技術(shù)特征:
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種太赫茲顯微成像檢測儀,包括平板以及長方體拋物面鏡,所述的平板上依次設(shè)置有位于入射光路上的入射拋物面鏡組、反射平面鏡組和透射拋物面鏡組以及位于反射光路上的聚波平面鏡組、出射平面鏡組和出射拋物面鏡,所述的入射拋物面鏡組上設(shè)置有拋物面鏡,所述的透射拋物面鏡組上設(shè)置有透射拋物面鏡,所述的長方體拋物面鏡前方設(shè)置有金屬納米探針;本發(fā)明采用雙直線導(dǎo)軌移動橢圓形平面鏡,實現(xiàn)兩種測量方式迅速切換,太赫茲波均可匯聚到針尖和樣品之間,從而實現(xiàn)兩種測量方式的組合,以此保證了太赫茲反射式近場顯微成像、太赫茲透射式近場顯微成像的測量精度,解決了不同樣品情況下不同測量方式的組合問題。
技術(shù)研發(fā)人員:郭劼;郭良賢;袁英豪;姚遠(yuǎn);熊波濤;周正;李淵;李超;陳師雄;李長庚
受保護(hù)的技術(shù)使用者:湖北久之洋紅外系統(tǒng)股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.03.31
技術(shù)公布日:2017.08.29