本發(fā)明涉及玻璃基板檢測(cè)
技術(shù)領(lǐng)域：
，具體地，涉及一種玻璃基板內(nèi)缺陷檢測(cè)方法及裝置。
背景技術(shù)：
：平板顯示基板玻璃是一種對(duì)內(nèi)部缺陷容忍要求極高的超薄平板玻璃，對(duì)于內(nèi)部的氣泡、結(jié)石、析晶等缺陷要求不能超過一定的尺寸?，F(xiàn)有技術(shù)中，玻璃基板內(nèi)是否存在缺陷的檢測(cè)方法非常復(fù)雜，而且，現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)缺陷的位置，即接近于玻璃基板上板面還是下板面，是無能為力的。而實(shí)際上，下游客戶對(duì)于玻璃基板內(nèi)部的缺陷位置，是區(qū)別對(duì)待的。對(duì)于接近于制作薄膜晶體管那面的缺陷要求比接近于另一面缺陷的要求要嚴(yán)苛。因此，如何確定玻璃基板內(nèi)部缺陷位置是亟待解決的問題，需要發(fā)明一種能夠區(qū)分缺陷所處位置的檢測(cè)方法。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的是提供一種玻璃基板內(nèi)缺陷檢測(cè)方法及裝置，通過本發(fā)明的裝置和方法既能檢測(cè)出玻璃基板內(nèi)是否存在缺陷，并且能夠識(shí)別出玻璃基板中距離缺陷更近的基板板面。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種玻璃基板內(nèi)缺陷檢測(cè)方法，該玻璃基板內(nèi)缺陷檢測(cè)方法包括：將光源和第一攝像裝置分別設(shè)置在待檢測(cè)玻璃基板板面的相對(duì)兩側(cè)；在與待檢測(cè)玻璃基板發(fā)生相對(duì)移動(dòng)過程中，所述光源發(fā)射的光線穿過待檢測(cè)玻璃基板后射入所述第一攝像裝置；根據(jù)所述第一攝像裝置內(nèi)的視場(chǎng)識(shí)別待檢測(cè)玻璃基板內(nèi)是否存在缺陷?？蛇x地，當(dāng)所述第一攝像裝置內(nèi)為不變的明亮視場(chǎng)時(shí)，判斷待檢測(cè)玻璃基板內(nèi)無缺陷；當(dāng)所述第一攝像裝置內(nèi)為變化的明亮視場(chǎng)時(shí)，判斷待檢測(cè)玻璃基板內(nèi)存在缺陷。可選地，該玻璃基板內(nèi)缺陷檢測(cè)方法還包括：在所述光源和待檢測(cè)玻璃基板發(fā)生相對(duì)移動(dòng)過程中，設(shè)置第二攝像裝置，使第二攝像裝置的焦點(diǎn)位于待檢測(cè)玻璃基板內(nèi)部所述光源發(fā)射的光線上并且與待檢測(cè)玻璃基板其中一個(gè)板面間的距離不大于待檢測(cè)玻璃基板厚度的三分之一；當(dāng)所述第一攝像裝置內(nèi)為變化的明亮視場(chǎng)時(shí)，根據(jù)所述第二攝像裝置內(nèi)的視場(chǎng)識(shí)別距離缺陷位置較近的待檢測(cè)玻璃基板的板面；優(yōu)選地，所述第二攝像裝置的焦點(diǎn)與待檢測(cè)玻璃基板其中一個(gè)板面間的距離不大于待檢測(cè)玻璃基板厚度的五分之一?？蛇x地，所述第一攝像裝置內(nèi)為變化的明亮視場(chǎng)，當(dāng)所述第二攝像裝置內(nèi)為暗視場(chǎng)并閃現(xiàn)光線時(shí)，判斷缺陷位置接近于與所述第二攝像裝置焦點(diǎn)距離較近的待檢測(cè)玻璃基板的板面，當(dāng)所述第二攝像裝置內(nèi)為暗視場(chǎng)且無光線時(shí)，判斷缺陷位置接近于與所述第二攝像裝置焦點(diǎn)距離較遠(yuǎn)的待檢測(cè)玻璃基板的板面?？蛇x地，所述玻璃基板內(nèi)缺陷檢測(cè)方法在暗場(chǎng)環(huán)境中進(jìn)行?？蛇x地，所述第一攝像裝置的光軸與所述光源發(fā)射的光線平行。可選地，在所述光源和待檢測(cè)玻璃基板發(fā)生相對(duì)移動(dòng)過程中，保持所述光源、所述第一攝像裝置和所述第二攝像裝置靜止移動(dòng)待檢測(cè)玻璃基板。可選地，所述第二攝像裝置的光軸與待檢測(cè)玻璃基板的板面相垂直。本發(fā)明還提供一種玻璃基板內(nèi)缺陷檢測(cè)裝置，該玻璃基板內(nèi)缺陷檢測(cè)裝置包括：位于待檢測(cè)玻璃基板板面相對(duì)兩側(cè)的光源和第一攝像裝置，焦點(diǎn)位于待檢測(cè)玻璃基板內(nèi)部所述光源發(fā)射的光線上的第二攝像裝置；在與待檢測(cè)玻璃基板發(fā)生相對(duì)移動(dòng)過程中，所述光源發(fā)射的光線穿過待檢測(cè)玻璃基板后射入所述第一攝像裝置，所述第二攝像裝置的焦點(diǎn)與待檢測(cè)玻璃基板其中一個(gè)板面間的距離不大于待檢測(cè)玻璃基板厚度的三分之一；優(yōu)選地，所述第二攝像裝置的焦點(diǎn)與待檢測(cè)玻璃基板其中一個(gè)板面間的距離不大于待檢測(cè)玻璃基板厚度的五分之一?？蛇x地，所述待檢測(cè)玻璃基板為透明玻璃基板，所述光源發(fā)射的光線為線性光，線性光的寬度小于待檢測(cè)玻璃基板厚度的二分之一；優(yōu)選地，所述光源發(fā)射的光線為線性光，線性光的寬度小于待檢測(cè)玻璃基板厚度的三分之一。通過本發(fā)明的玻璃基板內(nèi)缺陷檢測(cè)方法及裝置能夠判斷玻璃基板內(nèi)是否存在缺陷，并且能夠準(zhǔn)確地識(shí)別出玻璃基板中距離缺陷更近的基板板面。本發(fā)明的其他特征和優(yōu)點(diǎn)將在隨后的具體實(shí)施方式部分予以詳細(xì)說明。附圖說明附圖是用來提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與下面的具體實(shí)施方式一起用于解釋本發(fā)明，但并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的限制。在附圖中：圖1是通過本發(fā)明的玻璃基板內(nèi)缺陷檢測(cè)裝置檢測(cè)玻璃基板內(nèi)缺陷時(shí)的一種具體實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是通過本發(fā)明的玻璃基板內(nèi)缺陷檢測(cè)裝置檢測(cè)玻璃基板內(nèi)缺陷時(shí)的一種具體實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖標(biāo)記說明1光源2第一攝像裝置3待檢測(cè)玻璃基板4第二攝像裝置具體實(shí)施方式以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的具體實(shí)施方式僅用于說明和解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明。本發(fā)明所述的玻璃基板內(nèi)缺陷檢測(cè)方法指檢測(cè)玻璃基板內(nèi)是否存在缺陷以及缺陷的位置；所述檢測(cè)玻璃基板內(nèi)缺陷的位置指的是檢測(cè)玻璃基板內(nèi)缺陷與哪個(gè)基板板面的距離更近，也可以說是識(shí)別出玻璃基板中距離缺陷更近的基板板面。本發(fā)明提供一種玻璃基板內(nèi)缺陷檢測(cè)方法，該玻璃基板內(nèi)缺陷檢測(cè)方法可以包括：將光源1和第一攝像裝置2分別設(shè)置在待檢測(cè)玻璃基板3板面的相對(duì)兩側(cè)；在與待檢測(cè)玻璃基板3發(fā)生相對(duì)移動(dòng)過程中，所述光源1發(fā)射的光線穿過待檢測(cè)玻璃基板3后射入所述第一攝像裝置2；根據(jù)所述第一攝像裝置2內(nèi)的視場(chǎng)識(shí)別待檢測(cè)玻璃基板3內(nèi)是否存在缺陷。如圖1或2所示，通過移動(dòng)光源1或者移動(dòng)待檢測(cè)玻璃基板3均可以使光源1和待檢測(cè)玻璃基板3間發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，在發(fā)生相對(duì)移動(dòng)的過程中可以使光源1發(fā)射的光線與待檢測(cè)玻璃基板3的板面間的角度保持不變?yōu)?0-70度，使光源1發(fā)射的光線可以一直射入第一攝像裝置2內(nèi)，并且使光源1發(fā)射的光線掃過待檢測(cè)玻璃基板3的整個(gè)板面，在這個(gè)過程中，通過第一攝像裝置2內(nèi)的視場(chǎng)可以識(shí)別待檢測(cè)玻璃基板3內(nèi)是否存在缺陷。根據(jù)本發(fā)明，當(dāng)所述第一攝像裝置2內(nèi)為不變的明亮視場(chǎng)時(shí)，可以判斷待檢測(cè)玻璃基板3內(nèi)無缺陷；當(dāng)所述第一攝像裝置2內(nèi)為變化的明亮視場(chǎng)時(shí)，可以判斷待檢測(cè)玻璃基板3內(nèi)存在缺陷。若第一攝像裝置2內(nèi)為不變的明亮視場(chǎng)，即通過光源1和待檢測(cè)玻璃基板3間發(fā)生相對(duì)移動(dòng)使光源1發(fā)射的光線掃射過整個(gè)待檢測(cè)玻璃基板3板面的過程中，第一攝像裝置2內(nèi)觀察到的視場(chǎng)一直為正常的明亮視場(chǎng)即不變的明亮視場(chǎng)，說明整個(gè)待檢測(cè)玻璃基板3內(nèi)部是均一的結(jié)構(gòu)、不存在缺陷。如果待檢測(cè)玻璃基板3內(nèi)存在缺陷，光源1的光線掃射到達(dá)此處時(shí)，光線就會(huì)部分被缺陷阻擋或散射等，此時(shí)，第一攝像裝置2內(nèi)的視場(chǎng)就會(huì)發(fā)生變化，因?yàn)槿毕蒹w積往往很小，所以第一攝像裝置2內(nèi)的視場(chǎng)可以由明亮視場(chǎng)、瞬間暗視場(chǎng)或者瞬間亮度變暗后迅速恢復(fù)明亮視場(chǎng)，因此，第一攝像裝置2內(nèi)為變化的明亮視場(chǎng)時(shí)，可以判斷待檢測(cè)玻璃基板3內(nèi)存在缺陷，并且第一攝像裝置2內(nèi)視場(chǎng)發(fā)生變化時(shí)，光源1的光線在基板內(nèi)走過的光路上存在缺陷，但是缺陷距離待檢測(cè)玻璃基板3哪個(gè)板面的距離更近仍然不能確定。根據(jù)本發(fā)明，該玻璃基板內(nèi)缺陷檢測(cè)方法還可以包括：在所述光源1和待檢測(cè)玻璃基板3發(fā)生相對(duì)移動(dòng)過程中，可以設(shè)置第二攝像裝置4，可以使第二攝像裝置4的焦點(diǎn)位于待檢測(cè)玻璃基板3內(nèi)部所述光源1發(fā)射的光線上并且與待檢測(cè)玻璃基板3其中一個(gè)板面間的距離不大于待檢測(cè)玻璃基板厚度的三分之一；當(dāng)所述第一攝像裝置2內(nèi)為變化的明亮視場(chǎng)時(shí)，根據(jù)所述第二攝像裝置4內(nèi)的視場(chǎng)可以識(shí)別距離缺陷位置較近的待檢測(cè)玻璃基板3的板面；優(yōu)選地，所述第二攝像裝置4的焦點(diǎn)與待檢測(cè)玻璃基板3其中一個(gè)板面間的距離可以不大于待檢測(cè)玻璃基板3厚度的五分之一。在本發(fā)明的玻璃基板內(nèi)缺陷檢測(cè)方法中，首先可以通過光源1和第一攝像裝置2判斷待檢測(cè)玻璃基板3內(nèi)是否存在缺陷，當(dāng)?shù)谝粩z像裝置2內(nèi)視場(chǎng)為變化的明亮視場(chǎng)時(shí)，可以判斷待檢測(cè)玻璃基板3內(nèi)存在缺陷，進(jìn)而可以通過第二攝像裝置4內(nèi)的視場(chǎng)判斷缺陷的位置，本發(fā)明中“判斷缺陷的位置”指判斷待檢測(cè)玻璃基板3中哪個(gè)板面距離缺陷更近。根據(jù)本發(fā)明，所述第一攝像裝置2內(nèi)為變化的明亮視場(chǎng)，當(dāng)所述第二攝像裝置4內(nèi)為暗視場(chǎng)并閃現(xiàn)光線時(shí)，可以判斷缺陷位置接近于與所述第二攝像裝置4焦點(diǎn)距離較近的待檢測(cè)玻璃基板3的板面，當(dāng)所述第二攝像裝置4內(nèi)為暗視場(chǎng)且無光線時(shí)，可以判斷缺陷位置接近于與所述第二攝像裝置4焦點(diǎn)距離較遠(yuǎn)的待檢測(cè)玻璃基板3的板面。在所述光源1和待檢測(cè)玻璃基板3發(fā)生相對(duì)移動(dòng)的整個(gè)過程中，若第一攝像裝置2內(nèi)一直為正常的、不變的明亮視場(chǎng)，同時(shí)，第二攝像裝置4內(nèi)一直為暗視場(chǎng)，則可以判斷待檢測(cè)玻璃基板3內(nèi)不存在缺陷(第二攝像裝置4的焦點(diǎn)位于光源1發(fā)射的光線上，光線在待檢測(cè)玻璃基板3內(nèi)沿直線傳播，若沒有缺陷則沒有光的散射，則第二攝像裝置4不會(huì)拍攝到光線)；若第一攝像裝置2內(nèi)為明亮視場(chǎng)，并且在光源1和待檢測(cè)玻璃基板3發(fā)生相對(duì)移動(dòng)的過程中第一攝像裝置2內(nèi)的明亮視場(chǎng)發(fā)生了變化，比如發(fā)生短時(shí)間內(nèi)明亮視場(chǎng)的亮度變暗或者短時(shí)間變?yōu)榘狄晥?chǎng)，則此時(shí)光源1發(fā)射的光線在待檢測(cè)玻璃基板3內(nèi)的光路上存在缺陷，往往明亮視場(chǎng)發(fā)生變化的時(shí)間非常短、變化后很快恢復(fù)明亮視場(chǎng)，觀測(cè)者可能會(huì)覺得僅僅是瞬間的變化，這是因?yàn)槿毕莸捏w積往往很小，因此，光源1發(fā)射的光線在待檢測(cè)玻璃基板3內(nèi)碰到缺陷時(shí)會(huì)使光線被阻擋或者折射等，因此第一攝像裝置2中的明亮視場(chǎng)會(huì)發(fā)生瞬間或短時(shí)間的變化；設(shè)置第二攝像裝置4，使第二攝像裝置4的焦點(diǎn)位于待檢測(cè)玻璃基板3內(nèi)部所述光源1發(fā)射的光線上并且接近于其中一個(gè)基板板面，比如，可以通過調(diào)整第二攝像裝置4使其焦點(diǎn)距離基板上板面的距離不超過基板厚度的五分之一，在第一攝像裝置2內(nèi)明亮視場(chǎng)發(fā)生變化時(shí)，若第二攝像裝置4內(nèi)觀測(cè)到了少量的光線，則判斷缺陷所在位置與接近于第二攝像裝置4焦點(diǎn)的那個(gè)基板板面的距離更近，因?yàn)槿毕菥嚯x該板面的距離更近，因此光源1發(fā)射的光線在碰到缺陷發(fā)生散射時(shí)，第二攝像裝置4才可以拍攝到少量的散射光線，若第一攝像裝置2內(nèi)明亮視場(chǎng)發(fā)生變化時(shí)，第二攝像裝置4內(nèi)沒有觀測(cè)或拍攝到散射光線，仍然一直為暗視場(chǎng)，則可以判斷缺陷所在位置與接近于第二攝像裝置4焦點(diǎn)的那個(gè)基板板面距離更遠(yuǎn)，進(jìn)而可以推測(cè)出另一個(gè)基板板面距離缺陷更近。在本發(fā)明的玻璃基板內(nèi)缺陷檢測(cè)方法中，可以實(shí)時(shí)對(duì)所述第一攝像裝置2和第二攝像裝置4中的視場(chǎng)進(jìn)行觀測(cè)，也可以使第一攝像裝置2和第二攝像裝置4分別對(duì)其觀測(cè)到的視場(chǎng)進(jìn)行全程拍攝，檢測(cè)結(jié)束后通過觀看第一攝像裝置2和第二攝像裝置4中的拍攝記錄判斷待檢測(cè)玻璃基板3中是否存在缺陷、以及缺陷的位置(缺陷距離玻璃基板哪個(gè)板面的距離更近)；待檢測(cè)玻璃基板3可以保持一定的速度勻速移動(dòng)，通過拍攝記錄確定出現(xiàn)缺陷的時(shí)間進(jìn)而可以知道玻璃基板發(fā)生移動(dòng)的距離，使玻璃基板回到檢測(cè)到缺陷的位置處，仍然使光源的光線照射此處，光線與玻璃基板板面的角度等都保持與測(cè)試時(shí)一致，對(duì)光線射入玻璃基板板面的區(qū)域進(jìn)行標(biāo)記，對(duì)光線射出玻璃基板板面的區(qū)域進(jìn)行標(biāo)記，進(jìn)而可以初步推斷待檢測(cè)玻璃基板中缺陷所在的大體區(qū)域。根據(jù)本發(fā)明，所述玻璃基板內(nèi)缺陷檢測(cè)方法可以在暗場(chǎng)環(huán)境中進(jìn)行。根據(jù)本發(fā)明，所述第一攝像裝置2的光軸與所述光源1發(fā)射的光線可以平行。根據(jù)本發(fā)明，在所述光源1和待檢測(cè)玻璃基板3發(fā)生相對(duì)移動(dòng)過程中，可以保持所述光源1、所述第一攝像裝置2和所述第二攝像裝置4靜止移動(dòng)待檢測(cè)玻璃基板3。在所述光源1和待檢測(cè)玻璃基板3發(fā)生相對(duì)移動(dòng)過程中，光源1發(fā)射的光線和待檢測(cè)玻璃基板3間的角度可以保持不變?yōu)?0-70度，第一攝像裝置2可以一直接收到光源1發(fā)射的光線，第二攝像裝置4的焦點(diǎn)可以一直保持距離其中一個(gè)基板板面的距離很近，不超過待檢測(cè)玻璃基板3厚度的五分之一，并且焦點(diǎn)可以一直位于基板內(nèi)部的光源1發(fā)射的光線上。根據(jù)本發(fā)明，所述第二攝像裝置4的光軸與待檢測(cè)玻璃基板3的板面可以相垂直。本發(fā)明還提供一種玻璃基板內(nèi)缺陷檢測(cè)裝置，該玻璃基板內(nèi)缺陷檢測(cè)裝置可以包括：位于待檢測(cè)玻璃基板3板面相對(duì)兩側(cè)的光源1和第一攝像裝置2，焦點(diǎn)位于待檢測(cè)玻璃基板3內(nèi)部所述光源1發(fā)射的光線上的第二攝像裝置4；在與待檢測(cè)玻璃基板3發(fā)生相對(duì)移動(dòng)過程中，所述光源1發(fā)射的光線可以穿過待檢測(cè)玻璃基板3后射入所述第一攝像裝置1，所述第二攝像裝置4的焦點(diǎn)與待檢測(cè)玻璃基板3其中一個(gè)板面間的距離可以不大于待檢測(cè)玻璃基板厚度的三分之一；優(yōu)選地，所述第二攝像裝置4的焦點(diǎn)與待檢測(cè)玻璃基板3其中一個(gè)板面間的距離可以不大于待檢測(cè)玻璃基板厚度的五分之一。根據(jù)本發(fā)明，所述待檢測(cè)玻璃基板3可以為透明玻璃基板，所述光源1發(fā)射的光線可以為線性光，線性光的寬度可以小于待檢測(cè)玻璃基板3厚度的二分之一；優(yōu)選地，所述光源1發(fā)射的光線可以為線性光，線性光的寬度可以小于待檢測(cè)玻璃基板3厚度的三分之一。所述光源1可以包括鹵素?zé)?、led燈、紅外線光源和激光光源等，所述第一攝像裝置2和所述第二攝像裝置4可以為攝像機(jī)。所述光源1、待檢測(cè)玻璃基板3、第一攝像裝置2和第二攝像裝置4構(gòu)成一個(gè)檢查裝置，檢查裝置可以與待檢測(cè)玻璃基板3有相對(duì)運(yùn)動(dòng)，形成掃描檢查。本發(fā)明所述的玻璃基板內(nèi)缺陷檢測(cè)方法及裝置適用于檢測(cè)透明的玻璃基材內(nèi)的缺陷。以下通過實(shí)施例進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明本發(fā)明。以下的實(shí)施例將對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說明，但并不因此限制本發(fā)明。實(shí)施例1在暗場(chǎng)環(huán)境中，水平放置待檢測(cè)玻璃基板，在待檢測(cè)玻璃基板板面的上方設(shè)置光源、板面下方設(shè)置第一攝像機(jī)，使光源發(fā)射的光線與基板板面成30度角，光源發(fā)射的光線穿過玻璃基板后恰射入第一攝像機(jī)，第一攝像機(jī)可以觀測(cè)到明亮視場(chǎng)；在玻璃基板板面的上方設(shè)置第二攝像機(jī)，使第二攝像機(jī)的焦點(diǎn)位于玻璃基板內(nèi)部光源發(fā)射的光線上并且距離上板面的距離很近、小于玻璃基板厚度的五分之一；保持光源、第一攝像機(jī)和第二攝像機(jī)的位置不變水平移動(dòng)待檢測(cè)玻璃基板，移動(dòng)過程中光源發(fā)射的光線與基板板面保持角度為30度不變，并且第一攝像機(jī)一直能接收到光源發(fā)出的光線，在移動(dòng)的整個(gè)過程中，通過觀測(cè)發(fā)現(xiàn)，在光源的光線掃射通過玻璃基板板面所有區(qū)域的過程中，第一攝像機(jī)中的視場(chǎng)一直為不變的、正常的明亮視場(chǎng)，并且第二攝像機(jī)中一直為不變的暗視場(chǎng)，判斷待檢測(cè)玻璃基板中不存在缺陷。實(shí)施例2在暗場(chǎng)環(huán)境中，水平放置待檢測(cè)玻璃基板，在待檢測(cè)玻璃基板板面的上方設(shè)置光源、板面下方設(shè)置第一攝像機(jī)，使光源發(fā)射的光線與基板板面成70度角，光源發(fā)射的光線穿過玻璃基板后恰射入第一攝像機(jī)，第一攝像機(jī)可以觀測(cè)到明亮視場(chǎng)；在玻璃基板板面的上方設(shè)置第二攝像機(jī)，使第二攝像機(jī)的焦點(diǎn)位于玻璃基板內(nèi)部光源發(fā)射的光線上并且距離上板面的距離很近小于玻璃基板厚度的五分之一；保持光源、第一攝像機(jī)和第二攝像機(jī)的位置不變水平移動(dòng)待檢測(cè)玻璃基板，移動(dòng)過程中光源發(fā)射的光線與基板板面保持角度為70度不變，通過設(shè)置第一攝像機(jī)的光軸與光源發(fā)射的光束平行使第一攝像機(jī)一直能接收到光源發(fā)出的光線，在移動(dòng)的整個(gè)過程中，光源的光線掃射通過了玻璃基板板面所有的區(qū)域，第一攝像機(jī)中開始為明亮視場(chǎng)，在移動(dòng)的過程中某時(shí)刻發(fā)生了變化，明亮視場(chǎng)變暗后瞬間恢復(fù)明亮視場(chǎng)，并且第一攝像機(jī)中明亮視場(chǎng)發(fā)生變化時(shí)，第二攝像機(jī)中觀測(cè)到少量光線(閃現(xiàn)光線)，判斷第一攝像機(jī)中明亮視場(chǎng)發(fā)生變換、第二攝像機(jī)中觀測(cè)到少量光線時(shí)，光源發(fā)射的光線在玻璃基板內(nèi)經(jīng)過的光路上存在缺陷，且該缺陷距離玻璃基板上板面的距離更近、距離下板面的距離更遠(yuǎn)。實(shí)施例3在暗場(chǎng)環(huán)境中，水平放置待檢測(cè)玻璃基板，在待檢測(cè)玻璃基板板面的上方設(shè)置光源、板面下方設(shè)置第一攝像機(jī)，使光源發(fā)射的光線與基板板面成45度角，光源發(fā)射的光線穿過玻璃基板后恰射入第一攝像機(jī)，第一攝像機(jī)可以觀測(cè)到明亮視場(chǎng)；在玻璃基板板面的下方設(shè)置第二攝像機(jī)，使第二攝像機(jī)的焦點(diǎn)位于玻璃基板內(nèi)部光源發(fā)射的光線上并且距離下板面的距離很近小于玻璃基板厚度的五分之一；保持光源、第一攝像機(jī)和第二攝像機(jī)的位置不變水平移動(dòng)待檢測(cè)玻璃基板，移動(dòng)過程中光源發(fā)射的光線與基板板面保持角度為45度不變，并且第一攝像機(jī)一直能接收到光源發(fā)出的光線，使第二攝像機(jī)的光軸與所述玻璃基板板面垂直，在移動(dòng)的整個(gè)過程中第一攝像機(jī)和第二攝像機(jī)可以對(duì)各自視場(chǎng)進(jìn)行全程拍攝，通過觀看攝像視頻發(fā)現(xiàn)，在光源的光線掃射通過玻璃基板板面所有區(qū)域的過程中，第一攝像機(jī)中開始為明亮視場(chǎng)，在移動(dòng)的過程中某時(shí)刻發(fā)生了變化，明亮視場(chǎng)變暗后瞬間恢復(fù)明亮視場(chǎng)，第二攝像機(jī)拍攝的視頻中的視場(chǎng)全程都是暗視場(chǎng)，判斷第一攝像機(jī)中明亮視場(chǎng)發(fā)生變化時(shí)，光源發(fā)射的光線在玻璃基板內(nèi)經(jīng)過的光路上存在缺陷，且該缺陷距離玻璃基板上板面的距離更近、距離下板面的距離更遠(yuǎn)。測(cè)試實(shí)施例1在實(shí)施例2中第一攝像機(jī)中的明亮視場(chǎng)發(fā)生變化且第二攝像機(jī)中觀測(cè)到少量光線時(shí)，在光線射入玻璃基板板面的區(qū)域進(jìn)行標(biāo)記，并記為標(biāo)記1，在光線射出玻璃基板板面的區(qū)域進(jìn)行標(biāo)記，并記為標(biāo)記2，沿垂直于玻璃基板板面的方向?qū)⒐饩€射出基板板面的標(biāo)記2在光線射入基板板面上對(duì)應(yīng)位置做標(biāo)記3，在標(biāo)記1和標(biāo)記3的中間、沿垂直于玻璃基板板面的方向?qū)⒉ＡЩ迩懈顬閮蓧K，通過顯微鏡分別觀察兩個(gè)切割面檢測(cè)是否存在缺陷以及缺陷的位置，檢測(cè)結(jié)果見表1。測(cè)試實(shí)施例2在實(shí)施例3中第一攝像機(jī)中的明亮視場(chǎng)發(fā)生變化時(shí)，在光線射入玻璃基板板面的區(qū)域進(jìn)行標(biāo)記，并記為標(biāo)記1，在光線射出玻璃基板板面的區(qū)域進(jìn)行標(biāo)記，并記為標(biāo)記2，沿垂直于玻璃基板板面的方向?qū)⒐饩€射出基板板面的標(biāo)記2在光線射入基板板面上對(duì)應(yīng)位置做標(biāo)記3，在標(biāo)記1和標(biāo)記3的中間、沿垂直于玻璃基板板面的方向?qū)⒉ＡЩ迩懈顬閮蓧K，通過顯微鏡分別觀察兩個(gè)切割面檢測(cè)是否存在缺陷以及缺陷的位置，檢測(cè)結(jié)果見表1。表1測(cè)試實(shí)施例1、2的檢測(cè)結(jié)果表是否觀測(cè)到缺陷與缺陷距離近的基板板面測(cè)試實(shí)施例1是上板面測(cè)試實(shí)施例2是上板面通過實(shí)施例可以看出，通過本發(fā)明的玻璃基板內(nèi)缺陷檢測(cè)方法及裝置可以準(zhǔn)確判斷出透明玻璃基板內(nèi)是否存在缺陷，同時(shí)還能檢測(cè)出缺陷距離玻璃基板的哪個(gè)板面更近即識(shí)別出玻璃基板中距離缺陷更近的基板板面，進(jìn)而能夠極大地為后續(xù)的生產(chǎn)、加工工作提供便利。以上結(jié)合附圖詳細(xì)描述了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，但是，本發(fā)明并不限于上述實(shí)施方式中的具體細(xì)節(jié)，在本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思范圍內(nèi)，可以對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行多種簡(jiǎn)單變型，這些簡(jiǎn)單變型均屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。另外需要說明的是，在上述具體實(shí)施方式中所描述的各個(gè)具體技術(shù)特征，在不矛盾的情況下，可以通過任何合適的方式進(jìn)行組合，為了避免不必要的重復(fù)，本發(fā)明對(duì)各種可能的組合方式不再另行說明。此外，本發(fā)明的各種不同的實(shí)施方式之間也可以進(jìn)行任意組合，只要其不違背本發(fā)明的思想，其同樣應(yīng)當(dāng)視為本發(fā)明所公開的內(nèi)容。當(dāng)前第1頁12