1.一種太赫茲連續(xù)波快速精準(zhǔn)掃描系統(tǒng)，其特征是，包括X軸電機(jī)、Y軸電機(jī)、X軸光柵尺及Y軸光柵尺，X軸電機(jī)和Y軸電機(jī)分別通過X軸傳動(dòng)結(jié)構(gòu)和Y軸傳動(dòng)結(jié)構(gòu)帶動(dòng)X軸和Y軸轉(zhuǎn)動(dòng)；驅(qū)動(dòng)所述X軸電機(jī)和Y軸電機(jī)運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)器接收FPGA控制主板的電機(jī)控制模塊發(fā)送的脈沖信號(hào)，該脈沖信號(hào)來自FPGA內(nèi)部鎖相環(huán)輸出的高速倍頻時(shí)鐘；X軸光柵尺通過時(shí)鐘發(fā)生器與所述FPGA控制主板連接，所述FPGA控制主板通過X軸光柵尺及Y軸光柵尺實(shí)現(xiàn)掃描過程中的精確定位；上位機(jī)接收所述FPGA控制主板的數(shù)據(jù)采集模塊采集的數(shù)據(jù)實(shí)現(xiàn)灰度成像。
2.如權(quán)利要求1所述一種太赫茲連續(xù)波快速精準(zhǔn)掃描系統(tǒng)，其特征是，所述X軸光柵尺包括X軸標(biāo)尺光柵和X軸光柵傳感器，X軸標(biāo)尺光柵固定在與X軸平行的支架上，X軸光柵傳感器安裝在X軸傳動(dòng)機(jī)構(gòu)上；
所述Y軸光柵尺包括Y軸標(biāo)尺光柵、Y軸光柵傳感器，Y軸標(biāo)尺光柵固定在與Y軸平行的支架上，Y軸光柵傳感器安裝在Y軸傳動(dòng)機(jī)構(gòu)上。
3.如權(quán)利要求2所述一種太赫茲連續(xù)波快速精準(zhǔn)掃描系統(tǒng)，其特征是，所述FPGA控制主板包括掃描位置模塊，實(shí)時(shí)讀取計(jì)數(shù)X軸光柵傳感器、Y軸光柵傳感器輸出的第一路方波信號(hào)，實(shí)現(xiàn)X軸、Y軸掃描坐標(biāo)精確定位。
4.如權(quán)利要求3所述一種太赫茲連續(xù)波快速精準(zhǔn)掃描系統(tǒng)，其特征是，所述時(shí)鐘發(fā)生器包括依次連接的分路器、延遲模塊、合路器及方波整形器；
所述X軸光柵傳感器輸出的第二路方波信號(hào)與所述時(shí)鐘發(fā)生器相連，時(shí)鐘發(fā)生器輸出間斷的時(shí)鐘信號(hào)作為所述數(shù)據(jù)采集模塊的采集時(shí)鐘。
5.采用權(quán)利要求4所述一種太赫茲連續(xù)波快速精準(zhǔn)掃描系統(tǒng)的掃描方法，其特征是，包括，
步驟(1)：操作人員在上位機(jī)中設(shè)置樣品掃描參數(shù)；
步驟(2)：FPGA控制主板接收到掃描參數(shù)，設(shè)置成功返回上位機(jī)OK，繼續(xù)下一步，設(shè)置錯(cuò)誤返回Err，返回步驟(1)；
步驟(3)：操作人員選擇X軸、Y軸回原點(diǎn)的運(yùn)動(dòng)方向，發(fā)送掃描復(fù)位指令；
步驟(4)：FPGA控制主板接收到掃描復(fù)位指令，控制X軸電機(jī)和Y軸電機(jī)按照設(shè)定方向運(yùn)行，復(fù)位結(jié)束后給上位機(jī)返回OK指令；
步驟(5)：上位機(jī)接收到復(fù)位結(jié)束指令時(shí)，操作者發(fā)送樣品掃描指令；
步驟(6)：FPGA控制主板接收到樣品掃描指令，控制X軸電機(jī)進(jìn)行掃描，該行掃描結(jié)束后，掃描行變量LC加1，發(fā)送上位機(jī)行掃描結(jié)束指令；
步驟(7)：行掃描過程中，每掃過一個(gè)柵距，時(shí)鐘發(fā)生器給數(shù)據(jù)采集模塊提供一次連續(xù)的工作時(shí)鐘，數(shù)據(jù)采集模塊進(jìn)行模擬信號(hào)采集；
步驟(8)：FPGA控制主板緩存數(shù)據(jù)采集模塊采集的數(shù)據(jù)，存儲(chǔ)達(dá)到設(shè)定容量后將數(shù)據(jù)上傳至上位機(jī)；
步驟(9)：上位機(jī)接收數(shù)據(jù)，繪制灰度圖像；
步驟(10)：行掃描結(jié)束后，F(xiàn)PGA控制主板控制Y軸電機(jī)進(jìn)行列掃描，重復(fù)步驟(6)至步驟(10)，當(dāng)樣品全部掃描結(jié)束時(shí)，結(jié)束循環(huán)，發(fā)送上位機(jī)掃描結(jié)束指令。
6.如權(quán)利要求4所述的掃描方法，其特征是，所述步驟(4)的具體過程包括：
步驟(4.1)：FPGA控制主板中電機(jī)控制模塊發(fā)送脈沖信號(hào)、方向信號(hào)及使能信號(hào)給驅(qū)動(dòng)器，驅(qū)動(dòng)X軸電機(jī)和Y軸電機(jī)按照設(shè)定方向運(yùn)動(dòng)；
步驟(4.2)：X軸電機(jī)和Y軸電機(jī)帶動(dòng)X軸光柵傳感器、Y軸光柵傳感器沿著X軸標(biāo)尺光柵、Y軸標(biāo)尺光柵一起運(yùn)動(dòng)；
步驟(4.3)：FPGA控制主板中掃描位置模塊實(shí)時(shí)接收和判斷X軸光柵傳感器、Y軸光柵傳感器輸出的中心點(diǎn)脈沖信號(hào)；
步驟(4.4)：當(dāng)X軸光柵傳感器輸出的中心點(diǎn)脈沖信號(hào)為高電平時(shí)，到達(dá)X軸標(biāo)尺光柵中心點(diǎn)，X軸電機(jī)停止運(yùn)行；當(dāng)Y軸光柵傳感器輸出的中心點(diǎn)脈沖信號(hào)為高電平時(shí)，到達(dá)Y軸標(biāo)尺光柵中心點(diǎn)，Y軸電機(jī)停止運(yùn)行；
步驟(4.5)：X軸電機(jī)、Y軸電機(jī)停止運(yùn)動(dòng)后，發(fā)送上位機(jī)掃描復(fù)位結(jié)束指令。
7.如權(quán)利要求4所述的掃描方法，其特征是，所述步驟(6)的具體過程包括：
步驟(6.1)：定義變量并初始化，掃描行位置脈沖數(shù)：XC、掃描列位置脈沖數(shù)：YC、掃描行數(shù)：LC、掃描列數(shù)CC，并將上述變量初始化為零；
步驟(6.2)：當(dāng)掃描行數(shù)LC％2＝＝0時(shí)，X軸電機(jī)向左運(yùn)動(dòng)，當(dāng)LC％2＝＝1時(shí)，X軸電機(jī)向右運(yùn)動(dòng)，電機(jī)控制模塊連續(xù)發(fā)送脈沖信號(hào)給驅(qū)動(dòng)器，X軸電機(jī)帶動(dòng)樣品進(jìn)行行掃描；
步驟(6.3)：掃描位置模塊實(shí)時(shí)接收X軸光柵傳感器輸出的第一路方波信號(hào)，每接收一個(gè)方波信號(hào)，XC的數(shù)值加1；
步驟(6.4)：當(dāng)XC＝＝1000*l/n時(shí)，n為光柵尺最小分辨率，當(dāng)前行描述結(jié)束，X軸電機(jī)停止運(yùn)動(dòng)，XC數(shù)值清零，LC加1；
步驟(6.5)：FPGA控制主板發(fā)送上位機(jī)行掃描結(jié)束指令。
8.如權(quán)利要求4所述的掃描方法，其特征是，所述步驟(7)的具體過程包括：
步驟(7.1)：行掃描過程中，X軸電機(jī)帶動(dòng)X軸光柵傳感器沿著X軸標(biāo)尺光柵運(yùn)動(dòng)，當(dāng)走過的光柵位移達(dá)到一個(gè)柵距時(shí)，X軸光柵傳感器輸出兩路正交的方波信號(hào)；
步驟(7.2)：時(shí)鐘發(fā)生器接收X軸光柵傳感器輸出的第二路方波信號(hào)，并將該路信號(hào)分成9路，連接到9個(gè)延遲模塊；
步驟(7.3)：每個(gè)延遲模塊檢測(cè)到輸入方波信號(hào)的上升沿時(shí)，經(jīng)過預(yù)先設(shè)定的延遲時(shí)間后依次輸出9個(gè)高電平寬度為50ns的脈沖信號(hào)；
步驟(7.4)：9個(gè)延遲模塊輸出的脈沖信號(hào)連接到合路器，將9路脈沖信號(hào)合成為1路脈沖信號(hào)；
步驟(7.5)：合路器輸出的1路脈沖信號(hào)連接到方波整形器，使脈沖信號(hào)的邊沿更加陡峭，降低信號(hào)的抖動(dòng)；
步驟(7.6)：方波整形器輸出的脈沖信號(hào)作為時(shí)鐘信號(hào)，連接到數(shù)據(jù)采集模塊上；
步驟(7.7)：采集模塊檢測(cè)到時(shí)鐘上升沿時(shí)，進(jìn)行模擬量信號(hào)采集。
9.如權(quán)利要求4所述的掃描方法，其特征是，所述步驟(9)中的具體過程包括：
步驟(9.1)：上位機(jī)定義二維數(shù)據(jù)矩陣D[L1][L2]，其中，L1＝l/d，L2＝h/d，l為樣品長(zhǎng)度，h為樣品寬度、d為掃描成像最小分辨率；
步驟(9.2)：將FPGA控制主板上傳數(shù)據(jù)依據(jù)上傳行數(shù)及采樣點(diǎn)電壓數(shù)值的順序依次存入矩陣D中；
步驟(9.3)：將每行采樣點(diǎn)電壓數(shù)值轉(zhuǎn)換為灰度值，灰度G計(jì)算公式：
G＝(V-Vmin)/(Vmax-Vmin)*255；
其中，V為當(dāng)前采樣點(diǎn)電壓值，Vmin為二維數(shù)據(jù)矩陣D中所有采樣點(diǎn)的最小電壓值，Vmax為二維數(shù)據(jù)矩陣D中所有采樣點(diǎn)的最大電壓值；
步驟(9.4)：繪制灰度圖像。
10.如權(quán)利要求4所述的掃描方法，其特征是，所述步驟(10)的具體過程包括：
步驟(10.1)：電機(jī)控制模塊驅(qū)動(dòng)Y軸電機(jī)帶動(dòng)樣品向下運(yùn)動(dòng)；
步驟(10.2)：掃描位置模塊實(shí)時(shí)接收Y軸光柵傳感器輸出的第一路方波信號(hào)，每接收一個(gè)方波信號(hào)，掃描列位置脈沖數(shù)YC的數(shù)值加1；
步驟(10.3)：當(dāng)YC＝＝1000*d/n時(shí)，d為掃描成像最小分辨率，n為光柵尺最小分辨率，Y軸電機(jī)停止運(yùn)動(dòng)，掃描列數(shù)CC加1；
步驟(10.4)：重復(fù)步驟(10.1)至步驟(10.3)，當(dāng)YC>1000*h/n時(shí)，h為樣品寬度，樣品掃描全部結(jié)束，X軸電機(jī)和Y軸電機(jī)停止運(yùn)動(dòng)，F(xiàn)PGA控制主板發(fā)送上位機(jī)掃描結(jié)束指令。