本技術(shù)涉及半導體測試，特別涉及一種測試打點裝置。

背景技術(shù)：

1、半導體測試工序，通常在測試后對異常晶粒進行打點標記，打點后再經(jīng)過烘烤工序?qū)⒋螯c墨水進行烘干。目前的測試設備中，只有當一個待測單元完成測試工序、打點工序以及烘干工序后，才會進行下一個待測單元的測試工序、打點工序以及烘干工序，這樣每個待測單元等待測試的時間間隔太久，會造成大量測試時間的浪費，大大降低了測試的效率，延長了測試的周期。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的主要目的是提出一種測試打點裝置，旨在解決現(xiàn)有的測試打點機所面臨的等待測試間隔久，整體測試效率低下的技術(shù)問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提出了一種測試打點裝置，包括：

3、測試組件，所述測試組件具有探測針，所述探測針用于測試待測單元；

4、打點組件，所述打點組件設置于所述測試組件的下游側(cè)，用于在所述待測單元的測試不良點位進行油墨打點標記；

5、多個載片臺，所述載片臺用于裝載所述待測單元，所述載片臺被配置為能夠于所述測試組件和所述打點組件之間運動，并能夠朝靠近或者背離所述探測針的方向運動，以實現(xiàn)所述待測單元測試，以及能夠朝靠近或者背離所述打點組件的方向運動，以實現(xiàn)所述待測單元打點標記；

6、其中，多個所述載片臺依次運動至所述測試組件處以及所述打點組件處，以依次實現(xiàn)所述待測單元的測試以及打點標記。

7、在一些實施例中，還包括上料組件，所述上料組件包括上料位，所述上料位用于儲存未測試的所述待測單元，圍繞所述上料位，設置有多根第一定位桿，所述第一定位桿用于將所述待測單元定位于所述上料位；

8、其中，所述第一定位桿能夠朝靠近或者背離所述上料位的方向運動，用于夾緊或者釋放所述待測單元。

9、在一些實施例中，還包括第一機械手，所述第一機械手具有真空吸附孔，所述真空吸附孔用于吸附所述待測單元，以將所述待測單元由所述上料組件輸送至所述載片臺；

10、其中，所述上料組件能夠朝靠近或者背離所述第一機械手的方向運動，以便于將所述待測單元吸附至所述第一機械手。

11、在一些實施例中，還包括校正組件，所述校正組件設置于所述測試組件的上游側(cè)，所述校正組件包括校正相機，所述校正相機用于檢測所述待測單元的標記位；

12、其中，所述載片臺能夠朝靠近或者背離所述校正相機的方向運動，以實現(xiàn)所述校正相機對所述待測單元的標記位進行檢測，且所述載片臺受驅(qū)于旋轉(zhuǎn)電機，以便于所述校正相機對所述待測單元進行旋轉(zhuǎn)檢測。

13、在一些實施例中，還包括第二機械手，所述第二機械手具有托舉部，所述托舉部用于將所述待測單元托起；

14、其中，所述載片臺設置有多根第一頂針，所述第一頂針能夠由所述載片臺伸出或者縮回，用于將所述待測單元由所述載片臺頂升或者下落，于所述待測單元處于頂升狀態(tài)，所述托舉部能夠?qū)⑺龃郎y單元托起，于所述待測單元處于下落狀態(tài)，所述待測單元能夠定位于所述載片臺。

15、在一些實施例中，還包括烘烤組件，所述烘烤組件設置于所述打點組件的下游側(cè)，所述烘烤組件包括烘烤位，所述烘烤位用于將所述待測單元的油墨打點標記烤干，所述烘烤位設置有多根第二頂針，所述第二頂針能夠由所述烘烤位伸出或者縮回；

16、其中，于所述第二頂針處于伸出狀態(tài)，所述托舉部將托起的所述待測單元放置于所述第二頂針，于所述第二頂針處于縮回狀態(tài)，所述待測單元定位于所述烘烤位。

17、在一些實施例中，還包括下料組件，所述下料組件包括下料位，所述下料位用于儲存已測試的所述待測單元，圍繞所述下料位，設置有多根第二定位桿，所述第二定位桿用于將所述待測單元定位于所述下料位；

18、其中，所述第二定位桿能夠朝靠近或者背離所述下料位的方向運動，用于夾緊或者釋放所述待測單元。

19、在一些實施例中，所述打點組件的個數(shù)至少設置有兩個，兩個所述打點組件分別設置于所述測試組件相對的兩側(cè)，形成第一檢測路徑和第二檢測路徑，所述第一檢測路徑和所述第二檢測路徑均設置有所述載片臺；

20、其中，所述第一檢測路徑中的所述載片臺處于所述測試組件處時，所述第二檢測路徑中的所述載片臺處于所述打點組件處。

21、在一些實施例中，還包括導向滑軌，所述第一機械手和所述第二機械手設置于所述導向滑軌，以使所述第一機械手和所述第二機械手能夠沿所述導向滑軌滑動。

22、在一些實施例中，所述測試組件、所述打點組件和所述載片臺均設置有位置傳感器以及待測單元檢測傳感器。

23、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：

24、在本實用新型的技術(shù)方案中，一臺裝置中設置有多個用于承載待測單元的載片臺，待測單元隨著載片臺能夠運動至測試組件處完成測試，以及能夠運動至打點組件處完成打點標記，多個載片臺能夠使得待測單元的檢測工作有序且連續(xù)不間斷地進行。

25、本實用新型提供的測試打點裝置通過設置有多個載片臺，可以大大縮短每個待測單元等待測試的時間間隔，在上一個待測單元測試完畢后，可以立即對下一個待測單元進行測試，節(jié)省了待測單元等待測試的時間，有效提高了測試的效率，降低了測試的時間成本。

技術(shù)特征：

1.一種測試打點裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試打點裝置，其特征在于，還包括上料組件，所述上料組件包括上料位，所述上料位用于儲存未測試的所述待測單元，圍繞所述上料位，設置有多根第一定位桿，所述第一定位桿用于將所述待測單元定位于所述上料位；

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測試打點裝置，其特征在于，還包括第一機械手，所述第一機械手具有真空吸附孔，所述真空吸附孔用于吸附所述待測單元，以將所述待測單元由所述上料組件輸送至所述載片臺；

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試打點裝置，其特征在于，還包括校正組件，所述校正組件設置于所述測試組件的上游側(cè)，所述校正組件包括校正相機，所述校正相機用于檢測所述待測單元的標記位；

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測試打點裝置，其特征在于，還包括第二機械手，所述第二機械手具有托舉部，所述托舉部用于將所述待測單元托起；

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的測試打點裝置，其特征在于，還包括烘烤組件，所述烘烤組件設置于所述打點組件的下游側(cè)，所述烘烤組件包括烘烤位，所述烘烤位用于將所述待測單元的油墨打點標記烤干，所述烘烤位設置有多根第二頂針，所述第二頂針能夠由所述烘烤位伸出或者縮回；

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試打點裝置，其特征在于，還包括下料組件，所述下料組件包括下料位，所述下料位用于儲存已測試的所述待測單元，圍繞所述下料位，設置有多根第二定位桿，所述第二定位桿用于將所述待測單元定位于所述下料位；

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試打點裝置，其特征在于，所述打點組件的個數(shù)至少設置有兩個，兩個所述打點組件分別設置于所述測試組件相對的兩側(cè)，形成第一檢測路徑和第二檢測路徑，所述第一檢測路徑和所述第二檢測路徑均設置有所述載片臺；

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的測試打點裝置，其特征在于，還包括導向滑軌，所述第一機械手和所述第二機械手設置于所述導向滑軌，以使所述第一機械手和所述第二機械手能夠沿所述導向滑軌滑動。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至9任一項所述的測試打點裝置，其特征在于，所述測試組件、所述打點組件和所述載片臺均設置有位置傳感器以及待測單元檢測傳感器。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及半導體測試技術(shù)領域，特別涉及一種測試打點裝置，包括測試組件、打點組件以及多個載片臺，所述測試組件具有探測針，所述探測針用于測試待測單元，所述打點組件設置于所述測試組件的下游側(cè)，用于在所述待測單元的測試不良點位進行油墨打點標記，所述載片臺用于裝載所述待測單元，所述載片臺被配置為能夠于所述測試組件和所述打點組件之間運動，并能夠朝靠近或者背離所述探測針的方向運動，以及能夠朝靠近或者背離所述打點組件的方向運動，其中，多個所述載片臺依次運動至所述測試組件處以及所述打點組件處，以依次實現(xiàn)所述待測單元的測試以及打點標記。本測試打點裝置能夠提高待測單元的測試效率。

技術(shù)研發(fā)人員：胡耿濤,李新崇,林生財
受保護的技術(shù)使用者：矽電半導體設備（深圳）股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240228
技術(shù)公布日：2024/12/19