專利名稱：帶流量調(diào)節(jié)閥的流量檢測器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在半導(dǎo)體制造裝置等潔凈環(huán)境中使用的帶流量調(diào)節(jié)閥的流量檢測器。
通常，檢測流路中流體流量的流量傳感器，組裝在各種流體機(jī)器內(nèi)或者作為獨(dú)立的裝置使用。后者作為獨(dú)立裝置的流量傳感器具有通用性，該流量傳感器，通常要在輸入側(cè)和輸出側(cè)連接配管，并且將流量調(diào)節(jié)閥串聯(lián)連接來進(jìn)行使用，在嚴(yán)格地不允許異物混入的半導(dǎo)體制造設(shè)備等中，在這些配管的連接和更換等時，必須采用不產(chǎn)生微細(xì)異物的連接措施，例如，在管端上螺紋連接設(shè)置螺栓時，在螺栓的裝卸過程中，螺紋部很可能會產(chǎn)生微粉，因此不能采用。
另外，上述流量傳感器中，為了提高流量檢測精度，要求配設(shè)著流量傳感器檢測部的流體流路不復(fù)雜化，包括該檢測部的前后要求平滑化，使上述檢測部附近的流體的流動更順暢，另外，對于安裝該流量傳感器的其它機(jī)器，也要求流路順暢，安裝容易。
本發(fā)明是鑒于上述問題而作出的，其目的在于提供一種帶流量調(diào)節(jié)閥的流量檢測器。本發(fā)明的流量檢測器，作為具有通用性的流量傳感器，通過預(yù)先組裝著流量調(diào)節(jié)閥，可在一體化的裝置中進(jìn)行流量計測和流量調(diào)節(jié)，并且可節(jié)省空間地、容易地安裝在各種機(jī)器上。
本發(fā)明的另一目的，是提供這樣的帶流量調(diào)節(jié)閥的流量檢測器，即，把內(nèi)裝有流量檢測器和流量調(diào)節(jié)閥的部件預(yù)先形成為一體，使流體流路結(jié)構(gòu)平滑化，由此，流體的流動順暢，流量檢測精度得到提高。
本發(fā)明的另一目的，是提供這樣的帶流量調(diào)節(jié)閥的流量檢測器，即，在組裝流量檢測器時或更換部件時，隨著螺絲的裝卸產(chǎn)生的微粉不會殘留在流路內(nèi)。
為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的帶流量調(diào)節(jié)閥的流量檢測器，其特征在于，備有流量檢測器本體、輸入部件及輸出部件、流量調(diào)節(jié)閥；流量檢測器本體具有貫通內(nèi)部的流體流路，在該流體流路上配設(shè)著流量傳感器的檢測部；輸入部件及輸出部件具有與上述流量檢測器本體內(nèi)的流體流路連通的輸入輸出流路，安裝在流量檢測器本體的流體流路的輸入側(cè)和輸出側(cè)；流量調(diào)節(jié)閥設(shè)置在上述輸入部件和輸出部件中的任一方上或雙方上，用于調(diào)節(jié)流動在它們的流路中的流體的流量。
上述帶流量調(diào)節(jié)閥的流量檢測器中，通過密封部件接合設(shè)置在流量檢測器本體和輸入輸出部件上的流路，在離開上述流路的位置，用連接裝置將流量檢測器本體和輸入輸出部件固定連接。另外，貫通流量檢測器本體內(nèi)的流體流路、以及與該流量檢測器本體接合部的輸入部件和輸出部件的輸入輸出流路，其斷面形狀基本相同并呈直線，使上述輸入部件和輸出部件的輸入輸出流路開口，將輸入、輸出部件安裝到其它機(jī)器上的安裝面，是與流量檢測器本體內(nèi)流體流路的軸線平行的面。
具有上述構(gòu)造的本發(fā)明帶流量調(diào)節(jié)閥的流量檢測器，將輸入部件的輸入流路與流體供給源連接，將輸出部件的輸出流路與該接受該流體的部分連通，用流量傳感器的檢測部檢測從輸入流路進(jìn)來的流體流量，用設(shè)在輸入部件或輸出部件上的流量調(diào)節(jié)閥調(diào)節(jié)流量后，從輸出流路輸出。
在該帶流量調(diào)節(jié)閥的流量檢測器中，在流量檢測器的輸入側(cè)及輸出側(cè)，一體化地安裝輸入部件和輸出部件，由于在該輸入部件及輸出部件的一方或雙方設(shè)置流量調(diào)節(jié)閥，所以，可在一體化的小型裝置中進(jìn)行流量計測和流量調(diào)節(jié)，而且，使上述輸入部件和輸出部件的流路向外側(cè)開口的、往其它機(jī)器上安裝的安裝面，是與流量檢測器本體的直線流體流路軸線平行的面，所以，通過在各種機(jī)器的安裝面上設(shè)置與輸入部件及輸出部件的輸入輸出流路對應(yīng)的開口，可以節(jié)省空間且容易地安裝使用，因此，作為具有通用性的流量檢測器是很有效的。
另外，將流量檢測器本體與輸入輸出部件預(yù)先結(jié)合成一體，通過密封部件將設(shè)在它們上的流路接合，而且，貫通流量檢測器本體內(nèi)的流體流路、以及與該流量檢測器本體接合的接合部的輸入部件及輸出部件的輸入輸出流路，其斷面形狀基本相同，流路且呈直線，所以，流體的流路構(gòu)造平滑，流體的流動順暢，可提高流量的檢測精度。另外，通過密封部件將設(shè)在流量檢測器本體和輸入輸出部件上的流路接合，在離開該流路的位置，用連接裝置將流量檢測器本體和輸入、輸出部件固定地連接，所以，在組裝流量檢測器時或更換零件時，不會產(chǎn)生隨著螺絲的裝卸產(chǎn)生的微粉殘留在流路內(nèi)的問題。
圖1是本發(fā)明帶流量調(diào)節(jié)閥的流量檢測器實施例的斷面圖。
圖2是圖1所示流量檢測器的分解立體圖。
下面，參照


本發(fā)明的實施例。
圖1和圖2表示本發(fā)明帶流量調(diào)節(jié)閥的流量檢測器的實施例。
該帶流量調(diào)節(jié)閥的流量檢測器，基本上由流量檢測器本體1、輸入部件3和輸出部件5構(gòu)成。流量檢測器本體1具有貫通內(nèi)部的流體流路2。輸入部件3安裝在該流量檢測器本體1的流體流路2的輸入側(cè)，內(nèi)部具有輸入流路4。輸出部件5安裝在上述流體流路2的輸出側(cè)，內(nèi)部具有輸出流路6。
上述流量檢測器本體1，備有流量傳感器10，其檢測部11配設(shè)在內(nèi)部流體流路2中。該檢測部11通過印刷電路基板12與電氣接頭13配線連接，該電氣接頭13用于與流量計測裝置連接。這里，上述流量傳感器10，是在檢測部11檢測流體流路2中流動的流體的熱而求出流量的型式，但也可以采用渦式等的流量傳感器。
安裝在上述流量檢測器本體1上的輸入部件3和輸出部件5中的上述輸入輸出流路4、6，分別與流量檢測器本體1中的流體流路2的輸入側(cè)及輸出側(cè)連通。在把上述輸入部件3和輸出部件5連接到流量檢測器本體1上的連接部，在流量檢測器本體1的流體流路2的輸入側(cè)端部，分別用壓緊環(huán)15a、15b固定安裝著過濾器14a、14b，并且，在其周圍配設(shè)著密封部件16a。在流體流路2的輸出側(cè)端部，也用壓緊環(huán)15c固定安裝著過濾器14c，并在其周圍配設(shè)著密封部件16c。
這樣，流量檢測器本體1的流體流路2與輸入部件3及輸出部件5的輸入輸出流路4、6，通過該密封部件16a、16c接合，在從這些流路2、4、6離開的輸入輸出部件3、5的周邊位置，流量檢測器本體1與輸入部件3及輸出部件5通過螺絲20連接。作為上述流量檢測器本體1與輸入部件3及輸出部件5連接的連接方式，不限于上述的螺絲20，也可以在離開流路2、4、6的位置，采用將它們固定連接的任意方式。
上述輸出部件5上設(shè)有流量調(diào)節(jié)閥21，用于調(diào)節(jié)流經(jīng)其輸出流路6的流體流量。圖1中，該流量調(diào)節(jié)閥21是節(jié)流閥，備有針22，該針22的前端與輸出流路6的閥座23相對，通過密封部件24螺插在輸出部件5上，由鎖定螺母25固定該針22。但流量調(diào)節(jié)閥21也可以采用其它構(gòu)造。另外，圖1中是表示把該流量調(diào)節(jié)閥21設(shè)置在輸出部件5上的情形，但也可以將其設(shè)置在輸入部件3上，或者設(shè)置在輸入部件3及輸出部件5二者上。
為了使流體在上述流量檢測本體1中的流體流路2內(nèi)流動順暢，提高流量檢測精度，上述流量檢測器本體1中的流體流路2，其斷面形狀基本上相同并呈直線狀，另外，與流量檢測器本體1接合的接合部的輸入部件3及輸出部件5的流路4、6，其斷面形狀與流體流路2基本上相同，并呈直線狀。流量檢測器以安裝面27、28安裝在其它機(jī)器上，但是該安裝面27、28是與流量檢測器本體1的流體流路2的軸線平行的面。為了容易處置，輸入輸出流路4、6在輸入輸出部件3、5內(nèi)必須彎成直角。為此，在未安裝流量調(diào)節(jié)閥21的輸入部件3中，使輸入流路4圓滑地彎曲，使其端部在安裝面27開口。在安裝著流量調(diào)節(jié)閥21的輸出部件5中，不使流路6復(fù)雜化，使流量調(diào)節(jié)閥21的輸出側(cè)在安裝面28開口。
由上述流量檢測器本體1和輸入輸出部件3、5構(gòu)成的帶流量調(diào)節(jié)閥的流量檢測器，用與流量檢測器本體1的流體流路2軸線平行的安裝面27、28，安裝在其它機(jī)器上，在安裝該流量檢測器的機(jī)器上，設(shè)有與流路4、6對應(yīng)的開口，輸入輸出部件3、5，只要用螺栓將設(shè)在其上的安裝座29、30(圖2)安裝到機(jī)器上，就可同時完成流量檢測器的安裝和配管。
為了連設(shè)若干個帶流量調(diào)節(jié)閥的流量檢測器，圖1中表示把輸入輸出部件的安裝面27、28通過密封部件38安裝在連通器35上的狀態(tài)。該連通器35備有與開設(shè)在安裝面27、28上的輸入輸出流路4、6對應(yīng)的輸入開口36和輸出開口37。該連通器35，借助于其連通輸入開口36的輸入共通路39，使垂直于紙面方向并列設(shè)置的若干個歧管35中的輸入開口36連通，使得與共通流體供給源連通。另外，連通器35的輸出開口37，由各自的帶流量調(diào)節(jié)閥的流量檢測器檢測各自的流量，同時，輸出被調(diào)節(jié)了流量的流體。
圖中，40是使輸出開口37與所需部分連通的管接頭，41是將若干個歧管35相互連接用的結(jié)合螺栓用孔。
具有上述構(gòu)造的帶流量調(diào)節(jié)閥的流量檢測器中，在流量檢測器本體1的輸入側(cè)和輸出側(cè)，安裝著輸入部件3和輸出部件5，將它們一體化，在輸出部件5上設(shè)置了流量調(diào)節(jié)閥21，所以，可在一體小型化的裝置中進(jìn)行流量計測和流量調(diào)節(jié)，而且，在上述輸入部件3和輸出部件5中，由于流路4、6開口的安裝面27、28是與流量檢測器本體1的直線流體流路2軸線平行的面，所以，在各種機(jī)器或歧管的安裝面上，設(shè)置與上述輸入部件3和輸出部件5的流路4、6對應(yīng)的開口，就可以節(jié)省空間并且容易安裝，進(jìn)行流量計測和流量調(diào)節(jié)。
另外，將流量檢測器本體1和輸入輸出部件3、5預(yù)先一體化，通過密封部件16a、16c接合設(shè)在其上的流路2、4、6，而且，貫通流量檢測器本體1內(nèi)的流體流路2、以及與該流量檢測器本體1接合的接合部的輸入部件3和輸出部件5的流路4、6，其斷面形狀基本一致并呈直線，所以，與分別地配管連接流量傳感器和流量調(diào)節(jié)閥的情形相比，可以使流體的流路構(gòu)造更圓滑，這樣，可使流體的流動更順暢，可提高流量的檢測精度。另外，通過密封部件16a、16c將設(shè)在輸入輸出部件3、5上的流路4、6接合，在離開該流路2、4、6的位置，用連接裝置將流量檢測器本體1和輸入輸出部件3、5固定連接，所以，在組裝流量檢測器時或更換部件時，不會有隨著螺栓的裝卸產(chǎn)生的微粉不會殘留在流路內(nèi)的問題。
根據(jù)上述本發(fā)明的帶流量調(diào)節(jié)閥的流量檢測器，作為在半導(dǎo)體制造裝置等潔凈環(huán)境中使用的、具有通用性的流量檢測器，通過預(yù)先組裝流量調(diào)節(jié)閥，可在一體化的裝置中進(jìn)行流量計測和流量調(diào)節(jié)，節(jié)省空間且檢測精度高，可容易地安裝在各種機(jī)器上使用。
權(quán)利要求
1．帶流量調(diào)節(jié)閥的流量檢測器，其特征在于，備有流量檢測器本體、輸入部件及輸出部件、流量調(diào)節(jié)閥；流量檢測器本體具有貫通內(nèi)部的流體流路，在該流體流路上配設(shè)著流量傳感器；輸入部件及輸出部件具有與上述流量檢測器本體內(nèi)的流體流路連通的輸入輸出流路，安裝在流量檢測器本體的流體流路的輸入側(cè)和輸出側(cè)；流量調(diào)節(jié)閥設(shè)置在上述輸入部件和輸出部件中的任一方上或雙方上，用于調(diào)節(jié)流動在它們流路中的流體的流量。
2．如權(quán)利要求1所述的帶流量調(diào)節(jié)閥的流量檢測器，其特征在于，通過密封構(gòu)件接合設(shè)置在流量檢測器本體和輸入、輸出部件上的流路，在離開上述流路的位置，用連接裝置將流量檢測器本體和輸入輸出部件固定連接。
3．如權(quán)利要求1或2所述的帶流量調(diào)節(jié)閥的流量檢測器，其特征在于，貫通流量檢測器本體內(nèi)的流體流路、以及與該流量檢測器本體接合的接合部中的輸入部件和輸出部件的輸入輸出流路，其斷面形狀基本相同并且其流路呈直線，上述輸入部件和輸出部件的輸入輸出流路在其上開口的、將流量檢測器安裝到其它機(jī)器上的安裝面，是與流量檢測器本體內(nèi)的流體流路軸線平行的面。
全文摘要
本發(fā)明提供了帶流量調(diào)節(jié)閥的流量檢測器,適用于半導(dǎo)體制造裝置等潔凈環(huán)境,可在一體化的裝置中,進(jìn)行有效的流量計測和流量調(diào)節(jié)。它備有流量檢測器本體1、輸入部件3和輸出部件5。流量檢測器本體1具有貫通內(nèi)部的流體流路2,在該流體流路上配設(shè)著流量傳感器10的檢測部11;輸入部件3和輸出部件5具有與上述流量檢測器本體1內(nèi)的流體流路2連通的輸入輸出流路4、6。在輸出部件5中設(shè)有流量調(diào)節(jié)閥21。通過密封部件將流路2、4、6接合,在離開上述流路的位置,用螺栓20將流量檢測器本體1、輸入部件3和輸出部件5固定連接。
文檔編號G01F15/18GK1225446SQ9812309
公開日1999年8月11日 申請日期1998年12月11日 優(yōu)先權(quán)日1997年12月11日
發(fā)明者宮添真司 申請人:速睦喜股份有限公司