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雙轉(zhuǎn)盤式顯微掃描結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):12548647閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明雙轉(zhuǎn)盤式顯微掃描結(jié)構(gòu)屬于顯微測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種用于橢球反射照明顯微測(cè)量裝置中的掃描機(jī)構(gòu);該結(jié)構(gòu)包括第一轉(zhuǎn)盤和第二轉(zhuǎn)盤;第一轉(zhuǎn)盤沿半徑方向開(kāi)有通槽,第二轉(zhuǎn)盤開(kāi)有螺旋形狀的通槽,第一轉(zhuǎn)盤通槽和第二轉(zhuǎn)盤通槽的組合,形成通光孔;第二轉(zhuǎn)盤相對(duì)于第一轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動(dòng),能夠改變徑向照明角度;第二轉(zhuǎn)盤和第一轉(zhuǎn)盤整體轉(zhuǎn)動(dòng),能夠改變軸向照明角度;本發(fā)明雙轉(zhuǎn)盤式顯微掃描結(jié)構(gòu),針對(duì)橢球反射照明顯微測(cè)量裝置的特殊結(jié)構(gòu),提供了一種能夠置于顯微測(cè)量裝置內(nèi)部的掃描機(jī)構(gòu),實(shí)現(xiàn)了徑向30至120度的掃描范圍以及軸向360度的掃描范圍。

技術(shù)研發(fā)人員:趙煙橋;于博洋;樊琪
受保護(hù)的技術(shù)使用者:哈爾濱理工大學(xué)
文檔號(hào)碼:201710036106
技術(shù)研發(fā)日:2017.01.17
技術(shù)公布日:2017.06.06

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