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一種太赫茲連續(xù)波快速精準(zhǔn)掃描系統(tǒng)及方法與流程

文檔序號(hào):12656840閱讀:來源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種太赫茲連續(xù)波快速精準(zhǔn)掃描系統(tǒng)及方法,系統(tǒng)包括X軸電機(jī)、Y軸電機(jī)、X軸光柵尺及Y軸光柵尺,X軸電機(jī)和Y軸電機(jī)通過X軸傳動(dòng)結(jié)構(gòu)和Y軸傳動(dòng)結(jié)構(gòu)帶動(dòng)X軸和Y軸轉(zhuǎn)動(dòng);驅(qū)動(dòng)電機(jī)運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)器接收FPGA控制主板發(fā)送的脈沖信號(hào),該脈沖信號(hào)來自FPGA內(nèi)部鎖相環(huán)輸出的高速倍頻時(shí)鐘;X軸光柵尺通過時(shí)鐘發(fā)生器與FPGA控制主板連接,F(xiàn)PGA控制主板通過X軸光柵尺及Y軸光柵尺實(shí)現(xiàn)掃描過程中的精確定位;上位機(jī)接收FPGA控制主板采集的數(shù)據(jù)實(shí)現(xiàn)灰度成像。采用光柵尺傳感器輸出的方波信號(hào)作為數(shù)據(jù)采集的基準(zhǔn)時(shí)鐘,避免了掃描過程中機(jī)械結(jié)構(gòu)誤差、電機(jī)速度不穩(wěn)定、電機(jī)變速給掃描精度造成的影響,提高了掃描速度和精度。

技術(shù)研發(fā)人員:常天英;王忠民;張延波;崔洪亮;楊傳法
受保護(hù)的技術(shù)使用者:山東省科學(xué)院自動(dòng)化研究所
文檔號(hào)碼:201710207940
技術(shù)研發(fā)日:2017.03.31
技術(shù)公布日:2017.06.13

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