技術(shù)總結(jié)
一種基于MnZn鐵氧體薄膜的太赫茲波調(diào)制器，屬于太赫茲功能器件技術(shù)領(lǐng)域。包括自下而上依次層疊的P型硅襯底3、錳鋅鐵氧體薄膜2和石墨烯層1，源端4，漏端5和柵端6，其中，錳鋅鐵氧體薄膜2采用濺射法制備得到。本發(fā)明太赫茲波調(diào)制器采用具有高飽和磁化強(qiáng)度、低矯頑力的MnZn鐵氧體磁性薄膜作為中間層，具有調(diào)制頻率寬、透射率高等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：廖宇龍;張岱南;王鑫宇;張懷武;楊青慧;文天龍;鐘智勇
受保護(hù)的技術(shù)使用者：電子科技大學(xué)
文檔號(hào)碼：201610896751
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.14
技術(shù)公布日：2017.02.15