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一種基于MnZn鐵氧體薄膜的太赫茲波調(diào)制器的制作方法

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一種基于MnZn鐵氧體薄膜的太赫茲波調(diào)制器的制造方法與工藝

本發(fā)明屬于太赫茲功能器件技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種基于MnZn鐵氧體薄膜的太赫茲波調(diào)制器。



背景技術(shù):

THz波通常是指波長(zhǎng)處在3mm到30μm(頻率在0.1THz到10THz)的電磁波,在電磁波譜中處于微波與紅外波之間。THz在電磁波譜中的位置決定了THz波具有微波和紅外波少有的性能,主要包括瞬態(tài)性、相干性、寬譜性、低光子能量等特性,使得THz波相對(duì)于其他波段的電磁波顯示出特殊的性質(zhì)。近年來(lái),隨著光學(xué)、半導(dǎo)體學(xué)、電子學(xué)以及微加工等技術(shù)的不斷成熟,THz技術(shù)也成為了研究熱點(diǎn)。

THz技術(shù)作為一種新興學(xué)科,在發(fā)展的過程中必然會(huì)有不少的瓶頸,其中就包括THz調(diào)制器件的匱乏,特別是關(guān)于磁控調(diào)制和使用磁性材料的太赫茲調(diào)制器?,F(xiàn)有的THz調(diào)制器件的中間介質(zhì)層大多使用SiO2、Al2O3等介質(zhì)作為中間層材料,存在調(diào)制速率低、寬帶窄、調(diào)制幅度小等缺陷,不能適應(yīng)未來(lái)太赫茲波通信系統(tǒng)的要求。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明針對(duì)背景技術(shù)存在的缺陷,提出了一種新型的基于MnZn鐵氧體薄膜的太赫茲波調(diào)制器。該太赫茲波調(diào)制器采用具有高飽和磁化強(qiáng)度、低矯頑力的MnZn鐵氧體磁性薄膜作為中間層,具有調(diào)制頻率寬、透射率高等優(yōu)點(diǎn)。

本發(fā)明的技術(shù)方案如下:

一種基于MnZn鐵氧體薄膜的太赫茲波調(diào)制器,包括自下而上依次層疊的P型硅襯底(3)、錳鋅鐵氧體薄膜(2)和石墨烯層(1),源端(4),漏端(5)和柵端(6),其中,錳鋅鐵氧體薄膜(2)采用濺射法制備得到。

進(jìn)一步地,所述錳鋅鐵氧體薄膜(2)的厚度為200~500nm。

進(jìn)一步地,所述錳鋅鐵氧體薄膜的制備過程具體為:

步驟1.錳鋅鐵氧體靶材的制備:

1.1使用化學(xué)共沉積法制備氧化物粉末:將可溶性鐵鹽、可溶性錳鹽和可溶性鋅鹽分別加入去離子水中,攪拌混合均勻,然后加入強(qiáng)堿,發(fā)生中和反應(yīng)后,形成絮狀金屬氫氧化物沉淀,過濾,在溫度小于500℃下加熱,并且烘干,即可得到納米粒度的Fe2O3粉末、MnO2粉末和ZnO粉末;其中,可溶性鐵鹽、可溶性錳鹽和可溶性鋅鹽的摩爾比為4:1:1;

1.2將步驟1.1得到的納米粒度的Fe2O3粉末、MnO2粉末和ZnO粉末使用球磨機(jī)混合均勻,在950℃~1000℃下預(yù)燒2小時(shí),得到預(yù)燒料;

1.3將步驟1.2得到的預(yù)燒料研磨為微米級(jí)粉體,并壓制形成毛坯靶后,在1200~1250℃溫度下、氧氣氣氛下燒結(jié)3~4h,冷卻后取出,經(jīng)三維收縮和表面光潔度處理,得到錳鋅鐵氧體靶材;其中,氧氣的氣體流量為0.1-1sccm;

步驟2、錳鋅鐵氧體薄膜的制備:以步驟1得到的錳鋅鐵氧體靶材作為濺射靶材,采用射頻磁控濺射法在P型硅襯底表面沉積錳鋅鐵氧體薄膜,然后置于真空環(huán)境中進(jìn)行退火處理,退火溫度為350℃~750℃,退火真空度為0.08Pa~5.0Pa,退火時(shí)間為1.5~2h;其中,濺射時(shí)背底真空為小于1×10-4Pa,濺射氣體為氬氣和氧氣的混合氣體,其中PO2/(PO2+PAr)(混合氣體中氧氣壓與氣體總壓比)為0.1%~25%,濺射氣壓為0.2~0.8Pa,濺射功率為90~180W,襯底表面溫度為200℃~300℃。

進(jìn)一步地,所述P型硅襯底(3)為采用硼(B)摻雜的P型Si,其電阻率為4.6~5.2Ω·cm、摻雜濃度為(1.6~2.5)×1015cm-3、摻雜空穴遷移率為1500cm2/v·s。

一種基于MnZn鐵氧體薄膜的太赫茲波調(diào)制器的制備方法,包括以下步驟:

步驟1、錳鋅鐵氧體靶材的制備:

1.1使用化學(xué)共沉積法制備氧化物粉末:將可溶性鐵鹽、可溶性錳鹽和可溶性鋅鹽分別加入去離子水中,攪拌混合均勻,然后加入強(qiáng)堿,發(fā)生中和反應(yīng)后,形成絮狀金屬氫氧化物沉淀,過濾,在溫度小于500℃下加熱,并且烘干,即可得到納米粒度的Fe2O3粉末、MnO2粉末和ZnO粉末;其中,可溶性鐵鹽、可溶性錳鹽和可溶性鋅鹽的摩爾比為4:1:1;

1.2將步驟1.1得到的納米粒度的Fe2O3粉末、MnO2粉末和ZnO粉末使用球磨機(jī)混合均勻,在950℃~1000℃下預(yù)燒2小時(shí),得到預(yù)燒料;

1.3將步驟1.2得到的預(yù)燒料研磨為微米級(jí)粉體,并壓制形成毛坯靶后,在1200~1250℃溫度下、氧氣氣氛下燒結(jié)3~4h,冷卻后取出,經(jīng)三維收縮和表面光潔度處理,得到錳鋅鐵氧體靶材;其中,氧氣的氣體流量為0.1-1sccm;

步驟2、錳鋅鐵氧體薄膜的制備:以步驟1得到的錳鋅鐵氧體靶材作為濺射靶材,采用射頻磁控濺射法在P型硅襯底表面沉積錳鋅鐵氧體薄膜,然后置于真空環(huán)境中進(jìn)行退火處理,退火溫度為350℃~750℃,退火真空度為0.08Pa~5.0Pa,退火時(shí)間為1.5~2h;其中,濺射時(shí)背底真空為小于1×10-4Pa,濺射氣體為氬氣和氧氣的混合氣體,其中PO2/(PO2+PAr)(混合氣體中氧氣壓與氣體總壓比)為0.1%~25%,濺射氣壓為0.2~0.8Pa,濺射功率為90~180W,襯底表面溫度為200℃~300℃;

步驟3、采用CVD法或SiC熱裂解法制備石墨烯;

步驟4、將步驟3得到的石墨烯薄膜轉(zhuǎn)移到步驟2形成的錳鋅鐵氧體薄膜上,然后在石墨烯薄膜上形成源端(4)和漏端(5),在P型Si襯底上形成柵端(6),使P-Si和錳鋅鐵氧體薄膜形成PN結(jié);得到本發(fā)明所述基于MnZn鐵氧體薄膜的太赫茲波調(diào)制器。

進(jìn)一步地,步驟1.1所述可溶性鐵鹽為Fe(NO3)3、FeCl3等,所述可溶性錳鹽為Mn(NO3)3、MnCl3等,所述可溶性鋅鹽為Zn(NO3)2、ZnCl2等。

進(jìn)一步地,步驟1.1所述強(qiáng)堿為NaOH、KOH等。

進(jìn)一步地,步驟3所述CVD法制備石墨烯的具體過程為:將銅箔放入管式爐中,在30min內(nèi)由室溫升溫至950~1105℃,保溫1~2h,整個(gè)過程中通入流量為10sccm的氫氣作為保護(hù)氣體,得到具有催化性質(zhì)的銅,利于對(duì)石墨烯進(jìn)行催化;然后向管式爐內(nèi)通入甲烷和氫氣的混合氣體直至氣體氣壓為280~320Pa,其中,甲烷的流量為1sccm,氫氣的流量為50sccm,保持4~6min;打開爐子進(jìn)行降溫,此時(shí)繼續(xù)通入甲烷和氫氣,待溫度降低到180~220℃時(shí),關(guān)閉氣體,冷卻至室溫后取出,即可在銅箔表面形成石墨烯。

進(jìn)一步地,步驟4所述將石墨烯薄膜轉(zhuǎn)移到錳鋅鐵氧體薄膜上的具體過程為:在步驟3得到的石墨烯表面旋涂聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA),在刻蝕液中刻蝕掉銅后,晾干,然后將PMMA/Graphene(石墨烯)復(fù)合薄膜放入丙酮中,去除PMMA,即可得到石墨烯薄膜;然后將得到的石墨烯薄膜層疊到步驟2形成的錳鋅鐵氧體薄膜上。

本發(fā)明的有益效果為:

本發(fā)明提供的基于MnZn鐵氧體薄膜的太赫茲波調(diào)制器是通過在襯底上濺射具有高飽和磁化強(qiáng)度、低矯頑力的MnZn鐵氧體磁性薄膜,再在其上形成石墨烯層得到的,通過比較石墨烯與MnZn鐵氧體薄膜的電阻率、遷移率及載流子濃度可知,該太赫茲波調(diào)制器的Graphnen/MnZn/p-Si結(jié)構(gòu)是一個(gè)CMOS場(chǎng)效應(yīng)晶體管,柵極電壓可控制源端和漏端之間的電流,而MnZn鐵氧體薄膜作為柵極和源端、漏端之間的隔離;本發(fā)明采用具有良好的電磁能量轉(zhuǎn)換與傳輸?shù)腗nZn鐵氧體薄膜作為中間介質(zhì)層材料,得到的太赫茲波調(diào)制器調(diào)制頻率寬、透射率高。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明基于MnZn鐵氧體薄膜的太赫茲波調(diào)制器的結(jié)構(gòu)示意圖;其中,1為石墨烯層,2為錳鋅鐵氧體薄膜,3為P型硅襯底,4為源端,5為漏端,6為柵端;

圖2為實(shí)施例基于MnZn鐵氧體薄膜的太赫茲波調(diào)制器在0.2~1.0Thz頻率下不同柵源電壓(Vsg)的太赫茲透射調(diào)制測(cè)試曲線;

圖3為實(shí)施例基于MnZn鐵氧體薄膜的太赫茲波調(diào)制器中采用200nm、250nm、300nm、350nm、400nm、450nm、500nm厚度的錳鋅鐵氧體薄膜時(shí)的磁性飽和磁化強(qiáng)度Ms(Saturation magnetization)和矯頑力Hc(Coercive force)性能測(cè)試曲線;

圖4為實(shí)施例基于MnZn鐵氧體薄膜的太赫茲波調(diào)制器在100W、120W、140W、160W、180W濺射功率下得到的錳鋅鐵氧體薄膜的XRD圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例,詳述本發(fā)明的技術(shù)方案。

實(shí)施例

如圖1所示,為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種基于MnZn鐵氧體薄膜的太赫茲波調(diào)制器,包括自下而上依次層疊的P型硅襯底(3)、錳鋅鐵氧體薄膜(2)和石墨烯層(1),源端(4),漏端(5)和柵端(6),其中,錳鋅鐵氧體薄膜(2)采用濺射法制備得到。

進(jìn)一步地,所述錳鋅鐵氧體薄膜(2)的厚度為200~500nm。

本發(fā)明還提供了一種基于MnZn鐵氧體薄膜的太赫茲波調(diào)制器的制備方法,包括以下步驟:

步驟1、錳鋅鐵氧體靶材的制備:

1.1使用化學(xué)共沉積法制備氧化物粉末:將Fe(NO3)3、Mn(NO3)3、Zn(NO3)2分別加入去離子水中,攪拌混合均勻,然后加入強(qiáng)堿NaOH,發(fā)生中和反應(yīng)后,形成絮狀金屬氫氧化物沉淀,過濾,在溫度小于500℃下加熱,并且烘干,即可得到納米粒度的Fe2O3粉末、MnO2粉末和ZnO粉末;其中,F(xiàn)e(NO3)3、Mn(NO3)3、Zn(NO3)2的摩爾比為4:1:1;

1.2將步驟1.1得到的納米粒度的Fe2O3粉末、MnO2粉末和ZnO粉末使用球磨機(jī)混合均勻,在1000℃下預(yù)燒2小時(shí),得到預(yù)燒料;

1.3將步驟1.2得到的預(yù)燒料研磨為1.0μm的粉體,并壓制成直徑Φ=70mm、厚度4mm的毛坯靶后,在1250℃溫度下、氧氣氣氛下燒結(jié)3.5h,冷卻后取出,經(jīng)三維收縮和表面光潔度處理,得到直徑Φ=60mm、厚度2mm的錳鋅鐵氧體靶材;其中,氧氣的氣體流量為0.1sccm;

步驟2、錳鋅鐵氧體薄膜的制備:以步驟1得到的錳鋅鐵氧體靶材作為濺射靶材,采用射頻磁控濺射法在P型硅襯底表面沉積厚度為200nm的錳鋅鐵氧體薄膜,然后置于真空環(huán)境中進(jìn)行退火處理,退火溫度為550℃,退火真空度為0.6Pa,退火時(shí)間為1.5h;其中,濺射時(shí)背底真空為1×10-5Pa,濺射氣體為氬氣和氧氣的混合氣體,其中PO2/(PO2+PAr)(混合氣體中氧氣壓與氣體總壓比)為5%,濺射氣壓為0.6Pa,濺射功率為90W,襯底表面溫度為200℃;

步驟3、采用CVD法制備石墨烯:將銅箔放入管式爐中,在30min內(nèi)由室溫升溫至1005℃,保溫1h,整個(gè)過程中通入流量為10sccm的氫氣作為保護(hù)氣體,得到具有催化性質(zhì)的銅,利于對(duì)石墨烯進(jìn)行催化;然后向管式爐內(nèi)通入甲烷和氫氣的混合氣體直至氣體氣壓為300Pa,其中,甲烷的流量為1sccm,氫氣的流量為50sccm,保持6min;打開爐子進(jìn)行降溫,此時(shí)繼續(xù)通入甲烷和氫氣,待溫度降低到200℃時(shí),關(guān)閉氣體,冷卻至室溫后取出,即可在銅箔表面形成石墨烯;

步驟4、將步驟3得到的石墨烯薄膜轉(zhuǎn)移到步驟2形成的錳鋅鐵氧體薄膜上:在步驟3得到的石墨烯表面旋涂聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA),在刻蝕液中刻蝕掉銅后,晾干,然后將PMMA/Graphene(石墨烯)復(fù)合薄膜放入丙酮中,去除PMMA,即可得到石墨烯薄膜;然后將得到的石墨烯薄膜層疊到步驟2形成的錳鋅鐵氧體薄膜上;

步驟5、在石墨烯薄膜上形成源端(4)和漏端(5),在P型Si襯底上形成柵端(6),使P-Si和錳鋅鐵氧體薄膜形成PN結(jié),如圖1所示;得到本發(fā)明所述基于MnZn鐵氧體薄膜的太赫茲波調(diào)制器。

本實(shí)施例中的P型硅襯底(3)為采用硼(B)摻雜的P型Si,其電阻率為4.6~5.2Ω·cm、摻雜濃度為(1.6~2.5)×1015cm-3、摻雜空穴遷移率為1500cm2/v·s;制得的石墨烯薄膜的常溫載流子遷移率為15000cm2/v·s,空穴濃度等于電子濃度,電阻率為10-6Ω·cm;制得的錳鋅鐵氧體薄膜(Mn0.5Zn0.5Fe2O4薄膜)是n-型半導(dǎo)體,電阻率約為1000Ω·cm,載流子濃度6×1012cm-3。

下面結(jié)合附圖詳細(xì)分析實(shí)施例得到的太赫茲波調(diào)制器的性能:

圖1中,4為源端(s),5為漏端(d),6為柵端(g)。當(dāng)在源極和漏極之間加電壓Vsd=1.0V(注意:由于結(jié)構(gòu)對(duì)稱,源極和漏極可以互換),柵極到源極電壓Vgs=0V時(shí),可測(cè)得實(shí)施例太赫茲波調(diào)制器中石墨烯兩端電阻Rds約為2KOhm,電流Ids=85μA,柵源極之間的電流約為0μA。

圖2為實(shí)施例基于MnZn鐵氧體薄膜的太赫茲波調(diào)制器在0.2~1.0Thz頻率下不同柵源電壓(Vsg)的太赫茲透射調(diào)制測(cè)試曲線;由圖2可知,當(dāng)Vsd=1.0V,Vsg=-25V時(shí),可得到在0.8THz頻率下該太赫茲波調(diào)制器的透射率約為86%,且隨著Vsg絕對(duì)值的增加,透射率逐漸增大。圖2顯示本發(fā)明提供的太赫茲波調(diào)制器在0.4THz到0.8THz有較好的透射率,因而具有較好的調(diào)制頻率寬度。且柵源電流約為0μA。

圖3為實(shí)施例基于MnZn鐵氧體薄膜的太赫茲波調(diào)制器中采用200nm、250nm、300nm、350nm、400nm、450nm、500nm厚度的錳鋅鐵氧體薄膜時(shí)的磁性飽和磁化強(qiáng)度Ms(Saturation magnetization)和矯頑力Hc(Coercive force)性能測(cè)試曲線;由圖3可知,隨著錳鋅鐵氧體薄膜厚度的增加,飽和磁化強(qiáng)度先增大,然后逐漸趨于平穩(wěn),矯頑力則隨著錳鋅鐵氧體薄膜厚度的增加而逐漸減小。

圖4為實(shí)施例基于MnZn鐵氧體薄膜的太赫茲波調(diào)制器在100W、120W、140W、160W、180W濺射功率下得到的錳鋅鐵氧體薄膜的XRD圖;由圖4可知,隨著濺射功率的增加,MnZn鐵氧體薄膜尖晶石相峰的強(qiáng)度先增加,當(dāng)濺射功率大于一定數(shù)值時(shí),其強(qiáng)度有所減小。

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