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一種全內(nèi)反射檢測(cè)工作平臺(tái)的制作方法

文檔序號(hào):11912624閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種全內(nèi)反射檢測(cè)工作平臺(tái),由接收裝置、載物臺(tái)和全內(nèi)反射棱鏡組成,其特征在于:檢測(cè)工作平臺(tái)分為倒置式和正置式兩種。倒置式為:接收裝置安裝在載物臺(tái)下方的位置處,載物臺(tái)下方的表面安裝有獨(dú)立、可拆卸的全內(nèi)反射棱鏡,在載物臺(tái)上方的位置處安裝有顯微鏡鏡頭裝置?;蛘檬綖椋航邮昭b置安裝在載物臺(tái)上方的位置處,載物臺(tái)上方的表面安裝有獨(dú)立、可拆卸的全內(nèi)反射棱鏡,在載物臺(tái)下方的位置處安裝顯微鏡鏡頭裝置。接收裝置在朝載物臺(tái)方向的頂端,安裝有透鏡和濾光片,接收聚焦和篩選的全內(nèi)反射熒光信號(hào)。載物臺(tái)下表面加工有四個(gè)棱鏡緊固裝置和棱鏡卡具緊固器,能夠固定全內(nèi)反射用的高折射率棱鏡。本發(fā)明有益效果是本發(fā)明采用使用不同規(guī)格的全內(nèi)反射棱鏡,來(lái)完成檢測(cè)任務(wù),能夠快速地調(diào)整全內(nèi)反射入射角,對(duì)檢測(cè)芯片的適應(yīng)性強(qiáng)。

技術(shù)研發(fā)人員:徐文峰;廖曉玲;徐紫宸
受保護(hù)的技術(shù)使用者:重慶科技學(xué)院
文檔號(hào)碼:201710071530
技術(shù)研發(fā)日:2017.02.09
技術(shù)公布日:2017.05.17

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