技術編號：6136589
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及在半導體制造裝置等潔凈環(huán)境中使用的帶流量調(diào)節(jié)閥的流量檢測器。通常，檢測流路中流體流量的流量傳感器，組裝在各種流體機器內(nèi)或者作為獨立的裝置使用。后者作為獨立裝置的流量傳感器具有通用性，該流量傳感器，通常要在輸入側(cè)和輸出側(cè)連接配管，并且將流量調(diào)節(jié)閥串聯(lián)連接來進行使用，在嚴格地不允許異物混入的半導體制造設備等中，在這些配管的連接和更換等時，必須采用不產(chǎn)生微細異物的連接措施，例如，在管端上螺紋連接設置螺栓時，在螺栓的裝卸過程中，螺紋部很可能會產(chǎn)生微粉，因...
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