技術(shù)總結(jié)
基于金屬銀增強熒光的自由曲面測量裝置及其測量方法，屬于光學(xué)精密測量技術(shù)領(lǐng)域，本發(fā)明為解決由于樣品表面的熒光中介層的不均勻，導(dǎo)致面形高度誤差大的問題。本發(fā)明所述基于金屬銀增強熒光的自由曲面測量裝置的測量方法，在待測樣品表面鍍一層金屬熒光薄膜；激光器發(fā)出激光光束經(jīng)準直鏡和光闌形成平行光，經(jīng)偏振分光棱鏡、掃描振鏡和掃描透鏡在待測樣品上形成聚焦光斑，激發(fā)金屬熒光薄膜發(fā)出熒光；經(jīng)掃描透鏡、掃描振鏡、偏振分光棱鏡、濾光片、收集透鏡和針孔被光電探測器收集；通過軸向響應(yīng)曲線頂點位置確定待測樣品表面位置；三維微位載物臺帶動待測樣品在三維方向上移動，形成三維掃描成像。本發(fā)明用于測量大口徑自由曲面物體表面形貌。

技術(shù)研發(fā)人員：劉儉;劉辰光;李亮;劉妍;譚久彬
受保護的技術(shù)使用者：哈爾濱工業(yè)大學(xué)
文檔號碼：201710104479
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.24
技術(shù)公布日：2017.06.30