本實(shí)用新型屬于壓力測量裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體地說涉及一種壓力傳感器。

背景技術(shù)：

目前，壓力傳感器被用于航空航天領(lǐng)域發(fā)動(dòng)機(jī)燃料管道壓力的測量，該應(yīng)用領(lǐng)域要求傳感器具有很高的工作可靠性，具有優(yōu)良的防潮性能、耐水壓沖擊性能和抗電磁干擾性能。其中，薄膜壓力傳感器是第三代壓力傳感器，采用濺射薄膜技術(shù)制備壓力敏感元件，能滿足高溫、濕熱、腐蝕、振動(dòng)等惡劣環(huán)境下使用。由于薄膜壓力傳感器具有優(yōu)異的穩(wěn)定性和惡劣環(huán)境適應(yīng)性，其在航空航天領(lǐng)域、石油工業(yè)及汽車領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。

應(yīng)用在航空航天發(fā)動(dòng)機(jī)上的薄膜壓力傳感器，需要在高溫高濕環(huán)境、復(fù)雜的電磁環(huán)境下工作，且要承受發(fā)動(dòng)機(jī)開關(guān)機(jī)瞬間產(chǎn)生的3～4倍的沖擊壓力。目前，薄膜壓力傳感器的敏感元件主要使用的應(yīng)變材料是鎳鉻合金，鎳鉻合金在空氣、水汽長時(shí)間作用下，合金組份中的鉻容易被氧化成氧化鉻，改變敏感元件應(yīng)變電阻的阻值，導(dǎo)致傳感器的防潮性能不佳，不適合惡劣環(huán)境下測量應(yīng)變。另外，壓力敏感元件過載壓力一般為額定壓力的1.5倍，不能滿足耐水擊壓力的要求。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的種種不足，為了解決上述問題，現(xiàn)提出一種壓力傳感器。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

一種壓力傳感器，包括封裝在外殼中的敏感組件和放大組件，所述外殼的一端設(shè)有電連接器，所述敏感組件包括壓力敏感元件、接頭和支撐套，所述接頭的一端嵌設(shè)有阻尼螺釘，其另一端分別與壓力敏感元件、支撐套連接，所述壓力敏感元件濺射有氮化鉭薄膜，其表面涂覆有硅橡膠，所述壓力敏感元件處鍵合連接第一出線板，所述第一出線板通過出線板壓帽與支撐套連接，所述出線板壓帽處還設(shè)有與第一出線板連接的第二出線板，所述第二出線板通過引線與放大組件連接。

進(jìn)一步，所述放大組件包括印制板、信號(hào)處理電路和引出線，所述信號(hào)處理電路位于印制板上，所述引出線與印制板連接。

進(jìn)一步，所述信號(hào)處理電路依次包括電源濾波電路、基準(zhǔn)電壓產(chǎn)生電路、輸入濾波電路、儀表放大器電路和輸出濾波電路，所述壓力敏感元件位于基準(zhǔn)電壓產(chǎn)生電路、輸入濾波電路之間，所述基準(zhǔn)電壓產(chǎn)生電路為壓力敏感元件供電，所述電源濾波電路分別與基準(zhǔn)電壓產(chǎn)生電路、儀表放大器電路、輸出濾波電路連接。

進(jìn)一步，所述第一出線板與壓力敏感元件通過硅鋁絲鍵合，以實(shí)現(xiàn)電氣連接。

進(jìn)一步，所述第一出線板與第二出線板通過連接銷連接。

進(jìn)一步，所述接頭與支撐套通過螺釘連接，所述接頭與放大組件通過螺柱連接。

本實(shí)用新型的有益效果是：

1、壓力敏感元件濺射有氮化鉭薄膜，當(dāng)壓力敏感元件暴露在空氣中時(shí)，氮化鉭薄膜表面會(huì)形成一層氧化層，保護(hù)薄膜不受到侵蝕，提高防潮性能，適應(yīng)高溫高濕環(huán)境，壓力敏感元件表面涂覆有硅橡膠，能夠防止多余物接觸壓力敏感元件表面，起防潮作用，同時(shí)，在接頭的一端嵌設(shè)阻尼螺釘，提高接頭耐沖擊壓力的能力，提高傳感器的過載壓力。

2、在信號(hào)處理電路中設(shè)置輸電源濾波電路、輸入濾波電路和輸出濾波電路，抑制電磁干擾信號(hào)，以適應(yīng)復(fù)雜的電磁環(huán)境。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型的敏感組件結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本實(shí)用新型的電原理框圖。

附圖中：1-外殼、2-敏感組件、201-接頭、202-壓力敏感元件、203-支撐套、204-第一出線板、205-出線板壓帽、206-第二出線板、207-連接銷、208-硅橡膠、3-放大組件、4-電連接器、5-阻尼螺釘、6-螺柱、7-螺釘；

圖3中箭頭方向表示電壓信號(hào)傳遞方向。

具體實(shí)施方式

為了使本領(lǐng)域的人員更好地理解本實(shí)用新型的技術(shù)方案，下面結(jié)合本實(shí)用新型的附圖，對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整的描述，基于本申請(qǐng)中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的其它類同實(shí)施例，都應(yīng)當(dāng)屬于本申請(qǐng)保護(hù)的范圍。此外，以下實(shí)施例中提到的方向用詞，例如“上”“下”“左”“右”等僅是參考附圖的方向，因此，使用的方向用詞是用來說明而非限制本發(fā)明創(chuàng)造。

下面結(jié)合附圖和較佳的實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。

實(shí)施例一：

如圖1-3所示，一種壓力傳感器，包括封裝在外殼1中的敏感組件2和放大組件3，所述外殼1的一端設(shè)有電連接器4，電連接器4是標(biāo)準(zhǔn)電氣接口，對(duì)外提供電氣連接，外殼1對(duì)敏感組件2和放大組件3起保護(hù)作用。敏感組件2用于感受壓力信號(hào)，并將其轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)，放大組件3對(duì)所述電壓信號(hào)進(jìn)行放大。

所述敏感組件2包括壓力敏感元件202、接頭201和支撐套203，所述接頭201的一端嵌設(shè)有阻尼螺釘5，提高接頭201耐沖擊壓力的能力，所述接頭201的另一端分別與壓力敏感元件202、支撐套203連接，所述接頭201與支撐套203通過螺釘7連接，所述接頭201與放大組件3通過螺柱6連接，以固定支撐套203和放大組件3，所述接頭201與壓力敏感元件202通過激光焊接或氬弧焊等焊接方式焊接在一起，被測液體對(duì)接頭201產(chǎn)生壓力，壓力經(jīng)接頭201傳遞到壓力敏感元件202，并經(jīng)壓力敏感元件202轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)。

所述壓力敏感元件202濺射有氮化鉭薄膜，其表面涂覆有硅橡膠208，當(dāng)壓力敏感元件202暴露在空氣中時(shí)，氮化鉭薄膜表面會(huì)形成一層氧化層，保護(hù)薄膜不受到侵蝕，提高防潮性能，適應(yīng)高溫高濕環(huán)境，同時(shí)，硅橡膠208能夠防止多余物接觸壓力敏感元件202表面，起防潮作用。所述壓力敏感元件202處通過硅鋁絲鍵合連接第一出線板204，實(shí)現(xiàn)電氣連接，所述第一出線板204通過出線板壓帽205與支撐套203連接，所述出線板壓帽205處還設(shè)有第二出線板206，所述第一出線板204與第二出線板206通過連接銷207連接，以實(shí)現(xiàn)電氣連接，所述電壓信號(hào)經(jīng)第一出線板204、連接銷207，傳遞到第二出線板206處，所述第二出線板206通過引線與放大組件3連接，實(shí)現(xiàn)電氣連接，所述電壓信號(hào)經(jīng)第二出線板206傳遞到放大組件3。

所述放大組件3包括印制板、信號(hào)處理電路和引出線，所述信號(hào)處理電路位于印制板上，所述引出線與印制板連接，所述信號(hào)處理電路依次包括電源濾波電路、基準(zhǔn)電壓產(chǎn)生電路、輸入濾波電路、儀表放大器電路和輸出濾波電路，所述壓力敏感元件202位于基準(zhǔn)電壓產(chǎn)生電路、輸入濾波電路之間，所述基準(zhǔn)電壓產(chǎn)生電路為壓力敏感元件202供電，所述電源濾波電路分別與基準(zhǔn)電壓產(chǎn)生電路、儀表放大器電路、輸出濾波電路連接，所述電源濾波電路分別為基準(zhǔn)電壓產(chǎn)生電路、儀表放大器電路、輸出濾波電路供電，所述電源濾波電路、輸入濾波電路和輸出濾波電路均為抗干擾電路，抑制電磁干擾信號(hào)，以適應(yīng)復(fù)雜的電磁環(huán)境，所述電壓信號(hào)依次經(jīng)輸入濾波電路、儀表放大器電路，最后經(jīng)輸出濾波電路輸出。

以上已將本實(shí)用新型做一詳細(xì)說明，以上所述，僅為本實(shí)用新型之較佳實(shí)施例而已，當(dāng)不能限定本實(shí)用新型實(shí)施范圍，即凡依本申請(qǐng)范圍所作均等變化與修飾，皆應(yīng)仍屬本實(shí)用新型涵蓋范圍內(nèi)。