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一種光學(xué)相干層析變形場(chǎng)降噪方法與流程

文檔序號(hào):12783377閱讀:233來源:國(guó)知局
一種光學(xué)相干層析變形場(chǎng)降噪方法與流程

本發(fā)明涉及光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種光學(xué)相干層析變形場(chǎng)降噪方法。



背景技術(shù):

光學(xué)相干層析(OCT)是一種利用低相干光干涉原理的層析測(cè)量技術(shù),它具有測(cè)量速度快和無損檢測(cè)等優(yōu)點(diǎn),可以實(shí)現(xiàn)材料內(nèi)部微米級(jí)輪廓的精確測(cè)量。在結(jié)合了光譜儀結(jié)構(gòu)后發(fā)展出的譜域光學(xué)相干層析技術(shù)(SOCT),進(jìn)一步提高了該方法的測(cè)量速度與信噪比。近年來,以SOCT技術(shù)為基礎(chǔ)又發(fā)展出了一系列新的功能型OCT方法,例如測(cè)量材料內(nèi)部雙折射特性的偏振敏感SOCT,測(cè)量材料內(nèi)部流速場(chǎng)的多普勒SOCT,以及測(cè)量材料內(nèi)部變形場(chǎng)的相位對(duì)照SOCT等,并被廣泛應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué)和先進(jìn)材料等多項(xiàng)領(lǐng)域的研究與檢測(cè)當(dāng)中。其中,相位對(duì)照SOCT是一種利用干涉光譜相位敏感特性的SOCT方法,可以實(shí)現(xiàn)材料內(nèi)部變形場(chǎng)的納米級(jí)層析測(cè)量,被先后應(yīng)用于眼角膜,高聚物等材料在不同載荷下的微變形場(chǎng)動(dòng)態(tài)檢測(cè)當(dāng)中。

然而,相位對(duì)照SOCT方法是基于對(duì)干涉信號(hào)進(jìn)行測(cè)量的技術(shù),不可避免地會(huì)受到散斑噪聲的影響。同時(shí),材料內(nèi)部散射信號(hào)很弱,且隨著深度的增加不斷減弱。這些都導(dǎo)致了測(cè)量結(jié)果的信噪比低,往往需要人為的參與,才能辨識(shí)出噪聲污染下被測(cè)樣件的截面輪廓,以及內(nèi)部變形場(chǎng)細(xì)節(jié)上的變化趨勢(shì)。

亟待解決上述問題,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)測(cè)量結(jié)果的降噪,使截面輪廓更加清晰,變形場(chǎng)分布更加細(xì)致。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明提供一種光學(xué)相干層析變形場(chǎng)降噪方法,在相位對(duì)照譜域光學(xué)相干層析技術(shù)的基礎(chǔ)上結(jié)合了模糊邏輯的方法,通過對(duì)測(cè)量結(jié)果提取特征參數(shù),并進(jìn)行模糊邏輯推理和判斷,對(duì)樣件的截面輪廓以及樣件內(nèi)部的變形場(chǎng)進(jìn)行降噪,使截面輪廓更加清晰,變形場(chǎng)分布更加細(xì)致。

一種光學(xué)相干層析變形場(chǎng)降噪方法包括:

計(jì)算干涉光譜的原始幅值A(chǔ)m(y,z)和原始相位差Δφm(y,z);

根據(jù)干涉光譜的原始幅值A(chǔ)m(y,z)和原始相位差Δφm(y,z)計(jì)算特征參數(shù)C1、C2、C3和C4,其中C1為附近區(qū)域的幅值之和、C2為單一方向的幅值之和、C3為相鄰區(qū)域內(nèi)相位差的連續(xù)程度、C4為相鄰區(qū)域內(nèi)相位差擬合的誤差;

對(duì)特征參數(shù)C1、C2、C3和C4進(jìn)行模糊化處理得到模糊化特征參數(shù)Cn1、Cn2、Cn3和Cn4

對(duì)模糊化特征參數(shù)進(jìn)行判斷,輸出O1和O2,其中O1為該點(diǎn)是樣件內(nèi)部一點(diǎn)的可能性,O2為該點(diǎn)是噪聲點(diǎn)的可能性;

計(jì)算降噪后的輸出幅值A(chǔ)e(y,z)和輸出相位差Δφe(y,z);

根據(jù)輸出幅值A(chǔ)e(y,z)和輸出相位差Δφe(y,z)解調(diào)出降噪后的變形場(chǎng)。

優(yōu)選的,

步驟計(jì)算干涉光譜的原始幅值A(chǔ)m(y,z)和原始相位差Δφm(y,z)包括:

將成像在CCD相機(jī)上的干涉光譜用光強(qiáng)表示為

其中,k表示波數(shù),I0表示直流分量,IR表示參考面,Ii表示被測(cè)樣件的反射光強(qiáng),M表示被測(cè)樣件的表面?zhèn)€數(shù),φi表示干涉光強(qiáng)的相位,φi=φi0+2kz,φi0表示初始相位;

將光強(qiáng)信號(hào)沿波數(shù)k軸進(jìn)行傅里葉變換得到原始幅值A(chǔ)m(y,z)和原始相位差Δφm(y,z);

通過公式計(jì)算被測(cè)樣件變形前后的位移,其中深度方向的坐標(biāo)z=π·fk。

優(yōu)選的,

步驟根據(jù)干涉光譜的原始幅值A(chǔ)m(y,z)和原始相位差Δφm(y,z)計(jì)算特征參數(shù)C1、C2、C3和C4包括:

選取以(y,z)為中心的一個(gè)區(qū)域?yàn)樘卣鲄?shù)C1的取值范圍;

通過公式計(jì)算C1。

優(yōu)選的,

步驟根據(jù)干涉光譜的原始幅值A(chǔ)m(y,z)和原始相位差Δφm(y,z)計(jì)算特征參數(shù)C1、C2、C3和C4包括:

以(y,z)為中心分別沿y方向、z方向和yz軸之間45度夾角方向?yàn)樘卣鲄?shù)C2取值;

通過公式

計(jì)算C2。

優(yōu)選的,

步驟根據(jù)干涉光譜的原始幅值A(chǔ)m(y,z)和原始相位差Δφm(y,z)計(jì)算特征參數(shù)C1、C2、C3和C4包括:

選取以(y,z)為中心的一個(gè)區(qū)域?yàn)樘卣鲄?shù)C3的取值范圍;

對(duì)區(qū)域內(nèi)的相位差進(jìn)行三階曲面擬合得到Δφf(y,z);

通過公式C3(y,z)=|Δφm(y,z)-Δφf(y,z)|計(jì)算C3。

優(yōu)選的,

步驟根據(jù)干涉光譜的原始幅值A(chǔ)m(y,z)和原始相位差Δφm(y,z)計(jì)算特征參數(shù)C1、C2、C3和C4包括:

選取以(y,z)為中心的一個(gè)區(qū)域?yàn)樘卣鲄?shù)C4的取值范圍;

對(duì)區(qū)域內(nèi)的相位進(jìn)行三階曲面擬合;

通過公式計(jì)算C4。

優(yōu)選的,

步驟對(duì)特征參數(shù)C1、C2、C3和C4進(jìn)行模糊化處理得到模糊化特征參數(shù)Cn1、Cn2、Cn3和Cn4包括:

通過公式分別計(jì)算得到模糊化特征參數(shù)Cn1、Cn2、Cn3和Cn4,其中,Cmax表示相應(yīng)特征參數(shù)的最大值,Cmin表示相應(yīng)特征參數(shù)的最小值;

選取3個(gè)模糊狀態(tài),分別標(biāo)記為B、M和S;

繪制模糊集隸屬度函數(shù)。

優(yōu)選的,

步驟對(duì)模糊化特征參數(shù)進(jìn)行判斷,并輸出O1和O2包括:

參照模糊集隸屬度函數(shù)進(jìn)行判斷;

若滿足條件1,則輸出O1是B;

否則,輸出O1是S;

條件1為參數(shù)C1是B、參數(shù)C2是B、參數(shù)C4是S、參數(shù)C1與C4均是M和參數(shù)C2與C4均是M中的任意一種。

優(yōu)選的,

步驟對(duì)模糊化特征參數(shù)進(jìn)行判斷,并輸出O1和O2還包括:

若滿足條件2,則輸出O2是B;

否則,輸出O2是S;

條件2為參數(shù)C1是S、參數(shù)C2是S、參數(shù)C3是B、參數(shù)C4是B和參數(shù)C4是S且參數(shù)C3是M中的任意一種。

優(yōu)選的,

步驟所述計(jì)算降噪后的輸出幅值A(chǔ)e(y,z)和輸出相位差Δφe(y,z)包括:

通過公式

計(jì)算降噪后的幅值A(chǔ)e(y,z)和相位差Δφe(y,z)。

從以上技術(shù)方案可以看出,本發(fā)明實(shí)施例具有以下優(yōu)點(diǎn):

本發(fā)明的光學(xué)相干層析變形場(chǎng)降噪方法,首先,計(jì)算出干涉光譜的原始幅值A(chǔ)m(y,z)和原始相位差Δφm(y,z)。其次,根據(jù)原始幅值A(chǔ)m(y,z)和原始相位差Δφm(y,z)計(jì)算提取特征參數(shù)C1、C2、C3和C4,其中,C1為附近區(qū)域的幅值之和,即選取一個(gè)區(qū)域?qū)ζ鋬?nèi)部的幅值求和;C2為單一方向的幅值之和,即選取幾個(gè)方向分別求和,取其中的最大值后再減去中心點(diǎn)自身的幅值;C3為相鄰區(qū)域內(nèi)相位差的連續(xù)程度,即以(y,z)為中心取一個(gè)區(qū)域,對(duì)區(qū)域內(nèi)的相位差進(jìn)行三階曲面擬合,再取擬合后中心點(diǎn)的相位差與原始相位差之間差的絕對(duì)值;C4為相鄰區(qū)域內(nèi)相位差擬合的誤差,即以(y,z)為中心選取一個(gè)區(qū)域,先對(duì)區(qū)域內(nèi)的相位進(jìn)行三階曲面擬合,再用擬合后的相位差分別與原始相位差作差并求和。再次,對(duì)求得的特征參數(shù)C1、C2、C3和C4進(jìn)行模糊化處理得到模糊化特征參數(shù)Cn1、Cn2、Cn3和Cn4,并對(duì)模糊化特征參數(shù)進(jìn)行判斷,輸出O1和O2,其中O1為該點(diǎn)是樣件內(nèi)部一點(diǎn)的可能性,O2為該點(diǎn)是噪聲點(diǎn)的可能性。最后計(jì)算降噪后的幅值A(chǔ)e(y,z)和相位差Δφe(y,z),根據(jù)輸出幅值A(chǔ)e(y,z)和輸出相位差Δφe(y,z)解調(diào)出降噪后的變形場(chǎng),實(shí)現(xiàn)對(duì)樣件的截面輪廓以及樣件內(nèi)部的變形場(chǎng)進(jìn)行降噪,使截面輪廓更加清晰,變形場(chǎng)分布更加細(xì)致。

附圖說明

圖1為本發(fā)明中一種光學(xué)相干層析變形場(chǎng)降噪方法實(shí)施例的流程圖;

圖2為本發(fā)明中一種光學(xué)相干層析變形場(chǎng)降噪方法實(shí)施例中模糊集隸屬度函數(shù)圖;

圖3為本發(fā)明中一種光學(xué)相干層析變形場(chǎng)降噪方法實(shí)施例中含有散斑噪聲截面輪廓y-z平面的幅值分布圖;

圖4為圖3中y=1mm處幅值隨深度變化的曲線圖;

圖5為本發(fā)明中一種光學(xué)相干層析變形場(chǎng)降噪方法實(shí)施例中經(jīng)過本方法降噪后截面輪廓y-z平面的幅值分布圖;

圖6為圖5中y=1mm處幅值隨深度變化的曲線圖;

圖7為降噪處理之前樣件內(nèi)部的相位差分布圖;

圖8為使用本方法處理后樣件內(nèi)部的相位差分布圖。

具體實(shí)施方式

本發(fā)明提供一種光學(xué)相干層析變形場(chǎng)降噪方法,在相位對(duì)照譜域光學(xué)相干層析技術(shù)的基礎(chǔ)上結(jié)合了模糊邏輯的方法,通過對(duì)測(cè)量結(jié)果提取特征參數(shù),并進(jìn)行模糊邏輯推理和判斷,對(duì)樣件的截面輪廓以及樣件內(nèi)部的變形場(chǎng)進(jìn)行降噪,使截面輪廓更加清晰,變形場(chǎng)分布更加細(xì)致。

本發(fā)明的一種光學(xué)相干層析變形場(chǎng)降噪方法實(shí)施例包括:

101、計(jì)算干涉光譜的原始幅值A(chǔ)m(y,z)和原始相位差Δφm(y,z);

102、根據(jù)干涉光譜的原始幅值A(chǔ)m(y,z)和原始相位差Δφm(y,z)計(jì)算特征參數(shù)C1、C2、C3和C4,其中C1為附近區(qū)域的幅值之和、C2為單一方向的幅值之和、C3為相鄰區(qū)域內(nèi)相位差的連續(xù)程度、C4為相鄰區(qū)域內(nèi)相位差擬合的誤差;

103、對(duì)特征參數(shù)C1、C2、C3和C4進(jìn)行模糊化處理得到模糊化特征參數(shù)Cn1、Cn2、Cn3和Cn4

104、對(duì)模糊化特征參數(shù)進(jìn)行判斷,輸出O1和O2,其中O1為該點(diǎn)是樣件內(nèi)部一點(diǎn)的可能性,O2為該點(diǎn)是噪聲點(diǎn)的可能性;

105、計(jì)算降噪后的輸出幅值A(chǔ)e(y,z)和輸出相位差Δφe(y,z);

106、根據(jù)輸出幅值A(chǔ)e(y,z)和輸出相位差Δφe(y,z)解調(diào)出降噪后的變形場(chǎng)。

本實(shí)施例中,首先,計(jì)算出干涉光譜的原始幅值A(chǔ)m(y,z)和原始相位差Δφm(y,z)。其次,根據(jù)原始幅值A(chǔ)m(y,z)和原始相位差Δφm(y,z)計(jì)算提取特征參數(shù)C1、C2、C3和C4,其中,C1為附近區(qū)域的幅值之和,即選取一個(gè)區(qū)域?qū)ζ鋬?nèi)部的幅值求和;C2為單一方向的幅值之和,即選取幾個(gè)方向分別求和,取其中的最大值后再減去中心點(diǎn)自身的幅值;C3為相鄰區(qū)域內(nèi)相位差的連續(xù)程度,即以(y,z)為中心取一個(gè)區(qū)域,對(duì)區(qū)域內(nèi)的相位差進(jìn)行三階曲面擬合,再取擬合后中心點(diǎn)的相位差與原始相位差之間差的絕對(duì)值;C4為相鄰區(qū)域內(nèi)相位差擬合的誤差,即以(y,z)為中心選取一個(gè)區(qū)域,先對(duì)區(qū)域內(nèi)的相位進(jìn)行三階曲面擬合,再用擬合后的相位差分別與原始相位差作差并求和。再次,對(duì)求得的特征參數(shù)C1、C2、C3和C4進(jìn)行模糊化處理得到模糊化特征參數(shù)Cn1、Cn2、Cn3和Cn4,并對(duì)模糊化特征參數(shù)進(jìn)行判斷,輸出O1和O2,其中O1為該點(diǎn)是樣件內(nèi)部一點(diǎn)的可能性,O2為該點(diǎn)是噪聲點(diǎn)的可能性。最后計(jì)算降噪后的幅值A(chǔ)e(y,z)和相位差Δφe(y,z),根據(jù)輸出幅值A(chǔ)e(y,z)和輸出相位差Δφe(y,z)解調(diào)出降噪后的變形場(chǎng),參照如公式實(shí)現(xiàn)對(duì)樣件的截面輪廓以及樣件內(nèi)部的變形場(chǎng)進(jìn)行降噪,使截面輪廓更加清晰,變形場(chǎng)分布更加細(xì)致。

下面對(duì)本發(fā)明的一種光學(xué)相干層析變形場(chǎng)降噪方法實(shí)施例做進(jìn)一步說明,步驟101、計(jì)算干涉光譜的原始幅值A(chǔ)m(y,z)和原始相位差Δφm(y,z)包括:

將成像在CCD相機(jī)上的干涉光譜用光強(qiáng)表示為

其中,k表示波數(shù),I0表示直流分量,IR表示參考面,Ii表示被測(cè)樣件的反射光強(qiáng),M表示被測(cè)樣件的表面?zhèn)€數(shù),φi表示干涉光強(qiáng)的相位,φi=φi0+2kz,φi0表示初始相位;

將光強(qiáng)信號(hào)沿波數(shù)k軸進(jìn)行傅里葉變換得到原始幅值A(chǔ)m(y,z)和原始相位差Δφm(y,z);

通過公式計(jì)算被測(cè)樣件變形前后的位移,其中深度方向的坐標(biāo)z=π·fk

本實(shí)施例中,在不考慮材料自身相互干涉產(chǎn)生干涉信號(hào)的前提下,將干涉光譜用光強(qiáng)表示為再將光強(qiáng)信號(hào)沿波數(shù)k軸進(jìn)行傅里葉變換得到原始幅值A(chǔ)m(y,z)和原始相位差Δφm(y,z),其中,傅里葉變換后得到的幅值A(chǔ)(y,z)能夠描述y-z平面上被測(cè)樣件內(nèi)部的截面輪廓結(jié)構(gòu),而被測(cè)樣件變形前后的位移可以用相位差Δφ表示,從而為后續(xù)計(jì)算提取特征參數(shù)做準(zhǔn)備。變形場(chǎng)與相位差之間是線性關(guān)系,通過公式計(jì)算,因此后面對(duì)相位差的去噪即是對(duì)變形場(chǎng)的去噪。

下面對(duì)本發(fā)明的一種光學(xué)相干層析變形場(chǎng)降噪方法實(shí)施例做進(jìn)一步說明,步驟根據(jù)干涉光譜的原始幅值A(chǔ)m(y,z)和原始相位差Δφm(y,z)計(jì)算特征參數(shù)C1、C2、C3和C4包括:

選取以(y,z)為中心的一個(gè)區(qū)域?yàn)樘卣鲄?shù)C1的取值范圍;

通過公式計(jì)算C1。

本實(shí)施例中,選取適當(dāng)?shù)奶卣鲄^(qū)域,如以(y,z)為中心取5×5的一個(gè)區(qū)域,取n=2,則有即對(duì)其內(nèi)部的幅值求和,計(jì)算得出特征參數(shù)C1的取值。

下面對(duì)本發(fā)明的一種光學(xué)相干層析變形場(chǎng)降噪方法實(shí)施例做進(jìn)一步說明,步驟根據(jù)干涉光譜的原始幅值A(chǔ)m(y,z)和原始相位差Δφm(y,z)計(jì)算特征參數(shù)C1、C2、C3和C4包括:

以(y,z)為中心分別沿y方向、z方向和yz軸之間45度夾角方向?yàn)樘卣鲄?shù)C2取值;

通過公式

計(jì)算C2

本實(shí)施例中,以(y,z)為中心沿y方向,z方向,yz軸之間45度夾角的方向分別求和,取其中的最大值后再減去中心點(diǎn)自身的幅值,從而計(jì)算出特征參數(shù)C2。

下面對(duì)本發(fā)明的一種光學(xué)相干層析變形場(chǎng)降噪方法實(shí)施例做進(jìn)一步說明,步驟根據(jù)干涉光譜的原始幅值A(chǔ)m(y,z)和原始相位差Δφm(y,z)計(jì)算特征參數(shù)C1、C2、C3和C4包括:

選取以(y,z)為中心的一個(gè)區(qū)域?yàn)樘卣鲄?shù)C3的取值范圍;

對(duì)區(qū)域內(nèi)的相位差進(jìn)行三階曲面擬合得到Δφf(y,z);

通過公式C3(y,z)=|Δφm(y,z)-Δφf(y,z)|計(jì)算C3

本實(shí)施例中,以(y,z)為中心取7×7的一個(gè)區(qū)域?yàn)槔?,?duì)區(qū)域內(nèi)的相位差進(jìn)行三階曲面擬合,再取擬合后中心點(diǎn)的相位差與原始相位差之間的差值,再求絕對(duì)值,從而求得特征參數(shù)C3

下面對(duì)本發(fā)明的一種光學(xué)相干層析變形場(chǎng)降噪方法實(shí)施例做進(jìn)一步說明,步驟根據(jù)干涉光譜的原始幅值A(chǔ)m(y,z)和原始相位差Δφm(y,z)計(jì)算特征參數(shù)C1、C2、C3和C4包括:

選取以(y,z)為中心的一個(gè)區(qū)域?yàn)樘卣鲄?shù)C4的取值范圍;

對(duì)區(qū)域內(nèi)的相位進(jìn)行三階曲面擬合;

通過公式計(jì)算C4

本實(shí)施例中,如以(y,z)為中心取7×7的一個(gè)區(qū)域,上式中取a=3,則有即首先對(duì)區(qū)域內(nèi)的相位進(jìn)行三階曲面擬合,再用擬合后的相位差分別與原始相位差作差并求和,從而計(jì)算特征參數(shù)C4

下面對(duì)本發(fā)明的一種光學(xué)相干層析變形場(chǎng)降噪方法實(shí)施例做進(jìn)一步說明,步驟對(duì)特征參數(shù)C1、C2、C3和C4進(jìn)行模糊化處理得到模糊化特征參數(shù)Cn1、Cn2、Cn3和Cn4包括:

通過公式分別計(jì)算得到模糊化特征參數(shù)Cn1、Cn2、Cn3和Cn4,其中,Cmax表示相應(yīng)特征參數(shù)的最大值,Cmin表示相應(yīng)特征參數(shù)的最小值;

選取3個(gè)模糊狀態(tài),分別標(biāo)記為B、M和S;

繪制模糊集隸屬度函數(shù)。

本實(shí)施例中,參考圖2,橫坐標(biāo)為特征參數(shù),縱坐標(biāo)為隸屬度。隸屬度函數(shù)是模糊控制的應(yīng)用基礎(chǔ),是否正確地構(gòu)造隸屬度函數(shù)是能否用好模糊控制的關(guān)鍵之一。隸屬度函數(shù)的確定過程,本質(zhì)上說應(yīng)該是客觀的,但每個(gè)人對(duì)于同一個(gè)模糊概念的認(rèn)識(shí)理解又有差異,因此,隸屬度函數(shù)的確定又帶有主觀性。用3個(gè)模糊狀態(tài)B、M和S,繪制模糊集隸屬度函數(shù),B表示大、M表示中和S表示小。本發(fā)明以如下函數(shù)為例:

繪制隸屬度函數(shù)。

下面對(duì)本發(fā)明的一種光學(xué)相干層析變形場(chǎng)降噪方法實(shí)施例做進(jìn)一步說明,步驟對(duì)模糊化特征參數(shù)進(jìn)行判斷,并輸出O1和O2包括:

參照模糊集隸屬度函數(shù)進(jìn)行判斷;

若滿足條件1,則輸出O1是B;

否則,輸出O1是S;

條件1為參數(shù)C1是B、參數(shù)C2是B、參數(shù)C4是S、參數(shù)C1與C4均是M和參數(shù)C2與C4均是M中的任意一種。

本實(shí)施例中,參照模糊集隸屬度函數(shù)進(jìn)行判斷,關(guān)于輸出O1的規(guī)則包括:如果參數(shù)C1是B,則輸出O1是B;如果參數(shù)C2是B,則輸出O1是B;如果參數(shù)C4是S,則輸出O1是B;如果參數(shù)C1是M,且參數(shù)C4是M,則輸出O1是B;如果參數(shù)C2是M,且參數(shù)C4是M,則輸出O1是B;若不滿足上述任一規(guī)則,則輸出O1是S。

下面對(duì)本發(fā)明的一種光學(xué)相干層析變形場(chǎng)降噪方法實(shí)施例做進(jìn)一步說明,步驟對(duì)模糊化特征參數(shù)進(jìn)行判斷,并輸出O1和O2包括:

若滿足條件2,則輸出O2是B;

否則,輸出O2是S;

條件2為參數(shù)C1是S、參數(shù)C2是S、參數(shù)C3是B、參數(shù)C4是和參數(shù)C4是S且參數(shù)C3是M中的任意一種。

本實(shí)施例中,參照模糊集隸屬度函數(shù)進(jìn)行判斷,關(guān)于輸出O2的規(guī)則包括:如果參數(shù)C1是S,則輸出O2是B;如果參數(shù)C2是S,則輸出O2是B;如果參數(shù)C3是B,則輸出O2是B;如果參數(shù)C4是B,則輸出O2是B;如果參數(shù)C4是S,且參數(shù)C3是M,則輸出O2是B;若不滿足上述任一規(guī)則,則輸出O2是S。

下面對(duì)本發(fā)明的一種光學(xué)相干層析變形場(chǎng)降噪方法實(shí)施例做進(jìn)一步說明,步驟所述計(jì)算降噪后的輸出幅值A(chǔ)e(y,z)和輸出相位差Δφe(y,z)包括:

通過公式

計(jì)算降噪后的幅值A(chǔ)e(y,z)和相位差Δφe(y,z)。

本實(shí)施例中,根據(jù)前述對(duì)O1和O2的范圍的判斷,計(jì)算降噪后的輸出幅值A(chǔ)e(y,z)和輸出相位差Δφe(y,z),從而對(duì)樣件的截面輪廓以及樣件內(nèi)部的變形場(chǎng)進(jìn)行降噪,使截面輪廓更加清晰,變形場(chǎng)分布更加細(xì)致。降噪前后的截面輪廓幅值可參閱圖3-圖6,相位差分布情況可參閱圖7-圖8,改圖顯示的是測(cè)量材料內(nèi)部的一個(gè)截面,為三維空間中的y-z平面。

所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員可以清楚地了解到,為描述的方便和簡(jiǎn)潔,上述描述的裝置的具體工作過程,可以參考前述方法實(shí)施例中的對(duì)應(yīng)過程,在此不再贅述。在本申請(qǐng)所提供的幾個(gè)實(shí)施例中,應(yīng)該理解到,所揭露的裝置可以通過其它的方式實(shí)現(xiàn)。

以上實(shí)施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案,而非對(duì)其限制;盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說明,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改,或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換;而這些修改或者替換,并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。

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