技術(shù)編號(hào)：11431180
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉屬于精密儀器技術(shù)領(lǐng)域,是一種太赫茲波經(jīng)過(guò)橢圓平面鏡組移動(dòng)切換形成反射和透射兩種組合測(cè)量方式的裝置。背景技術(shù)受衍射極限的限制，傳統(tǒng)太赫茲成像的分辨率僅在亞毫米量級(jí)，難以滿足半導(dǎo)體材料、生物細(xì)胞檢測(cè)等領(lǐng)域?qū)μ掌澇上穹直媛实母咭?。為了突破衍射極限，獲得更高的分辨率，必須采用太赫茲近場(chǎng)顯微成像技術(shù)。最早報(bào)道的太赫茲近場(chǎng)顯微成像方案基于物理孔徑方法，由貝爾實(shí)驗(yàn)室于1998年提出，發(fā)展至今，最佳分辨率達(dá)到3μm。針對(duì)截止效應(yīng)及孔徑透過(guò)率低等缺陷，美國(guó)倫斯勒理工學(xué)院于2000年首創(chuàng)動(dòng)態(tài)孔徑法，獲...
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