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一種壓力傳感器的制作方法

文檔序號:11373756閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本實用新型涉及一種壓力傳感器,包括封裝在外殼中的敏感組件和放大組件,所述外殼的一端設有電連接器,所述敏感組件包括壓力敏感元件、接頭和支撐套,所述接頭的一端嵌設有阻尼螺釘,其另一端分別與壓力敏感元件、支撐套連接,所述壓力敏感元件濺射有氮化鉭薄膜,其表面涂覆有硅橡膠,所述壓力敏感元件處鍵合連接第一出線板,所述第一出線板通過出線板壓帽與支撐套連接,所述出線板壓帽處還設有與第一出線板連接的第二出線板,所述第二出線板通過引線與放大組件連接,本實用新型具有良好的防潮性、耐水壓沖擊性和抗干擾性。

技術(shù)研發(fā)人員:胡宗亮;王鵬;劉哲;李強;徐江燕;劉軍;劉欣
受保護的技術(shù)使用者:青島智騰微電子有限公司
文檔號碼:201720201900
技術(shù)研發(fā)日:2017.03.03
技術(shù)公布日:2017.09.19

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