技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種新型滾珠絲杠螺母內(nèi)滾道型面檢測裝置，包括大理石平臺(tái)和設(shè)置在大理石平臺(tái)上的螺母夾持裝置、X軸直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái)；所述螺母夾持裝置上設(shè)置待測件，雙頻激光發(fā)生器發(fā)射出的激光經(jīng)過光線分束器和光線直角反射鏡后分別到達(dá)激光干涉儀，第一激光干涉儀用來測量工作臺(tái)的橫向位移；第二干涉儀和第三干涉儀作用相同，通過第二干涉儀和第三干涉儀的光線在待測件滾道上會(huì)產(chǎn)生漫反射，返回光線會(huì)被光電探測器所接收，隨著固定于X軸直線工作臺(tái)上的測量桿的移動(dòng)，分別得到待測件內(nèi)滾道左側(cè)和右側(cè)圓弧的輪廓。該測量裝置具有精準(zhǔn)度高、測量速度快、不破壞被測件、自動(dòng)化程度高等優(yōu)點(diǎn)，適合自動(dòng)化檢測需求。

技術(shù)研發(fā)人員：歐屹;王瑞;馮虎田;徐小韻;裴君婷
受保護(hù)的技術(shù)使用者：南京理工大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.25
技術(shù)公布日：2017.08.04