技術(shù)編號：12783403
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種基于金屬銀增強熒光的自由曲面測量裝置及其測量方法，屬于光學(xué)精密測量技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)在使用大口徑自由曲面樣品測量裝置時，利用物理氣相沉積技術(shù)，在樣品表面沉積一層弱附著的納米級厚度熒光介質(zhì)，構(gòu)建了一個各向同性熒光散射表面，而后收集樣品表面薄膜激發(fā)出的熒光得到軸向包絡(luò)曲線，通過圖像處理即可得到樣品表面形貌。但由于在其計算掃描點的z軸高度時，由于膜厚度的原因會引入一個共焦軸向響應(yīng)峰值位置偏移。實際情況下，由于樣品表面的熒光中介層的不均勻，這就引入了由于膜厚度不均勻引入的面形高度誤差。現(xiàn)有...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。