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光譜平衡的共聚焦測量裝置及方法與流程

文檔序號(hào):12712697閱讀:314來源:國知局
光譜平衡的共聚焦測量裝置及方法與流程
本發(fā)明涉及測量
技術(shù)領(lǐng)域
,特別涉及一種光譜平衡的共聚焦測量裝置及方法。
背景技術(shù)
:光譜共聚焦測量方法是使用多波長的光,通過色散在光軸上形成一個(gè)焦點(diǎn)帶,一次測量就可以測量出一個(gè)或多個(gè)沿光軸方向的距離。光譜共聚焦測量裝置從光源發(fā)射光,進(jìn)入耦合部后傳遞到采樣部,再投射到被測物,在被測物的表面形成載有測量信息的反射光后沿著原有的光路反向返回耦合部,其中部分或全部反射光經(jīng)過傳感部后,最終轉(zhuǎn)換成電信號(hào),以解析獲取測量結(jié)果?,F(xiàn)在的光譜共聚焦裝置普遍采用白光LED作為光源,但現(xiàn)有的白光LED主要采用藍(lán)光芯片激發(fā)黃色熒光粉的方案,光譜曲線如圖1實(shí)線所示,圖中的實(shí)線為光譜的強(qiáng)度曲線,可見其波動(dòng)很大,其低谷處的光強(qiáng)僅有尖峰處的15%~25%。圖1虛線表示在不考慮其它光譜響應(yīng)的情況下,在不同波長處得到的電信號(hào),其強(qiáng)度也會(huì)相應(yīng)地變化。另外,傳感部普遍采用CCD模組或CMOS模組,其光譜響應(yīng)曲線差異也很大,如圖2示例了一種普遍使用的CCD模組的光譜響應(yīng)曲線,橫坐標(biāo)為光的波長,縱坐標(biāo)為響應(yīng)度,該CCD模組在900nm處的響應(yīng)度僅有550nm處的20%。可見,現(xiàn)有的光譜共聚焦裝置都沒有對(duì)光譜進(jìn)行大幅度的平衡,造成光源發(fā)出光譜強(qiáng)度曲線與傳感部的光譜響應(yīng)曲線很不匹配,這樣轉(zhuǎn)換處理成電信號(hào)后也會(huì)在不同的波長處產(chǎn)生很大的差異,大大影響了測量精度。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明的主要目的是提供一種光譜平衡的共聚焦測量裝置及方法,旨在對(duì)光源進(jìn)行優(yōu)化設(shè)置,使光源發(fā)出的出射光在不同的波長時(shí)的光強(qiáng)分布曲線與傳感部的光譜響應(yīng)曲線在工作波段呈反向的走勢(shì),實(shí)現(xiàn)了光譜平衡優(yōu)化,提高了測量精度。為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提出的一種光譜平衡的共聚焦測量裝置,包括:光源,用于發(fā)出預(yù)設(shè)的光譜分布特性的出射光,所述出射光在不同的波長時(shí)的光強(qiáng)分布曲線與傳感部、采樣部和/或分光部的光譜響應(yīng)曲線在工作波段呈反向的走勢(shì);該描述指傳感部、采樣部、分光部其中之一或至少兩項(xiàng)的組合,優(yōu)選為全部的組合。以利于使獲取的反射光在不同波長強(qiáng)度更平衡。所述采樣部,用于接收所述光源出射的出射光產(chǎn)生軸向色差,使產(chǎn)生該軸向色差的光照射至被測物,且使由所述被測物返回的反射光通過;所述分光部,用于將不同波長的光按規(guī)律分配到傳感部,利于所述傳感部檢測;所述傳感部,用于將所述反射光轉(zhuǎn)換成電信號(hào),以解析獲取測量結(jié)果;耦合部,用于耦合所述光源發(fā)出的出射光傳輸經(jīng)過所述采樣部照射在所述被測物上;以及使所述被測物返回的反射光經(jīng)過所述采樣部傳輸?shù)剿龇止獠?。?yōu)選地,所述光源包括固態(tài)激發(fā)源和發(fā)光物質(zhì)。優(yōu)選地,所述固態(tài)激發(fā)源為發(fā)射波長在350~485nm的發(fā)光芯片,所述發(fā)光物質(zhì)包括在激發(fā)態(tài)下發(fā)射峰值在460~520nm的熒光粉、發(fā)射峰值在520~641nm的熒光粉和發(fā)射峰值大于641nm的熒光粉。優(yōu)選地,所述固態(tài)激發(fā)源為發(fā)光芯片,所述發(fā)光物質(zhì)包括量子點(diǎn)發(fā)光材料,所述量子點(diǎn)發(fā)光材料的發(fā)射峰值波長大于激發(fā)光波長至少100nm。優(yōu)選地,所述固態(tài)激發(fā)源和/或發(fā)光物質(zhì)為多個(gè),用于產(chǎn)生多種波段的激發(fā)光。優(yōu)選地,所述光譜平衡的共聚焦測量裝置還包括設(shè)置在光路中的濾光片,用于使出射光或反射光在不同的波長時(shí)的光強(qiáng)分布曲線與傳感部、采樣部和/或分光部的光譜響應(yīng)曲線在工作波段呈反向的走勢(shì)。本發(fā)明還提出的一種光譜平衡的共聚焦測量方法,包括如下步驟:控制光源發(fā)出的出射光以預(yù)設(shè)的光譜分布特性,使所述出射光在不同的波長時(shí)的光強(qiáng)分布曲線與傳感部、采樣部和/或分光部的光譜響應(yīng)曲線在工作波段呈反向的走勢(shì);所述出射光經(jīng)過耦合部耦合后傳遞至所述采樣部;所述出射光由所述采樣部調(diào)制后,照射在被測物表面形成反射光;所述反射光攜載所述被測物的測量信息返回,再經(jīng)過所述采樣部傳遞至所述耦合部;所述反射光所述反射光通過所述耦合部經(jīng)由所述分光部,最后進(jìn)入傳感部轉(zhuǎn)換成電信號(hào),以解析獲取測量結(jié)果。優(yōu)選地,所述控制光源發(fā)出的出射光以預(yù)設(shè)的光譜分布特性,使所述出射光在不同的波長時(shí)的光強(qiáng)分布曲線與傳感部、采樣部和/或分光部的光譜響應(yīng)曲線在工作波段呈反向的走勢(shì)這一步驟,具體包括:所述光源采用固態(tài)激發(fā)源激發(fā)發(fā)光物質(zhì)的發(fā)光方式,通過對(duì)發(fā)光物質(zhì)的成分進(jìn)行設(shè)置,發(fā)出所述出射光。優(yōu)選地,所述光譜平衡的共聚焦測量方法還包括:在工作波長段內(nèi)不同波長位置由所述傳感部轉(zhuǎn)換出的電信號(hào)強(qiáng)度幅度差異小于50%。優(yōu)選地,所述光譜平衡的共聚焦測量方法還包括:使光需經(jīng)過光纖傳輸,在所述控制光源發(fā)出的出射光以預(yù)設(shè)的光譜分布特性的過程中,考慮光纖的光譜響應(yīng)特性,使工作波段內(nèi)不同波長的光返回傳感部后轉(zhuǎn)換的電信號(hào)更均衡。本發(fā)明技術(shù)方案中,光譜平衡的共聚焦測量裝置通過對(duì)光源進(jìn)行優(yōu)化設(shè)置,使光源發(fā)出的出射光在不同的波長時(shí)的光強(qiáng)分布曲線與傳感部的光譜響應(yīng)曲線在工作波段呈反向的走勢(shì),實(shí)現(xiàn)了光譜平衡優(yōu)化,提高了測量精度。附圖說明為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖示出的結(jié)構(gòu)獲得其他的附圖。圖1為現(xiàn)有技術(shù)中白光LED的發(fā)光光譜曲線圖;圖2為現(xiàn)有技術(shù)中CCD光譜響應(yīng)曲線圖;圖3為本發(fā)明實(shí)施例光譜平衡的共聚焦測量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;圖4為本發(fā)明實(shí)施例光譜平衡的共聚焦測量裝置的原理示意圖;圖5為本發(fā)明一實(shí)施例光譜平衡的共聚焦測量裝置實(shí)測的不同波長的電信號(hào)圖。附圖3標(biāo)號(hào)說明:標(biāo)號(hào)名稱標(biāo)號(hào)名稱1光源5傳感部2耦合部6光纖3采樣部7被測物4分光部8電信號(hào)本發(fā)明目的的實(shí)現(xiàn)、功能特點(diǎn)及優(yōu)點(diǎn)將結(jié)合實(shí)施例,參照附圖做進(jìn)一步說明。具體實(shí)施方式下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明的一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒景l(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。需要說明,本發(fā)明實(shí)施例中所有方向性指示(諸如上、下、左、右、前、后……)僅用于解釋在某一特定姿態(tài)(如附圖所示)下各部件之間的相對(duì)位置關(guān)系、運(yùn)動(dòng)情況等,如果該特定姿態(tài)發(fā)生改變時(shí),則該方向性指示也相應(yīng)地隨之改變。另外,在本發(fā)明中如涉及“第一”、“第二”等的描述僅用于描述目的,而不能理解為指示或暗示其相對(duì)重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括至少一個(gè)該特征。在本發(fā)明的描述中,“多個(gè)”的含義是至少兩個(gè),例如兩個(gè),三個(gè)等,除非另有明確具體的限定。在本發(fā)明中,除非另有明確的規(guī)定和限定,術(shù)語“連接”、“固定”等應(yīng)做廣義理解,例如,“固定”可以是固定連接,也可以是可拆卸連接,或成一體;可以是機(jī)械連接,也可以是電連接;可以是直接相連,也可以通過中間媒介間接相連,可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通或兩個(gè)元件的相互作用關(guān)系,除非另有明確的限定。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。另外,本發(fā)明各個(gè)實(shí)施例之間的技術(shù)方案可以相互結(jié)合,但是必須是以本領(lǐng)域普通技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)為基礎(chǔ),當(dāng)技術(shù)方案的結(jié)合出現(xiàn)相互矛盾或無法實(shí)現(xiàn)時(shí)應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種技術(shù)方案的結(jié)合不存在,也不在本發(fā)明要求的保護(hù)范圍之內(nèi)。請(qǐng)參見圖3,本發(fā)明提出的一種光譜平衡的共聚焦測量裝置,包括:光源1,用于發(fā)出預(yù)設(shè)的光譜分布特性的出射光,所述出射光在不同的波長時(shí)的光強(qiáng)分布曲線與傳感部5、采樣部3和/或分光部4的光譜響應(yīng)曲線在工作波段呈反向的走勢(shì);采樣部3,用于接收所述光源1出射的出射光產(chǎn)生軸向色差,使產(chǎn)生該軸向色差的光照射至被測物7,且使由所述被測物7返回的反射光通過;所述分光部4,用于將不同波長的光按規(guī)律分配到傳感部5,利于所述傳感部5檢測;所述傳感部5,用于將所述反射光轉(zhuǎn)換成電信號(hào)8,以解析獲取測量結(jié)果;耦合部2,用于耦合所述光源1發(fā)出的出射光傳輸經(jīng)過所述采樣部3照射在所述被測物7上;以及使所述被測物7返回的反射光經(jīng)過所述采樣部3傳輸?shù)剿龇止獠?。本實(shí)施例的測量裝置工作過程大致如下:從光源1發(fā)射光,進(jìn)入耦合部2后經(jīng)由光纖6傳遞到采樣部3,再投射到被測物7,在被測物7的表面形成載有測量信息的反射光后沿著原有的光路反向返回耦合部2,其中部分或全部反射光經(jīng)過分光部4后,由傳感部5轉(zhuǎn)換成電信號(hào)8,以解析獲取測量結(jié)果。需要指出的是,在本實(shí)施例中,光源1可以是各種合適使用的光源,采樣部3可以是各種結(jié)構(gòu)的光譜共聚焦鏡頭,光傳感部5可以是CCD、CMOS、硅光電池,但并不局限于本文所描述的特例。同時(shí),由于光源1的化學(xué)或物理特性限制,做到光譜曲線的差異完全抵消是很難實(shí)現(xiàn)的,所以本實(shí)施例使用“走勢(shì)”一詞,走勢(shì)的意思是大體的彎曲方向或變化趨勢(shì),在走勢(shì)優(yōu)化的情況下運(yùn)行有局部小差異或波動(dòng)。本實(shí)施例的共聚焦測量裝置還包括設(shè)于傳感部5之前的分光部4,該分光部4可以是衍射光柵,以將不同波長的光分配到光傳感部5不同的位置以利于光譜測量。另外本實(shí)施例描述的工作波段是測量裝置標(biāo)稱的量程段所對(duì)應(yīng)的波段,主要工作波段也可以理解工作波段內(nèi)的大部分區(qū)域。由于有時(shí)難以湊到合適的發(fā)光波長的物質(zhì),所以可以允許局部波長達(dá)不到走勢(shì)相反,但主要工作波段內(nèi)平衡光譜也能達(dá)到相當(dāng)大的一致性提升。在圖4中顯示了光譜平衡的原理,實(shí)線1表示光傳感部、采樣部、分光部之一或組合的光譜響應(yīng)曲線,虛線2表示表示光源出射光光譜曲線,該兩條曲線呈反向走勢(shì),使得其大部分差異相互抵消,使得轉(zhuǎn)換得到的電信號(hào)在不同波長處的強(qiáng)度更平衡。本實(shí)施例綜合地平衡光譜,通過調(diào)節(jié)或優(yōu)選光源1的光譜,使之與其他部件的光譜大致的走勢(shì)相反,從而使得這種差異性部分或全部的相互抵消,使得測量裝置在硬件上就實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)換出來的電信號(hào)差異性減少,在工作波長段或主要工作波長段內(nèi)不同波長處的測量效果比較均衡。由于調(diào)節(jié)光源1具有能量利用率高、調(diào)節(jié)范圍大的優(yōu)點(diǎn),通過對(duì)光源1進(jìn)行優(yōu)化設(shè)置,使光源1發(fā)出的出射光在不同的波長時(shí)的光強(qiáng)分布曲線與傳感部5的光譜響應(yīng)曲線在工作波段呈反向的走勢(shì),實(shí)現(xiàn)了光譜平衡優(yōu)化,提高了測量精度。本實(shí)施例綜合地平衡光譜,通過調(diào)節(jié)或優(yōu)選但不僅限于光源1的光譜,使之與其他部件的光譜大致的走勢(shì)相反,從而使得這種差異性部分或全部的相互抵消,使得測量裝置在硬件上就實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)換出來的電信號(hào)差異性減少,在工作波長段或主要工作波長段內(nèi)不同波長處的測量效果比較均衡。由于調(diào)節(jié)光源1具有能量利用率高、調(diào)節(jié)范圍大的優(yōu)點(diǎn),通過對(duì)光源1進(jìn)行優(yōu)化設(shè)置,使光源1發(fā)出的出射光在不同的波長時(shí)的光強(qiáng)分布曲線與傳感部5的光譜響應(yīng)曲線在工作波段呈反向的走勢(shì),實(shí)現(xiàn)了光譜平衡優(yōu)化,提高了測量精度。優(yōu)選地,所述光源1包括固態(tài)激發(fā)源(圖未示)和發(fā)光物質(zhì)(圖未示)。作為一種優(yōu)選實(shí)施例,所述光源1包括固態(tài)激發(fā)源和發(fā)光物質(zhì),其中固態(tài)激發(fā)源具有工作壽命長、使用穩(wěn)定性好的優(yōu)點(diǎn),能提高整個(gè)測量裝置的可靠性。優(yōu)選地,所述固態(tài)激發(fā)源為發(fā)射波長在350~485nm的發(fā)光芯片,所述發(fā)光物質(zhì)包括在激發(fā)態(tài)下發(fā)射峰值在460~520nm的熒光粉、發(fā)射峰值在520~641nm的熒光粉和發(fā)射峰值大于641nm的熒光粉。作為一種優(yōu)選實(shí)施例,所述固態(tài)激發(fā)源為發(fā)射波長在350~485nm的發(fā)光芯片,所述發(fā)光物質(zhì)包括在激發(fā)態(tài)下發(fā)射峰值在460~520nm的熒光粉、發(fā)射峰值在520~641nm的熒光粉和發(fā)射峰值大于641nm的熒光粉,能使光源1發(fā)出帶寬較大的出射光。如圖5所述,本實(shí)施例優(yōu)化后的光,在工作波段的光能占光傳感部受光能的比例大于60%,使傳感部5轉(zhuǎn)換出的電信號(hào)8差異小于50%。優(yōu)選地,所述固態(tài)激發(fā)源為發(fā)光芯片,所述發(fā)光物質(zhì)包括量子點(diǎn)發(fā)光材料,所述量子點(diǎn)發(fā)光材料的發(fā)射峰值波長大于激發(fā)光波長至少100nm。作為一種優(yōu)選實(shí)施例,所述固態(tài)激發(fā)源為發(fā)光芯片,所述發(fā)光物質(zhì)包括量子點(diǎn)發(fā)光材料,所述量子點(diǎn)發(fā)光材料的發(fā)射峰值大于激發(fā)光波長至少100nm,由于量子點(diǎn)發(fā)光材料的激發(fā)光吸收峰與發(fā)射峰的間距較大,因此上述配置的光源1產(chǎn)生的激發(fā)光和出射光的光譜波長差異更加明顯,能夠提高光源的光效。優(yōu)選地,所述固態(tài)激發(fā)源和/或發(fā)光物質(zhì)為多個(gè),用于產(chǎn)生多種波段的激發(fā)光。作為一種優(yōu)選實(shí)施例,所述固態(tài)激發(fā)源和/或發(fā)光物質(zhì)為多個(gè),用于產(chǎn)生多種波段的激發(fā)光,使出射光的光強(qiáng)分布更加符合預(yù)設(shè)的光譜分布特性,提高測量精度。優(yōu)選地,所述光譜平衡的共聚焦測量裝置還包括設(shè)置在光路中的濾光片,用于使出射光或反射光在不同的波長時(shí)的光強(qiáng)分布曲線與傳感部5、采樣部3和/或分光部4的光譜響應(yīng)曲線在工作波段呈反向的走勢(shì)。作為一種優(yōu)選實(shí)施例,所述光譜平衡的共聚焦測量裝置還包括設(shè)置在光路中的濾光片,用于使出射光或反射光在不同的波長時(shí)的光強(qiáng)分布曲線與傳感部5、采樣部3和/或分光部4的光譜響應(yīng)曲線在工作波段呈反向的走勢(shì),具體地,可將此濾光片設(shè)置在從光源1到傳感部5之間光路的任意位置,濾光片的光譜透過率曲線可以按照需要定制,以進(jìn)一步對(duì)光的強(qiáng)度曲線進(jìn)行調(diào)制,提高測量精度??梢岳斫獾?,本實(shí)施例還包括設(shè)置在各組件上的鍍膜,如耦合部2、采樣部3、分光部4及傳感部5,通過膜層同樣能實(shí)現(xiàn)濾光片的效果。本發(fā)明提出一種光譜平衡的共聚焦測量方法。在本發(fā)明一實(shí)施例中,該方法包括如下步驟:控制光源發(fā)出的出射光以預(yù)設(shè)的光譜分布特性,使所述出射光在不同的波長時(shí)的光強(qiáng)分布曲線與傳感部、采樣部和/或分光部的光譜響應(yīng)曲線在工作波段呈反向的走勢(shì);所述出射光經(jīng)過耦合部耦合后傳遞至所述采樣部;所述出射光由所述采樣部調(diào)制后,照射在被測物表面形成反射光;所述反射光攜載所述被測物的測量信息返回,再經(jīng)過所述采樣部傳遞至所述耦合部;所述反射光通過所述耦合部經(jīng)由所述分光部,最后進(jìn)入傳感部轉(zhuǎn)換成電信號(hào),以解析獲取測量結(jié)果。需要指出的是,在本實(shí)施例中,光源可以是各種合適使用的光源,采樣部可以是各種結(jié)構(gòu)的光譜共聚焦鏡頭,光傳感部可以是CCD、CMOS、硅光電池,但并不局限于本文所描述的特例。同時(shí),由于光源的化學(xué)或物理特性限制,做到光譜曲線的差異完全抵消是很難實(shí)現(xiàn)的,所以本實(shí)施例使用“走勢(shì)”一詞,走勢(shì)的意思是大體的彎曲方向或變化趨勢(shì),在走勢(shì)優(yōu)化的情況下運(yùn)行有局部小差異或波動(dòng)。在圖4中顯示了光譜平衡的原理,實(shí)線1表示光傳感部、采樣部、分光部之一或組合的光譜響應(yīng)曲線,虛線2表示表示光源出射光光譜曲線,該兩條曲線呈反向走勢(shì),使得其大部分差異相互抵消,使得轉(zhuǎn)換得到的電信號(hào)在不同波長處的強(qiáng)度更平衡。在圖5中顯示了光譜平衡后的裝置在實(shí)際共焦測量時(shí)得到的不同波長處的電信號(hào)曲線,可以看到強(qiáng)度更平衡。本實(shí)施例綜合地平衡光譜,通過調(diào)節(jié)或優(yōu)選光源的光譜,使之與其他部件的光譜大致的走勢(shì)相反,從而使得這種差異性部分或全部的相互抵消,使得測量裝置在硬件上就實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)換出來的電信號(hào)差異性減少,在工作波長段或主要工作波長段內(nèi)不同波長處的測量效果比較均衡。調(diào)節(jié)光源具有能量利用率高、調(diào)節(jié)范圍大的優(yōu)點(diǎn),通過對(duì)光源進(jìn)行優(yōu)化設(shè)置,使光源發(fā)出的出射光在不同的波長時(shí)的光強(qiáng)分布曲線與傳感部與其他部件組合的光譜響應(yīng)曲線在工作波段呈反向的走勢(shì),實(shí)現(xiàn)了光譜平衡優(yōu)化,提高了測量精度。優(yōu)選地,所述控制光源發(fā)出的出射光以預(yù)設(shè)的光譜分布特性,使所述出射光在不同的波長時(shí)的光強(qiáng)分布曲線與傳感部、采樣部和/或分光部的光譜響應(yīng)曲線在工作波段呈反向的走勢(shì)這一步驟,具體包括:所述光源采用固態(tài)激發(fā)源激發(fā)發(fā)光物質(zhì)的發(fā)光方式,通過對(duì)發(fā)光物質(zhì)的成分進(jìn)行設(shè)置,發(fā)出所述出射光。作為一種優(yōu)選實(shí)施例,所述控制光源發(fā)出的出射光以預(yù)設(shè)的光譜分布特性,使所述出射光在不同的波長時(shí)的光強(qiáng)分布曲線與傳感部、采樣部和/或分光部的光譜響應(yīng)曲線在工作波段呈反向的走勢(shì)這一步驟,具體包括:所述光源采用固態(tài)激發(fā)源激發(fā)發(fā)光物質(zhì)的發(fā)光方式,通過對(duì)發(fā)光物質(zhì)的成分進(jìn)行設(shè)置,發(fā)出所述出射光。其中固態(tài)激發(fā)源具有工作壽命長、使用穩(wěn)定性好的優(yōu)點(diǎn),能提高整個(gè)測量裝置的可靠性。優(yōu)選地,所述光譜平衡的共聚焦測量方法還包括:在工作波長段內(nèi)不同波長位置由所述傳感部轉(zhuǎn)換出的電信號(hào)強(qiáng)度幅度差異小于50%。優(yōu)選地,所述光譜平衡的共聚焦測量方法還包括:使光需經(jīng)過光纖傳輸,在所述控制光源發(fā)出的出射光以預(yù)設(shè)的光譜分布特性的過程中,考慮光纖的光譜響應(yīng)特性,使工作波段內(nèi)不同波長的光返回傳感部后轉(zhuǎn)換的電信號(hào)更均衡。作為一種優(yōu)選實(shí)施例,還可以綜合設(shè)置光纖的材質(zhì)特性,使光經(jīng)過光纖傳輸,在所述控制光源發(fā)出的出射光以預(yù)設(shè)的光譜分布特性的過程中,考慮光纖的光譜響應(yīng)特性,使工作波段內(nèi)不同波長的光返回傳感部后轉(zhuǎn)換的電信號(hào)更均衡。以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例,并非因此限制本發(fā)明的專利范圍,凡是在本發(fā)明的構(gòu)思下,利用本發(fā)明說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)變換,或直接/間接運(yùn)用在其他相關(guān)的
技術(shù)領(lǐng)域
均包括在本發(fā)明的專利保護(hù)范圍內(nèi)。當(dāng)前第1頁1 2 3 
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