技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種離子源測(cè)試夾具，該夾具包括金屬底座，放置于金屬底座卡槽內(nèi)的金屬單尖樣品，通過(guò)螺釘固定在金屬底座上的絕緣層壓塊，通過(guò)螺柱和螺母固定在金屬底座上的絕緣遮蔽層，通過(guò)螺釘固定在絕緣遮蔽層上的柵極金屬片。該夾具通過(guò)螺柱和對(duì)稱分布的L型壓塊控制柵極金屬片和絕緣遮蔽層的相對(duì)位置，使得絕緣遮蔽層的位置在水平和豎直方向可調(diào)，金屬單尖樣品的尖端剛好位于柵極金屬片的圓孔中心。本發(fā)明的離子源測(cè)試夾具通過(guò)在陰柵電極之間施加高電壓以實(shí)現(xiàn)離子發(fā)射，同時(shí)具有陰柵電極之間相對(duì)位置三維可調(diào)，并抑制柵極電子發(fā)射的功能。

技術(shù)研發(fā)人員：嚴(yán)飛;陳磊;金大志;張國(guó)亮;鐘偉;顏勝美
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國(guó)工程物理研究院電子工程研究所
文檔號(hào)碼：201710204368
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.31
技術(shù)公布日：2017.06.13