技術特征：

技術總結
本發(fā)明公開了一種高精度大口徑光柵五自由度拼接精度的測量方法，所述方法步驟如下：一、光柵三維轉動精度的測量：將測試光束入射至待拼接光柵的拼縫處，根據拼接光柵產生的零級反射光和一級衍射光獲得待拼接光柵的三維轉動拼接精度：俯仰角θx、偏轉角θy、旋轉角度θz；二、光柵二維平動精度的測量：將俯仰角θx、偏轉角θy以及旋轉角度θz調整至合格范圍，將測試光束入射至待拼接光柵的拼縫處，根據拼接光柵產生的零級反射光的遠場焦斑能量比值測量光柵的二維平動精度。本發(fā)明具有測量精度高、各自由度間耦合度弱、操作簡便、能夠有效地提高光柵的拼接效率和拼接精度等優(yōu)點，可用于拼接光柵的空間五自由度拼接精度測量。

技術研發(fā)人員：白清順;何欣;沈榮琦;趙航;張慶春
受保護的技術使用者：哈爾濱工業(yè)大學
技術研發(fā)日：2017.04.06
技術公布日：2017.07.07