本發(fā)明涉及光源調(diào)節(jié)，特別涉及一種調(diào)節(jié)裝置及光學檢測裝置。

背景技術(shù)：

1、現(xiàn)有的光學檢測裝置通常包括光源、光源調(diào)節(jié)組件、光路設備及探測單元等部件。對于半導體行業(yè)的晶圓來說，為了適應晶圓的高精度制程要求，往往需要首先由光源調(diào)節(jié)組件對光源發(fā)出的檢測光進行方位調(diào)整和光學特性調(diào)整，以改變檢測光到光路設備中的入射角度和傳輸性能，然后由光路設備對檢測光進一步處理，最后再發(fā)送至探測單元以對被檢物進行檢測。

2、然而，現(xiàn)有的光源調(diào)節(jié)組件對檢測光的光學特性調(diào)整方式只能實現(xiàn)個別等級的衰減和濾波，無法執(zhí)行更多的光學調(diào)節(jié)功能，導致光源調(diào)節(jié)組件的應用場景受到限制。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明主要解決的技術(shù)問題是現(xiàn)有光源調(diào)節(jié)裝置的光學調(diào)整方式無法滿足更寬泛的光學調(diào)節(jié)要求的問題。

2、第一方面，本發(fā)明提供了一種調(diào)節(jié)裝置。

3、一種調(diào)節(jié)裝置，包括：

4、基座；

5、以及平移調(diào)節(jié)組件，所述平移調(diào)節(jié)組件包括平移底座和第一光學元件；所述平移底座被配置為以平移方式在所述基座上活動，所述第一光學元件設于所述平移底座上；所述第一光學元件沿所述平移底座的平移方向具有光學特性變化，用于按照平移方式切入所述調(diào)節(jié)裝置的光路，所述平移方向與所述調(diào)節(jié)裝置的光路方向交叉；

6、所述平移調(diào)節(jié)組件設有至少兩組，各組所述平移調(diào)節(jié)組件中的所述第一光學元件沿光路方向并排布置，以在各所述第一光學元件相對平移時組合形成不同的光學特性。

7、在一種技術(shù)方案中，至少兩組所述平移調(diào)節(jié)組件中的所述第一光學元件被配置為線性漸變?yōu)V光片，各所述線性漸變?yōu)V光片的濾波能力范圍不同，且濾波能力范圍存在部分交叉。

8、在一種技術(shù)方案中，至少一組平移調(diào)節(jié)組件中配置的線性漸變?yōu)V光片為短通濾波片，并且，至少一組平移調(diào)節(jié)組件中配置的線性漸變?yōu)V光片為長通濾波片。

9、在一種技術(shù)方案中，所述平移調(diào)節(jié)組件設有兩組，兩組所述平移調(diào)節(jié)組件中的所述平移底座并排布置，兩組所述平移調(diào)節(jié)組件中的兩所述第一光學元件設置在兩所述平移底座相互靠近的一側(cè)。

10、在一種技術(shù)方案中，所述平移底座上設有齒條結(jié)構(gòu)，所述平移調(diào)節(jié)組件還包括齒輪和齒輪驅(qū)動電機，所述齒輪驅(qū)動電機與所述齒輪連接以驅(qū)動所述平移底座平移。

11、在一種技術(shù)方案中，還包括滑軌和滑塊，所述滑軌固定在所述基座上，所述滑塊被配置為沿所述滑軌的延伸方向移動，所述平移底座固定在所述滑塊上。

12、在一種技術(shù)方案中，所述平移調(diào)節(jié)組件還包括元件支板，所述元件支板連接在所述平移底座上且沿所述平移底座的平移方向延伸，所述元件支板的表面設有供光路穿過的窗口，所述窗口用于卡接或膠接所述第一光學元件。

13、在一種技術(shù)方案中，還包括轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件，所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件包括轉(zhuǎn)盤主體和第二光學元件；所述轉(zhuǎn)盤主體轉(zhuǎn)動裝配在所述基座上，所述第二光學元件設于所述轉(zhuǎn)盤主體上并且繞所述轉(zhuǎn)盤主體的轉(zhuǎn)動軸線分布；所述第二光學元件繞所述轉(zhuǎn)盤主體的轉(zhuǎn)動軸線具有光學特性變化，用于按照轉(zhuǎn)動方式切入光路。

14、在一種技術(shù)方案中，所述第二光學元件被配置為多個不同光學特性的衰減片或濾光片，各衰減片或濾光片環(huán)繞所述轉(zhuǎn)盤主體的轉(zhuǎn)動軸線進行均勻分布。

15、在一種技術(shù)方案中，包括兩組配置有所述衰減片的所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件，所述衰減片繞所述轉(zhuǎn)盤主體的轉(zhuǎn)動軸線具有衰減特性變化，兩組配置有所述衰減片的所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件用于組合出不同的光透過率。

16、在一種技術(shù)方案中，所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件設有多組且沿光路方向并排分布，在所述轉(zhuǎn)盤主體的軸向上，各所述平移調(diào)節(jié)組件中的所述第一光學元件位于所有所述轉(zhuǎn)盤主體的同一側(cè)，并與所述轉(zhuǎn)盤主體相鄰。

17、在一種技術(shù)方案中，所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件設有兩組，兩組所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件均包括供所述轉(zhuǎn)盤主體固定安裝的轉(zhuǎn)盤安裝軸，兩所述轉(zhuǎn)盤安裝軸以端面相對的形式布置，兩組所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件中的所述轉(zhuǎn)盤主體分別固定在兩所述轉(zhuǎn)盤安裝軸相互靠近的一端。

18、在一種技術(shù)方案中，所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件包括供所述轉(zhuǎn)盤主體固定安裝的轉(zhuǎn)盤安裝軸，至少兩組所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件的轉(zhuǎn)盤安裝軸并排布置且所述轉(zhuǎn)盤主體分別固定在兩所述轉(zhuǎn)盤安裝軸的軸向同一側(cè)，其中一組所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件中的所述轉(zhuǎn)盤安裝軸從另一組所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件中的轉(zhuǎn)盤主體的徑向外側(cè)經(jīng)過。

19、在一種技術(shù)方案中，所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件包括轉(zhuǎn)盤驅(qū)動電機，所述轉(zhuǎn)盤驅(qū)動電機與所述轉(zhuǎn)盤安裝軸同軸布置并傳動連接，用于驅(qū)動所述轉(zhuǎn)盤主體轉(zhuǎn)動。

20、在一種技術(shù)方案中，所述基座包括第一座體部分和第二座體部分，所述第一座體部分和第二座體部分間隔布置且均用于承載所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件；所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件被配置為一組或多組，每個所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件的轉(zhuǎn)盤主體排列設置在所述第一座體部分和第二座體部分之間的間隔內(nèi)。

21、在一種技術(shù)方案中，所述第一座體部分和/或第二座體部分靠近所述間隔的一側(cè)設有避讓空間，至少一處所述平移底座的至少一部分位于所述避讓空間內(nèi)。

22、第二方面，本發(fā)明提供了一種光學檢測裝置。

23、光學檢測裝置，包括：

24、光源，所述光源用于產(chǎn)生檢測光；

25、調(diào)節(jié)裝置，所述調(diào)節(jié)裝置為上述第一方面中提及的調(diào)節(jié)裝置，至少用于調(diào)整所述檢測光的光學特性以改變檢測光到光路設備中的傳輸性能；

26、光路設備，所述光路設備用于對經(jīng)過了所述調(diào)節(jié)裝置的檢測光進行處理；

27、以及探測單元，所述探測單元用于接收檢測光以對被檢物進行檢測。

28、本發(fā)明的有益效果：

29、據(jù)上述調(diào)節(jié)裝置，由于設置了至少兩組包括了第一光學元件的平移調(diào)節(jié)組件，而平移調(diào)節(jié)組件能夠通過平移底座實現(xiàn)第一光學元件的平移，且第一光學元件沿平移底座的平移方向具有光學特性變化，因此在不同兩平移調(diào)節(jié)組件相對平移時，不同平移調(diào)節(jié)組件中的第一光學元件也能夠相對平移，這樣就能夠組合形成不同的光學特性，從而具有更加豐富的光學調(diào)節(jié)功能，并且采用平移形式的第一光學元件能夠避免占用較多的空間，結(jié)構(gòu)緊湊。

技術(shù)特征：

1.一種調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，包括：

2.如權(quán)利要求1所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，至少兩組所述平移調(diào)節(jié)組件中的所述第一光學元件被配置為線性漸變?yōu)V光片，各所述線性漸變?yōu)V光片的濾波能力范圍不同，且濾波能力范圍存在部分交叉。

3.如權(quán)利要求2所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，至少一組平移調(diào)節(jié)組件中配置的線性漸變?yōu)V光片為短通濾波片，并且，至少一組平移調(diào)節(jié)組件中配置的線性漸變?yōu)V光片為長通濾波片。

4.如權(quán)利要求1或2或3所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述平移調(diào)節(jié)組件設有兩組，兩組所述平移調(diào)節(jié)組件中的所述平移底座并排布置，兩組所述平移調(diào)節(jié)組件中的兩所述第一光學元件設置在兩所述平移底座相互靠近的一側(cè)。

5.如權(quán)利要求1或2或3所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述平移底座上設有齒條結(jié)構(gòu)，所述平移調(diào)節(jié)組件還包括齒輪和齒輪驅(qū)動電機，所述齒輪驅(qū)動電機與所述齒輪連接以驅(qū)動所述平移底座平移。

6.如權(quán)利要求5所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，還包括滑軌和滑塊，所述滑軌固定在所述基座上，所述滑塊被配置為沿所述滑軌的延伸方向移動，所述平移底座固定在所述滑塊上。

7.如權(quán)利要求1或2或3所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述平移調(diào)節(jié)組件還包括元件支板，所述元件支板連接在所述平移底座上且沿所述平移底座的平移方向延伸，所述元件支板的表面設有供光路穿過的窗口，所述窗口用于卡接或膠接所述第一光學元件。

8.如權(quán)利要求1或2或3所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，還包括轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件，所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件包括轉(zhuǎn)盤主體和第二光學元件；所述轉(zhuǎn)盤主體轉(zhuǎn)動裝配在所述基座上，所述第二光學元件設于所述轉(zhuǎn)盤主體上并且繞所述轉(zhuǎn)盤主體的轉(zhuǎn)動軸線分布；所述第二光學元件繞所述轉(zhuǎn)盤主體的轉(zhuǎn)動軸線具有光學特性變化，用于按照轉(zhuǎn)動方式切入光路。

9.如權(quán)利要求8所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述第二光學元件被配置為多個不同光學特性的衰減片或濾光片，各衰減片或濾光片環(huán)繞所述轉(zhuǎn)盤主體的轉(zhuǎn)動軸線進行均勻分布。

10.如權(quán)利要求9所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，包括兩組配置有所述衰減片的所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件，所述衰減片繞所述轉(zhuǎn)盤主體的轉(zhuǎn)動軸線具有衰減特性變化，兩組配置有所述衰減片的所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件用于組合出不同的光透過率。

11.如權(quán)利要求8所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件設有多組且沿光路方向并排分布，在所述轉(zhuǎn)盤主體的軸向上，各所述平移調(diào)節(jié)組件中的所述第一光學元件位于所有所述轉(zhuǎn)盤主體的同一側(cè)，并與所述轉(zhuǎn)盤主體相鄰。

12.如權(quán)利要求8所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件設有兩組，兩組所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件均包括供所述轉(zhuǎn)盤主體固定安裝的轉(zhuǎn)盤安裝軸，兩所述轉(zhuǎn)盤安裝軸以端面相對的形式布置，兩組所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件中的所述轉(zhuǎn)盤主體分別固定在兩所述轉(zhuǎn)盤安裝軸相互靠近的一端。

13.如權(quán)利要求8所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件包括供所述轉(zhuǎn)盤主體固定安裝的轉(zhuǎn)盤安裝軸，至少兩組所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件的轉(zhuǎn)盤安裝軸并排布置且所述轉(zhuǎn)盤主體分別固定在兩所述轉(zhuǎn)盤安裝軸的軸向同一側(cè)，其中一組所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件中的所述轉(zhuǎn)盤安裝軸從另一組所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件中的轉(zhuǎn)盤主體的徑向外側(cè)經(jīng)過。

14.如權(quán)利要求8所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件包括轉(zhuǎn)盤驅(qū)動電機，所述轉(zhuǎn)盤驅(qū)動電機與所述轉(zhuǎn)盤安裝軸同軸布置并傳動連接，用于驅(qū)動所述轉(zhuǎn)盤主體轉(zhuǎn)動。

15.如權(quán)利要求8所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述基座包括第一座體部分和第二座體部分，所述第一座體部分和第二座體部分間隔布置且均用于承載所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件；所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件被配置為一組或多組，每個所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件的轉(zhuǎn)盤主體排列設置在所述第一座體部分和第二座體部分之間的間隔內(nèi)。

16.如權(quán)利要求15所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述第一座體部分和/或第二座體部分靠近所述間隔的一側(cè)設有避讓空間，至少一處所述平移底座的至少一部分位于所述避讓空間內(nèi)。

17.光學檢測裝置，其特征在于，包括：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及光源調(diào)節(jié)，特別涉及一種調(diào)節(jié)裝置及光學檢測裝置。一種調(diào)節(jié)裝置，包括：基座；以及平移調(diào)節(jié)組件，平移調(diào)節(jié)組件包括平移底座和第一光學元件；平移底座被配置為以平移方式在基座上活動，第一光學元件設于平移底座上；第一光學元件沿平移底座的平移方向具有光學特性變化，用于按照平移方式切入調(diào)節(jié)裝置的光路，平移方向與調(diào)節(jié)裝置的光路方向交叉；平移調(diào)節(jié)組件設有至少兩組，各組平移調(diào)節(jié)組件中的第一光學元件沿光路方向并排布置，以在各第一光學元件相對平移時組合形成不同的光學特性。本發(fā)明能夠組合形成不同的光學特性，從而具有更加豐富的光學調(diào)節(jié)功能，并且采用平移形式的第一光學元件能夠避免占用較多的空間，結(jié)構(gòu)緊湊。

技術(shù)研發(fā)人員：陳魯,宋訓鵬,莫云杰,呂肅,張嵩
受保護的技術(shù)使用者：深圳中科飛測科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/19