083]在滿足該條件的情況下，進入(8)的處理。
[0084]在不滿足該條件的情況下，當存在X坐標值比當前關注像素大的峰頂點像素時，將X坐標值比當前關注像素大且X坐標值最接近的峰頂點像素變更為下一關注像素，再次進行(6)的處理。
[0085]在不滿足該條件的情況下，當不存在X坐標值比當前關注像素大的峰頂點像素時，結束一系列處理。
[0086]在圖9(b)所示的例中，峰頂點像素己以及與其相對應的峰左端像素P#P峰右端像素P6滿足(6)的條件以及(7)的條件。峰頂點像素P7W及與其相對應的峰左端像素P 8和峰右端像素P9*，峰頂點像素P 7與峰左端像素P 8在Y方向上的距離、以及峰頂點像素P 7與峰右端像素？9在Y方向上的距離是峰左端像素P 8與峰右端像素P 9在X方向上的距離的1/5，并不是規(guī)定值(例如，1/2?2)倍數以上，因此不滿足(7)的條件。
[0087]由此，通過(6)的條件以及(7)的條件，能夠僅選擇認為是因缺陷引起的尖銳的峰，不會選擇認為不是因缺陷引起的不陡的峰。
[0088](8)計算出表示連接與當前關注像素對應的峰左端像素和峰右端像素的線段的式，提取該線段上的像素，設為重新提取像素。其中，當該線段經過在X方向上位于峰左端像素與峰右端像素之間且在Y方向上相鄰的2個像素M(xp，yq)、N(xp，yq+l)之間時，將像素N(xp，yq+l)設為重新提取像素。關于通過邊界提取部1411提取出的提取像素中具有與重新提取像素相同的X坐標值且具有與重新提取像素不同的Y坐標值的提取像素，利用重新提取像素置換提取像素，作為構成邊界線部的像素。由此，將提取像素的一部分置換為重新提取像素而得到的邊界線部構成消除了缺陷帶來的影響的原來的邊界線。如圖9(e)所示，置換之后的提取像素與因原來的二維圖像數據所包含的凹部缺陷而變形的邊界線部對應，因此包括暗部，所以通過該暗部能夠表示凹部缺陷的位置。
[0089]重新提取部1412通過以上的(I)?(8)的處理進行了重新提取，但是重新提取的方法并不限于此。例如，作為其他重新提取的方法，也可以是對通過邊界提取部1411提取出的邊界線部擬合用函數表示的曲線，求出擬合曲線(函數曲線)，然后求出使該擬合曲線平滑化之后的平滑化曲線，最后將擬合到該平滑化曲線的二維圖像內的像素設為提取像素。作為用于擬合的函數，可列舉η次函數、高斯函數、洛侖茲函數、Voigt函數、這些函數的組合等。進行擬合時所使用的擬合的評價方法例如可以使用最小二乘法。
[0090]符號說明
[0091]I圖像生成裝置
[0092]11傳輸部
[0093]12光照射部
[0094]13攝像部
[0095]14信息處理裝置
[0096]21顯示部
[0097]100缺陷檢查裝置
[0098]141檢查用圖像數據生成部
[0099]1411邊界提取部
[0100]1412重新提取部
[0101]1413 合成部
【主權項】
1.一種圖像生成裝置，生成用于檢查薄片狀成形體的缺陷的圖像數據，具備: 傳輸部，在薄片狀成形體的長邊方向上傳輸該薄片狀成形體； 光照射部，具備在薄片狀成形體的寬度方向上直線狀延伸的光源，通過該光源向薄片狀成形體照射光； 攝像部，對傳輸中的所述薄片狀成形體進行攝像動作來生成表示二維圖像的二維圖像數據，該攝像部在該二維圖像內包括與所述光源對應的明部和亮度比該明部低的暗部的位置處對薄片狀成形體進行多次攝像動作；和 檢查用圖像數據生成部，根據由所述攝像部生成的多個二維圖像數據生成檢查用圖像數據， 所述檢查用圖像數據生成部包括: 邊界提取部，提取由各二維圖像數據所表示的各二維圖像內的所述明部與所述暗部的邊界線部； 重新提取部，連接所述邊界線部后看作表觀邊界線，對該表觀邊界線進行平滑化以使去除出現在該表觀邊界線中的尖銳的峰，從二維圖像數據中提取平滑化之后得到的構成原來的邊界線的像素；和 合成部，生成由所述重新提取部所提取的像素構成的一維圖像數據，同樣地合成根據多個二維圖像數據得到的多個一維圖像數據來生成檢查用圖像數據。2.一種缺陷檢查裝置，具備: 權利要求1所述的圖像生成裝置；和 顯示部，顯示由通過所述圖像生成裝置的檢查用圖像數據生成部生成的檢查用圖像數據所表示的圖像。3.一種缺陷檢查方法，用于檢查薄片狀成形體的缺陷，包括: 攝像步驟，在通過在薄片狀成形體的寬度方向上直線狀延伸的光源向該薄片狀成形體照射光的同時在該薄片狀成形體的長邊方向上傳輸該薄片狀成形體的狀態(tài)下，對該薄片狀成形體進行攝像動作來生成表示二維圖像的二維圖像數據，在該攝像步驟中，對薄片狀成形體進行多次攝像動作以使在該二維圖像內包括與所述光源對應的明部和亮度比該明部低的暗部； 邊界提取步驟，提取在所述攝像步驟中生成的各二維圖像數據所表示的各二維圖像內的所述明部與所述暗部的邊界線部； 重新提取步驟，連接所述邊界線部后看作表觀邊界線，對該表觀邊界線進行平滑化以使去除出現在該表觀邊界線中的尖銳的峰，從二維圖像數據中提取平滑化之后得到的構成原來的邊界線的像素； 合成步驟，生成由在所述重新提取步驟中提取出的像素構成的一維圖像數據，同樣地合成根據多個二維圖像數據得到的多個一維圖像數據來生成檢查用圖像數據；和 顯示步驟，顯示由在所述合成步驟中生成的檢查用圖像數據所表示的圖像。
【專利摘要】本發(fā)明的缺陷檢查裝置(100)中設置有：傳輸部(11)，傳輸薄片狀成形體；光照射部(12)，向薄片狀成形體照射光；攝像部(13)，通過攝像動作生成二維圖像數據；邊界提取部(1411)，提取由各二維圖像數據表示的各二維圖像內的明部與暗部的邊界線部；重新提取部(1412)，連接通過邊界提取部(1411)提取出的邊界線部后看作表觀邊界線，對該表觀邊界線進行平滑化，以使去除出現在該表觀邊界線中的尖銳的峰，從二維圖像數據中提取平滑化之后得到的構成原來的邊界線的像素；和合成部(1413)，生成由重新提取部(1412)所提取的像素構成的一維圖像數據，同樣地合成根據多個二維圖像數據得到的多個一維圖像數據來生成檢查用圖像數據。
【IPC分類】G06T1/00, G01N21/892
【公開號】CN104919306
【申請?zhí)枴緾N201480004738
【發(fā)明人】尾崎麻耶
【申請人】住友化學株式會社
【公開日】2015年9月16日
【申請日】2014年1月15日
【公告號】WO2014112653A1