數(shù)據(jù)。
[0054]攝像部13 由 CCD (Charge Coupled Device)或 CMOS (Complementary Metal-OxideSemiconductor)的區(qū)域傳感器構(gòu)成。攝像部13被配置成以薄片狀成形體K為基準能夠在與光源相同的一側(cè)或與光源相反的一側(cè)拍攝該薄片狀成形體K的表面，接受來自該薄片狀成形體K的透射光或反射光來生成二維圖像數(shù)據(jù)。攝像部13可以通過I個區(qū)域傳感器來生成二維圖像數(shù)據(jù)，也可以根據(jù)通過在X方向上排列的多個區(qū)域傳感器取得的數(shù)據(jù)來生成二維圖像數(shù)據(jù)。攝像部13被配置成攝像范圍是薄片狀成形體K的X方向上的整個區(qū)域。
[0055]圖1所示的攝像范圍的Y方向上的長度W優(yōu)選在攝像部13的按快門時間內(nèi)所傳輸?shù)谋∑瑺畛尚误wK的傳輸距離的至少2倍以上。換言之，攝像范圍的Y方向的長度W優(yōu)選設(shè)定成相對于薄片狀成形體K的同一部分可進行2次以上的攝像動作。例如，當攝像部13的按快門時間為1/30秒?I秒時，攝像范圍的Y方向的長度W被設(shè)定為5mm?50mm左右。由此，通過增加薄片狀成形體K的同一部分的拍攝次數(shù)，從而能夠高精度地檢查缺陷。
[0056]顯示部21例如是液晶顯示器、EL(Electroluminescence)顯示器、等離子顯示器等。顯示部21在顯示畫面上顯示由檢查用圖像數(shù)據(jù)表示的檢查用圖像。
[0057]檢查用圖像數(shù)據(jù)生成部141由CPU (Central Processing Unit)等控制運算電路、DDR SDRAM (Double Data Rate Synchronous Dynamic Random Access Memory)等易失性存儲器以及閃爍 ROM (Read Only Memory)、EEPROM (注冊商標)、HDD (Hard Disk Drive)等非易失性存儲器構(gòu)成。檢查用圖像數(shù)據(jù)生成部141的非易失性存儲器中存儲有起到邊界提取部1411、重新提取部1412以及合成部1413的功能的程序數(shù)據(jù)，根據(jù)該程序數(shù)據(jù)，檢查用圖像數(shù)據(jù)生成部141發(fā)揮邊界提取部1411、重新提取部1412以及合成部1413的功能。另夕卜，檢查用圖像數(shù)據(jù)生成部141也可通過FPGA或GPGPU等圖像處理板或攝像部13的內(nèi)部硬件來實現(xiàn)。
[0058]邊界提取部1411通過現(xiàn)有技術(shù)中公知的邊緣提取方法，從攝像部13生成的二維圖像數(shù)據(jù)所表示的二維圖像內(nèi)中提取邊界線部。重新提取部1412將邊界線部連接在一起看作是表觀邊界線，對該表觀邊界線進行平滑化，以去除在該表觀邊界線中出現(xiàn)的尖銳的峰，從二維圖像數(shù)據(jù)中重新提取進行平滑化之后得到的構(gòu)成原來的邊界線的像素。合成部1413生成由重新提取出的像素構(gòu)成的一維圖像數(shù)據(jù)，同樣合成從多個二維圖像數(shù)據(jù)中得到的多個一維圖像數(shù)據(jù)，生成檢查用圖像數(shù)據(jù)。
[0059]以下，詳細說明重新提取部1412的重新提取。重新提取部1412通過以下的(I)?
(8)的處理，進行來自二維圖像內(nèi)的像素的重新提取。
[0060](I)在通過邊界提取部1411提取出的提取像素之中，將X坐標值最小的像素設(shè)為最初的關(guān)注像素。(I)的處理之后進入(2)的處理。
[0061](2)假設(shè)構(gòu)成邊界線部的、從關(guān)注像素開始在+X方向上的規(guī)定數(shù)(例如，作為提取對象的二維圖像在X方向上的所有像素數(shù)的1/40?1/20的數(shù))為止的范圍內(nèi)的提取像素以及-X方向上的該規(guī)定數(shù)為止的范圍內(nèi)的提取像素，判定是否滿足以下條件，即〈1>這些范圍內(nèi)的所有提取像素的Y坐標值為該關(guān)注像素的Y坐標值以上，且<2>+X方向的該范圍內(nèi)的提取像素之中的至少I個、以及-X方向的該范圍內(nèi)的提取像素中的至少I個都具有比該關(guān)注像素的Y坐標值大的Y坐標值。
[0062]在滿足這些〈1>以及〈2>這兩個條件的情況下，將當前關(guān)注像素設(shè)定為峰頂點像素，進入(3)的處理。
[0063]在不滿足這些〈1>以及〈2>這兩者或其中之一的條件的情況下，當存在X坐標值比當前關(guān)注像素大I的提取像素時，將X坐標值比當前關(guān)注像素大I的提取像素變更為下一關(guān)注像素，再次進行(2)的處理。
[0064]在不滿足這些〈1>以及〈2>這兩者或其中之一的條件的情況下，當不存在X坐標值比當前關(guān)注像素大I的提取像素時，進入(5)的處理。
[0065]利用圖9，說明重新提取部1412進行的處理的具體例。圖9 (a)表示二維圖像的一部分，圖9(b)表示通過邊界提取部1411從該二維圖像提取出的提取像素的一部分。圖9(c)表示將上述規(guī)定數(shù)設(shè)為3、將圖9(b)的像素P1S為關(guān)注像素時包括該關(guān)注像素的上述范圍內(nèi)的提取像素。此外，圖9(d)表示將上述規(guī)定數(shù)設(shè)定為3、將圖9(b)的像素P2設(shè)為關(guān)注像素時包括該關(guān)注像素的上述范圍內(nèi)的提取像素。圖9(c)所示的提取像素中，包括Y坐標值比作為關(guān)注像素的像素Y坐標值小的提取像素。因此，像素P工未被設(shè)定為峰頂點像素，X坐標值比像素？工大I的提取像素被變更為下一關(guān)注像素。圖9(d)所示的各提取像素全部的Y坐標值都比作為關(guān)注像素的像素匕的Y坐標值大。因此，像素P 2被設(shè)定為峰頂點像素，進入(3)的處理。
[0066](3)將X坐標值比峰頂點像素小的提取像素之中Y坐標值比峰頂點像素大且X坐標值最大的提取像素設(shè)為峰左端候補像素。此外，將X坐標值比峰頂點像素大的提取像素之中Y坐標值比峰頂點像素大且X坐標值最小的提取像素設(shè)為峰右端候補像素。將圖9 (b)所示的像素P2設(shè)定為峰頂點像素時，像素P 3成為峰左端候補像素，像素P 4成為峰右端候補像素。(3)的處理之后進入(4)的處理。
[0067](4)以下的(4-1)的處理和(4-2)的處理按照該順序依次進行，或者并列進行。
[0068](4-1)判斷是否滿足X坐標值比當前峰左端候補像素小I的提取像素的Y坐標值比當前峰左端候補像素的Y坐標值大的條件。
[0069]在滿足該條件的情況下，將X坐標值比當前峰左端候補像素小I的提取像素變更為下一峰左端候補像素，再次進行(4-1)的處理。在不滿足該條件的情況下，將當前峰左端候補像素設(shè)定為與當前峰頂點像素(最后設(shè)定的峰頂點像素)對應(yīng)的峰左端像素。
[0070](4-2)判定是否滿足X坐標值比當前峰右端候補像素大I的提取像素的Y坐標值比當前峰右端候補像素的Y坐標值大的條件。
[0071]在滿足該條件的情況下，將X坐標值比當前峰右端候補像素大I的提取像素變更為下一峰右端候補像素，再次進行(4-2)的處理。在不滿足該條件的情況下，將當前峰右端候補像素設(shè)定為與當前峰頂點像素(最后設(shè)定的峰頂點像素)對應(yīng)的峰右端像素。
[0072]通過(4-1)的處理以及(4-2)的處理，設(shè)定與當前峰頂點像素對應(yīng)的峰左端像素以及峰右端像素之后，判定當前峰左端像素或當前峰右端像素是否已經(jīng)被設(shè)定為與其他峰頂點像素對應(yīng)的峰左端像素或峰右端像素。
[0073]在當前峰左端像素或當前峰右端像素已經(jīng)被設(shè)定為與其他峰頂點像素對應(yīng)的峰左端像素或峰右端像素時，解除當前峰頂點像素以及與其相對應(yīng)的當前峰左端像素以及當前峰右端像素的設(shè)定。在當前峰左端像素或當前峰右端像素未被設(shè)定為與其他峰頂點像素對應(yīng)的峰左端像素或峰右端像素時，不解除當前峰頂點像素以及與其相對應(yīng)的當前峰左端像素以及當前峰右端像素的設(shè)定，使其保持不變。
[0074]解除或保持不變當前峰頂點像素、當前峰左端像素、以及當前峰右端像素的設(shè)定之后，若存在X坐標值比當前關(guān)注像素大I的提取像素，則將X坐標值比當前關(guān)注像素大I的提取像素變更為下一關(guān)注像素，再次進行(2)的處理，若不存在X坐標值比當前關(guān)注像素大I的提取像素，則進入(5)的處理。
[0075]在圖9(b)所示的例中，通過上述(I)?(4)的處理，將像素P2設(shè)定為峰頂點像素，分別設(shè)定像素匕以及像素P6作為與其對應(yīng)的峰左端像素以及峰右端像素。此外，將像素P 7設(shè)定為又一個峰頂點像素，分別設(shè)定像素P8以及像素？9作為與其對應(yīng)的峰左端像素以及