技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型提供一種基于溫度調(diào)節(jié)性能的石墨烯仿生光探測(cè)器，包括：微加熱器平臺(tái)；石墨烯，位于所述微加熱器平臺(tái)上；活性薄膜，形成于所述石墨烯的表面；光受體蛋白，形成于所述活性薄膜上。本實(shí)用新型通過采用懸膜式的加熱結(jié)構(gòu)連接石墨烯，并在石墨烯表面修飾光受體蛋白，一方面采用光受體蛋白實(shí)現(xiàn)波長(zhǎng)選擇性，提高光吸收率；另一方面采用懸膜式加熱結(jié)構(gòu)，減少襯底對(duì)石墨烯性能的影響，更可以通過加熱電壓來調(diào)節(jié)工作溫度，從而調(diào)節(jié)光生載流子遷移率和濃度，以提高光探測(cè)器件的性能。

技術(shù)研發(fā)人員：李鐵;仝敬;王伊;張蕾;高安然;張東偉;宋海峰;王躍林
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所;北京正旦國際科技有限責(zé)任公司
文檔號(hào)碼：201720030919
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.11
技術(shù)公布日：2017.11.07