技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種基于納米復(fù)合材料的自驅(qū)動、自感知懸臂梁傳感器，其包括二氧化硅層、單晶硅層、壓阻感知層、PZT驅(qū)動電極層、PZT層、PZT層驅(qū)動電極金屬引線，PZT驅(qū)動電極層和PZT層形成U型結(jié)構(gòu)，U型結(jié)構(gòu)三面包圍的空間鋪有壓阻感知層，壓阻感知層的上端面設(shè)置有檢測電橋電阻和壓阻感知層金屬引線，U型結(jié)構(gòu)封閉側(cè)的外側(cè)鋪有多晶硅納米膜和二氧化硅納米膜，利用多晶硅納米膜優(yōu)異的機械特性，減小懸臂梁彈性層的殘余應(yīng)力，提升多層復(fù)合結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性；通過嵌套式布局和階梯式結(jié)構(gòu)等合理設(shè)計，保證傳感器的靈敏度和機械響應(yīng)，推動精密傳感器技術(shù)智能化、集成化應(yīng)用進程，在保證檢測靈敏度和重現(xiàn)性的基礎(chǔ)上，提高懸臂梁傳感器的集成化程度。

技術(shù)研發(fā)人員：張賀;揣榮巖;李新;關(guān)艷霞;夏貝貝
受保護的技術(shù)使用者：沈陽工業(yè)大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.09
技術(shù)公布日：2017.07.14