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適用于對于待測的物體上的薄層的厚度進(jìn)行測量的測量裝置的標(biāo)定機(jī)構(gòu)的制作方法

文檔序號:83446閱讀:353來源:國知局
專利名稱:適用于對于待測的物體上的薄層的厚度進(jìn)行測量的測量裝置的標(biāo)定機(jī)構(gòu)的制作方法
本發(fā)明涉及一種適用于對于待測的物體上的薄層的厚度進(jìn)行測量的的測量裝置的標(biāo)定機(jī)構(gòu),它包括具有平坦上側(cè)面和平坦下側(cè)面的標(biāo)定表面,上、下側(cè)面以預(yù)定的距離彼此分開。
用于測量層厚度的普通手動測量裝置可以由Helmut Fischer GmbH有限責(zé)任公司和KG電子與測量技術(shù)研究所(Institut für Elektronik und Messtechnik)公司的手冊獲知。這種非破壞性、快速和精確的層厚度測量被用于層的測量應(yīng)用中。層厚度測量包括例如從幾μm一直到2000μm的范圍。
為了測量層的厚度,測量方法的選擇分別依賴于待測物體或者基礎(chǔ)材料。磁感應(yīng)方法用于測量鐵磁基礎(chǔ)材料上的非磁性層,例如諸如鐵或者鋼上的鋅、鉻、銅、錫或顏料、油漆、塑料、搪瓷。非鐵金屬上的非導(dǎo)電層可以通過渦流法確定,例如諸如鋁、黃銅或者鋅上的顏料、油漆、塑料,以及鋁陽極電鍍層。
為了實(shí)施測量,規(guī)定將通過信號線或者無線電與測量裝置相連接的測量探頭放置在待測的測量物體層上。經(jīng)過短暫的測量時間,例如小于一秒鐘,測量值將被記錄,并且由測量裝置通過顯示器顯示。
為了對于層的厚度進(jìn)行準(zhǔn)確測量,需要測量裝置在相應(yīng)的測量物體上進(jìn)行至少標(biāo)準(zhǔn)化或者標(biāo)定。當(dāng)測量物體的性質(zhì)發(fā)生輕微變化時,需要盡快進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)化。由于所述標(biāo)準(zhǔn)化,探頭特性曲線可以出現(xiàn)零點(diǎn)漂移以標(biāo)定相應(yīng)探頭,并被存儲在測量裝置中。通過標(biāo)定,確定并且修正標(biāo)定數(shù)值和實(shí)際數(shù)值之間的差異,實(shí)際數(shù)值為測量裝置上指示的數(shù)值,而標(biāo)定數(shù)值為相應(yīng)于標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)值?;A(chǔ)材料間磁導(dǎo)率或者電導(dǎo)率的差異可以通過標(biāo)定分別予以考慮。在這里,將以薄膜或者薄片形式使用標(biāo)定機(jī)構(gòu)來調(diào)節(jié)測量裝置,以便分別適應(yīng)測量任務(wù)或者測量物體。
如果測量物體的幾何形狀和正常情況差異很大,那么就可以進(jìn)一步實(shí)行主標(biāo)定。這里也可以使用標(biāo)定機(jī)構(gòu);例如,使用四個不同厚度的標(biāo)定薄片并考慮四個不同的標(biāo)定數(shù)值來實(shí)行所謂的主標(biāo)定。
為了實(shí)施標(biāo)定,這些標(biāo)定薄片被放置在測量物體的平坦表面上。如果由于粗心的操作,可能在標(biāo)定薄片和測量物體表面之間形成空氣間隙,這將導(dǎo)致標(biāo)定不精確。由于標(biāo)定薄片的尺寸及平面式設(shè)計(jì),曲面的標(biāo)定是費(fèi)時的,并且需要一定的經(jīng)驗(yàn)。
因此本發(fā)明的目的是完成一種標(biāo)定機(jī)構(gòu),該標(biāo)定機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)對測量裝置的標(biāo)定,以用于以簡單和安全的方式來測量具有平面和曲面的測量物體的層厚度。
根據(jù)本發(fā)明,這個目的通過權(quán)利要求
1的特征來解決。本發(fā)明的其它有益實(shí)施方式和改進(jìn)方案在其它的權(quán)利要求
中進(jìn)行說明。
根據(jù)本發(fā)明的標(biāo)定機(jī)構(gòu)的實(shí)施方式能夠?qū)崿F(xiàn)的是標(biāo)定表面相對于邊緣區(qū)域近似自由運(yùn)動地進(jìn)行布置,并且固定在至少一個過渡區(qū)域上。這將防止氣墊的形成。另外空氣能夠在邊緣區(qū)域和標(biāo)定表面之間漏出。同時,還能夠使標(biāo)定表面至少部分地在過渡區(qū)域上從邊緣區(qū)域的平面旋轉(zhuǎn)舉起;這尤其是對于曲面物體來說,可以在將測量探頭放置在標(biāo)定表面上之后,只是使標(biāo)定表面在用于測量物體的測量探頭的放置點(diǎn)處貼靠在物體上。利用根據(jù)本發(fā)明的這種標(biāo)定機(jī)構(gòu),就可以避免在對于具有被檢測的平面表面的物體進(jìn)行標(biāo)定時形成空氣間隙;以及在測量物體具有曲面的情況下,可以實(shí)現(xiàn)按照規(guī)定的放置。
根據(jù)本發(fā)明的一種優(yōu)選實(shí)施方式,所述標(biāo)定表面至少部分地由邊緣區(qū)域圍繞。這樣,標(biāo)定表面可以排列成受保護(hù)的方式,并且便于操縱時不觸及標(biāo)定表面。
根據(jù)一種優(yōu)選的實(shí)施方式,標(biāo)定機(jī)構(gòu)的標(biāo)定表面的尺寸等于或者至少略大于測量探頭的球形接觸帽的尺寸。從而將標(biāo)定表面設(shè)計(jì)的很小,在放置到平面上時,將輕松實(shí)現(xiàn)其下面空氣的排出,并且保證快速的接觸。對于曲面的標(biāo)定,在放置了測量探頭之后,如果需要就可以將標(biāo)定表面從非負(fù)荷位置輕微偏轉(zhuǎn)。
有利的是,將標(biāo)定表面設(shè)計(jì)為等于或者至少略大于探頭頂端或者探頭頂端的外殼。這樣可以容易地并受控制地放置。同時,向使用者標(biāo)明放置測量探頭的位置以實(shí)施所述標(biāo)定。
根據(jù)本發(fā)明的另一種優(yōu)選實(shí)施方式,標(biāo)定表面設(shè)計(jì)為環(huán)形。這將便于大多包括圓形外殼的測量探頭的定位。圍繞活動舌狀物的中心的同心圓便于使測量探頭按規(guī)定地進(jìn)行放置。
根據(jù)本發(fā)明的一種優(yōu)選實(shí)施方式,標(biāo)定表面、所述至少一個邊緣區(qū)域、以及所述至少一個過渡區(qū)域由平面材料制成,標(biāo)定表面和邊緣區(qū)域至少局部地被狹縫狀裂口分開。這使得標(biāo)定機(jī)構(gòu)制造簡單、廉價以及精確。由于使用了平面材料,就可以生產(chǎn)單片標(biāo)定機(jī)構(gòu),其中標(biāo)定表面通過過渡區(qū)域連接到至少局部地環(huán)繞著標(biāo)定表面的邊緣區(qū)域上。這也提供了簡單的操作。
包括至少一個邊緣區(qū)域和至少一個過渡區(qū)域的標(biāo)定表面優(yōu)選地是具有恒定厚度的平面材料。其優(yōu)點(diǎn)是,標(biāo)定機(jī)構(gòu)在測量物體上的布置不依賴于其對準(zhǔn)。此外,由于使用了固定厚度的平面材料,所述簡化了制造,而且在規(guī)定的表面上具有特定的一致厚度。
根據(jù)本發(fā)明的一種優(yōu)選實(shí)施方式,在標(biāo)定表面的至少一個縱軸線或者橫軸線上在標(biāo)定表面以外設(shè)有至少一個狹縫狀開口。在將標(biāo)定機(jī)構(gòu)放置在曲面上時這個開口用作檢視窗。從而可以實(shí)現(xiàn)以及便于精確的對準(zhǔn)。另外,這個開口可以在標(biāo)定機(jī)構(gòu)放置在平坦表面上時用于排出封入的空氣。
根據(jù)本發(fā)明的第一備選實(shí)施方式,至少一個過渡區(qū)域?yàn)榧範(fàn)钤O(shè)計(jì)。從而標(biāo)定表面表現(xiàn)為搖擺板形式。這樣可能導(dǎo)致的情況是,標(biāo)定表面從平面位置不僅在Z軸方向上、而且通過圍繞著脊?fàn)钸^渡區(qū)域的縱軸線的轉(zhuǎn)動可以偏轉(zhuǎn)。從而標(biāo)定表面將提供從標(biāo)定機(jī)構(gòu)平面出來的巨大的活動自由度。
脊?fàn)钸^渡區(qū)域優(yōu)選地包括狹縫狀開口。除檢視窗的有利設(shè)計(jì)之外,也可以具有如下效果減小這種脊?fàn)钸^渡區(qū)域的寬度,并且在開口和脊?fàn)顓^(qū)域狹縫狀裂口之間形成臂,這將便于偏轉(zhuǎn)和/或扭曲以及彈性地拿起標(biāo)定表面。
根據(jù)本發(fā)明的另一種優(yōu)選實(shí)施方式,所述至少一個過渡區(qū)域?yàn)榄h(huán)狀設(shè)計(jì)。狹縫狀裂口在標(biāo)定表面附近延伸;例如,沿著四分之三圓周并且以圓形、環(huán)形或者以螺旋形向外延續(xù)。從而這將導(dǎo)致圓形的、環(huán)狀的或者其它近似相關(guān)的過渡區(qū)域。標(biāo)定表面可以從標(biāo)定機(jī)構(gòu)的平面在多個方向上彈性地拿起、偏轉(zhuǎn)和旋轉(zhuǎn)。
有利的是,狹縫狀開口作為狹縫狀裂口的一部分。這種實(shí)施方式的優(yōu)點(diǎn)特別在于環(huán)狀過渡區(qū)域,所以過渡區(qū)域的限制或者過渡區(qū)域的引入將同時形成檢視窗的一個部分。
此外有利的是,在至少部分地圍繞標(biāo)定表面的邊緣區(qū)域提供至少一個開口,以便在將標(biāo)定機(jī)構(gòu)放置到平面物體上時便于空氣的排出。
根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選設(shè)計(jì),通過激光切割、水射流切割、蝕刻、或者其它化學(xué)或機(jī)械切除方法來制造狹縫狀裂口,以便至少局部地形成標(biāo)定表面和邊緣區(qū)域。激光切割、水射流切割和蝕刻特別適合于形成準(zhǔn)確的和優(yōu)選無毛刺的邊緣。而且,也可以實(shí)現(xiàn)很小的裂口尺寸。
標(biāo)定表面和至少局部地圍繞著標(biāo)定表面的邊緣區(qū)域優(yōu)選地用多個板來生產(chǎn)。例如,通過激光切割或水射流切割來對片狀材料進(jìn)行機(jī)械加工,所以將同時使用多個標(biāo)定機(jī)構(gòu)或者相應(yīng)地使用多個板。優(yōu)選地通過彼此間預(yù)定數(shù)量的連接脊來對這些板進(jìn)行定位,并且通過簡單地斷開連接脊而可以分離。
有利的是,至少所述標(biāo)定表面由類似薄膜的材料、尤其是聚脂薄膜來進(jìn)行生產(chǎn)。薄膜的厚度設(shè)計(jì)為分級的,具有分級式的增長,優(yōu)選地提供為20或24μm的厚度。例如,標(biāo)定機(jī)構(gòu)的厚度的進(jìn)一步分級可以是40、250、500、750和1500μm等。聚酯薄膜是非導(dǎo)電性的。
為了實(shí)施磁感應(yīng)測量方法,有利的是,至少所述標(biāo)定表面由非磁性金屬制造。優(yōu)選地提供非磁性金屬薄片、條帶或片狀板。優(yōu)選地使用材料銅/鈹、或銅鎳鋅合金(German silver)。具有高硬度和低的或無導(dǎo)電性的其它材料也可以用于磁感應(yīng)測量方法。
根據(jù)本發(fā)明的另一種優(yōu)選實(shí)施方式,所述至少一個標(biāo)定表面由非導(dǎo)電性材料制造,尤其是絕緣材料、聚酯薄膜、塑料,并且可以用于依照渦流法的層厚度測量。
另外,例如可以使用可磁化薄片材料來測量奧氏體鋼(austenitic steel)的鐵氧體濃度。為了這個目的,將薄片放置在非導(dǎo)電、非磁性的基礎(chǔ)材料上。從而至少在靠近表面處可以確定鐵氧體濃度??梢源_定并發(fā)布鐵氧體濃度的百分比份額。例如,對于奧氏體鋼的焊接縫中鐵氧體含量所進(jìn)行的確定是用于評判焊接縫質(zhì)量的參量。同樣,奧氏體鋼中鐵氧體含量的確定也可以用于質(zhì)量控制。
下面將以附圖中所示的實(shí)施例為基礎(chǔ),對本發(fā)明以及附加的優(yōu)選實(shí)施方式和改進(jìn)方案進(jìn)行詳細(xì)解釋和描述。根據(jù)本發(fā)明,說明書中和附圖中的特征可以單獨(dú)或者以任何組合方式使用。在附圖中圖1顯示了根據(jù)本發(fā)明的標(biāo)定機(jī)構(gòu)的概略性俯視圖;圖2位于具有曲面的物體上的標(biāo)定機(jī)構(gòu)的概略性俯視圖;圖3位于具有曲面的物體上的標(biāo)定機(jī)構(gòu)在測量過程中的概略性剖視圖;圖4根據(jù)本發(fā)明的標(biāo)定機(jī)構(gòu)的備選實(shí)施方式的概略性俯視圖;以及圖5根據(jù)本發(fā)明的標(biāo)定機(jī)構(gòu)的依照圖1的多個板的概略性俯視圖。
圖1顯示了根據(jù)本發(fā)明的標(biāo)定機(jī)構(gòu)11的俯視圖。這個標(biāo)定機(jī)構(gòu)11為平面形式,其厚度相當(dāng)于待測的層厚度,沒有詳細(xì)顯示的、具有測量探頭的測量裝置將被標(biāo)定到該厚度。首先,將對于無涂覆的基礎(chǔ)材料進(jìn)行測量,以執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)化。隨后,將標(biāo)定機(jī)構(gòu)11放置到未涂覆的測量物體上以執(zhí)行標(biāo)定。這里,優(yōu)選地利用在待測物體上的新位置執(zhí)行多次測量,以獲得分析和平均數(shù)值。執(zhí)行所述標(biāo)定后,偏離了在理論上所存儲的探頭特性曲線的已作修正的探頭特性曲線將保存在測量裝置中,所述修正的特性曲線對于待測的特定物體嚴(yán)格有效。當(dāng)以時間間隔對測量裝置的標(biāo)定進(jìn)行檢查時,將應(yīng)用相同的要素。
標(biāo)定機(jī)構(gòu)11設(shè)計(jì)為平面形式,并包括一種轉(zhuǎn)變?yōu)檫^渡區(qū)域14的標(biāo)定表面12。標(biāo)定表面12和過渡區(qū)域14由狹縫狀裂口16圍繞,以此使標(biāo)定表面12和過渡區(qū)域14與邊緣區(qū)域18相分離。這樣標(biāo)定表面12通過過渡區(qū)域14連接到邊緣區(qū)域18。標(biāo)定表面12的幾何圖形設(shè)計(jì)為例如圓形表面,或多或少為扇形形式。也可以提供其它的幾何圖形,例如諸如橢圓形、角形、或者角形和圓形圖形的結(jié)合。
根據(jù)示例性實(shí)施方式,過渡區(qū)域14設(shè)計(jì)為脊?fàn)?,并且設(shè)計(jì)為比測量表面14長。由此將產(chǎn)生類似舌形布置的類型,由于相對長并且細(xì)的過渡區(qū)域14而具有優(yōu)勢標(biāo)定表面12容易從所述平面出來地朝向頂部和底部進(jìn)行布置,以及圍繞縱軸線19旋轉(zhuǎn)進(jìn)行布置。
在脊?fàn)钸^渡區(qū)域14中,此外提供了開口21,優(yōu)選地位于縱軸線19上。這個開口21使標(biāo)定表面12靈活并且容易偏轉(zhuǎn)。同時,這個開口21用于使標(biāo)定機(jī)構(gòu)11在例如諸如螺栓、導(dǎo)管、或類似的曲面或者圓形物體20上有目標(biāo)地并安全地進(jìn)行定位。這在圖2中通過例子來顯示??v軸線19相當(dāng)于曲面物體20的縱軸線。從而可以實(shí)現(xiàn)簡單的幾何對準(zhǔn)。
在示例性的實(shí)施方式中,邊緣區(qū)域18完全圍繞標(biāo)定表面12和過渡區(qū)域14。可替換的是,也可以將邊緣區(qū)域18專門設(shè)計(jì)為底座,從邊緣22向上延伸到過渡區(qū)域14。這樣提供了被最小化的一種手持區(qū)域23。
圖1所示的邊緣區(qū)域18靠近側(cè)面邊緣設(shè)有標(biāo)記26,其至少包括標(biāo)定機(jī)構(gòu)11的厚度。
邊緣區(qū)域18和測量表面16之間的過渡區(qū)域14以固定的交叉部分轉(zhuǎn)變?yōu)闃?biāo)定表面12??商鎿Q的是,過渡區(qū)域14到標(biāo)定表面12的過渡在交叉部分中減小,或者包括頸狀的過渡類型。可替換的是,整個區(qū)域18也可以在薄片或者薄膜的情況下進(jìn)行加固、或者進(jìn)行對折,以便容易手持。
圖3顯示了位于圓形物體20上的標(biāo)定機(jī)構(gòu)11在測量過程中的概略性橫截面。測量探頭32的球形接觸帽31放置在標(biāo)定表面12的對稱軸線之外。由于過渡區(qū)域14的設(shè)計(jì),致使可能會出現(xiàn)這種情況標(biāo)定表面12可以移出標(biāo)定機(jī)構(gòu)11的平面或者相應(yīng)地可靈活轉(zhuǎn)動,從而可以執(zhí)行準(zhǔn)確的標(biāo)定。對于標(biāo)定來說,不需要將具有球形接觸表面的球形接觸帽31中心地放置在物體33的縱向中心平面33上。如圖3所示,在橫向偏移的情況下也可以進(jìn)行標(biāo)定。這使得這樣一種標(biāo)定稱為可能——僅僅需要安置測量探頭32使其球形接觸帽31位于標(biāo)定表面12上,而不需要將測量探頭安置在標(biāo)定表面12的準(zhǔn)確點(diǎn)上。從而可以提供快速標(biāo)定。
圖4顯示了根據(jù)本發(fā)明的標(biāo)定機(jī)構(gòu)11的備選實(shí)施方式。在這種實(shí)施方式中,狹縫狀裂口16以螺旋狀或螺線狀從內(nèi)向外延伸。狹縫狀裂口16也可以包括多個繞圈。這種示例性的實(shí)施方式相應(yīng)地包括圓形扇段的過渡區(qū)域14。狹縫狀裂口16包括兩個開口21。第一開口21形成裂口16的延伸部分,而另外提供的另一個開口21與標(biāo)定表面12和過渡區(qū)域14分離。這樣的分離布置也可以設(shè)置在圖1中。
圖5顯示了多個板的俯視圖。標(biāo)定機(jī)構(gòu)11可以由例如類似條帶材料制造,其中通過激光切割、水流切割、蝕刻或者類似方法提供至少一個狹縫狀裂口16和至少一個開口21。由于連續(xù)的生產(chǎn)并由于使用了條帶材料,所以同時可以經(jīng)濟(jì)地制造具有固定厚度的多個標(biāo)定機(jī)構(gòu)11。一個單元中標(biāo)定機(jī)構(gòu)11的板的數(shù)量可以任意地確定。通過連接脊27使得標(biāo)定機(jī)構(gòu)11固定在框架或者材料條帶上。這樣就可以避免傳送過程中損壞,并且根據(jù)需要通過將連接脊21斷開而進(jìn)行使用。
根據(jù)本發(fā)明的這些標(biāo)定機(jī)構(gòu)11,其特征對于本發(fā)明來說分別是本質(zhì)性的并且可以彼此隨機(jī)組合,這些標(biāo)定機(jī)構(gòu)可以準(zhǔn)確地放在曲面以及平面上,并且實(shí)現(xiàn)對于測量裝置的標(biāo)定。
權(quán)利要求
1.適用于對于待測的物體上的薄層的厚度進(jìn)行測量的測量裝置的標(biāo)定機(jī)構(gòu),它包括具有平坦上側(cè)面和平坦下側(cè)面的標(biāo)定表面(12),所述上、下側(cè)面間隔著預(yù)定的厚度,其特征在于,標(biāo)定表面(12)與至少一個邊緣區(qū)域(18)分開布置,并且標(biāo)定表面(12)通過至少一個過渡區(qū)域(14)連接到所述至少一個邊緣區(qū)域(18)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的標(biāo)定機(jī)構(gòu),其特征在于,設(shè)置邊緣區(qū)域(18),它至少部分地圍繞標(biāo)定表面(12)。
3.根據(jù)權(quán)利要求
1或2所述的標(biāo)定機(jī)構(gòu),其特征在于,標(biāo)定表面(12)的尺寸等于或者至少略大于測量裝置中測量探頭的球形接觸帽,優(yōu)選地等于或者大于測量探頭的外殼。
4.根據(jù)前面的任意一項(xiàng)權(quán)利要求
所述的標(biāo)定機(jī)構(gòu),其特征在于,標(biāo)定表面(12)是圓形的。
5.根據(jù)前面的任意一項(xiàng)權(quán)利要求
所述的標(biāo)定機(jī)構(gòu),其特征在于,所述標(biāo)定表面(12)、所述至少一個邊緣區(qū)域(18)和所述至少一個過渡區(qū)域(14)由平面材料制成,并且該標(biāo)定表面(12)和該至少一個邊緣區(qū)域(18)由狹縫狀裂口(16)至少部分地分開。
6.根據(jù)前面的任意一項(xiàng)權(quán)利要求
所述的標(biāo)定機(jī)構(gòu),其特征在于,所述標(biāo)定表面(12)、所述至少一個邊緣區(qū)域(18)和所述至少一個過渡區(qū)域(14)的厚度是恒定的。
7.根據(jù)前面的任意一項(xiàng)權(quán)利要求
所述的標(biāo)定機(jī)構(gòu),其特征在于,在該標(biāo)定表面(12)以外、至少在標(biāo)定表面(12)的一個縱軸線(19)或者橫軸線上有至少一個狹縫狀開口(21)。
8.根據(jù)前面的任意一項(xiàng)權(quán)利要求
所述的標(biāo)定機(jī)構(gòu),其特征在于,所述至少一個過渡區(qū)域(14)是脊?fàn)畹摹?br>9.根據(jù)權(quán)利要求
7或8所述的標(biāo)定機(jī)構(gòu),其特征在于,在脊?fàn)顓^(qū)域(14)中有至少一個狹縫狀開口(21)。
10.根據(jù)前面的任意一項(xiàng)權(quán)利要求
所述的標(biāo)定機(jī)構(gòu),其特征在于,該過渡區(qū)域(14)是圓形的、環(huán)形的或者螺旋形的。
11.根據(jù)權(quán)利要求
5到10中任意一項(xiàng)所述的標(biāo)定機(jī)構(gòu),其特征在于,該狹縫狀開口(21)是狹縫狀裂口(16)的一部分。
12.根據(jù)前面的任意一項(xiàng)權(quán)利要求
所述的標(biāo)定機(jī)構(gòu),其特征在于,在邊緣區(qū)域(18)中有至少一個開口(21)。
13.根據(jù)前面的任意一項(xiàng)權(quán)利要求
所述的標(biāo)定機(jī)構(gòu),其特征在于,標(biāo)定表面(12)和邊緣區(qū)域(18)之間的至少部分的狹縫狀裂口(16)可以通過激光切割、水射流切割、蝕刻、通過機(jī)械的或者化學(xué)的移除方法來制造。
14.根據(jù)前面的任意一項(xiàng)權(quán)利要求
所述的標(biāo)定機(jī)構(gòu),其特征在于,可以在平面版中制造多個板,其優(yōu)選地通過連接脊(27)彼此定位,或者彼此進(jìn)行位置固定。
15.根據(jù)前面的任意一項(xiàng)權(quán)利要求
所述的標(biāo)定機(jī)構(gòu),其特征在于,該標(biāo)定表面(12)由類似于薄片的材料或者平面版來制造。
16.根據(jù)前面的任意一項(xiàng)權(quán)利要求
所述的標(biāo)定機(jī)構(gòu),其特征在于,至少一個標(biāo)定表面(12)由非可磁化材料、尤其是聚脂薄膜、塑料或者絕緣材料進(jìn)行制造。
17.根據(jù)權(quán)利要求
1到14中任意一項(xiàng)所述的標(biāo)定機(jī)構(gòu),其特征在于,至少一個標(biāo)定表面(12)由可磁化的材料制造,尤其是用于確定鐵氧體容量。
專利摘要
本發(fā)明涉及一種適用于對于待測的物體上的薄層的厚度進(jìn)行測量的測量裝置的標(biāo)定機(jī)構(gòu),它包括具有平坦上側(cè)面和平坦下側(cè)面的標(biāo)定表面(12),該上、下側(cè)面以預(yù)定的距離彼此分開。標(biāo)定表面(12)與至少一個邊緣區(qū)域(18)分開,并且標(biāo)定表面(12)通過至少一個過渡區(qū)域(14)連接到該至少一個邊緣區(qū)域(18)上。
文檔編號G01B21/08GK1997868SQ200580018528
公開日2007年7月11日 申請日期2005年6月6日
發(fā)明者H·費(fèi)希爾 申請人:赫爾穆特·費(fèi)希爾地產(chǎn)兩合公司導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan
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