技術(shù)編號：11726756
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微機電系統(tǒng)（Micro-electroMechanicalSystems,MEMS）領(lǐng)域，涉及一種基于納米復(fù)合材料的自驅(qū)動、自感知懸臂梁傳感器及其制造方法。背景技術(shù)作為人類獲取自然、生產(chǎn)和生活領(lǐng)域中信息的主要途徑與手段，傳感器早已滲透到工業(yè)生產(chǎn)、環(huán)境保護、醫(yī)學(xué)診斷等廣泛的領(lǐng)域。毫不夸張地說，從茫茫的太空，到浩瀚的海洋，以至人體內(nèi)部，幾乎每一個現(xiàn)代化項目，都離不開各種各樣的傳感器。據(jù)《中國傳感器市場深度評估及發(fā)展預(yù)測報告（2016版）》顯示：2014年，全球傳感器市場規(guī)模已達(dá)1260億美...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。