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高度測微儀的基準(zhǔn)組合的制作方法

文檔序號(hào):11559914閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種高度測微儀的基準(zhǔn)組合,其特征在于,包括:

高度基準(zhǔn),包括水平設(shè)置的基準(zhǔn)座,所述基準(zhǔn)座上設(shè)有基準(zhǔn),基準(zhǔn)的上端面為測量平臺(tái);

外圓基準(zhǔn),包括設(shè)于基準(zhǔn)后方的外圓基準(zhǔn)座,外圓基準(zhǔn)座上設(shè)有外圓靠山,所述外圓靠山的端部為接觸面,該接觸面為開口向外的V型。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高度測微儀的基準(zhǔn)組合,其特征在于,所述基準(zhǔn)座上設(shè)有2個(gè)圓柱體基準(zhǔn),兩個(gè)基準(zhǔn)的直徑不同。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高度測微儀的基準(zhǔn)組合,其特征在于,所述測量平面的平面度<0.1μm。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高度測微儀的基準(zhǔn)組合,其特征在于,所述外圓基準(zhǔn)座裝配于豎直基準(zhǔn)上,沿所述豎直基準(zhǔn)上下位置可調(diào),外圓靠山可左右移動(dòng)式裝配于外圓基準(zhǔn)上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高度測微儀的基準(zhǔn)組合,其特征在于,所述接觸面為100°-130°的V型。

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