1.一種表面加工精度檢測設(shè)備,包括底座(21)、橋支架(16)、安裝座(17)、工控機(jī)、可沿X軸方向來回運(yùn)動的工作平臺組件、可沿Y軸方向來回運(yùn)動的Y軸組件以及可沿Z軸方向來回運(yùn)動的Z軸組件,所述工作平臺組件裝在底座(21)上,所述橋支架(16)底部裝在底座(21)上,所述安裝座(17)裝在橋支架(16)上部,所述Y軸組件裝在安裝座(17)上,所述Z軸組件裝在Y軸組件上,其特征在于:還包括激光探頭(20)、信號處理器(14)以及橫截面呈U型的槽板(19),所述槽板(19)和信號處理器(14)均裝在Z軸組件上,所述激光探頭(20)裝在槽板(19)的凹槽內(nèi),所述激光探頭(20)與信號處理器(14)信號連接,所述信號處理器(14)與工控機(jī)信號連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種表面加工精度檢測設(shè)備,其特征在于:所述工作平臺組件包括X軸滑軌組件(22)、X軸絲桿螺母組件(23)、X軸伺服電機(jī)(24)以及用于放置待測產(chǎn)品的工作平臺(11),所述X軸滑軌組件(22)裝在工作平臺(11)與底座(21)之間,所述X軸伺服電機(jī)(24)裝在底座(21)上,所述X軸絲桿螺母組件(23)中的絲桿與X軸伺服電機(jī)(24)的轉(zhuǎn)軸連接,所述X軸絲桿螺母組件(23)中的螺母裝在工作平臺(11)底面上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種表面加工精度檢測設(shè)備,其特征在于:所述Y軸組件包括Y軸滑板(15)、Y軸滑軌組件(28)、Y軸絲桿螺母組件(27)以及Y軸伺服電機(jī)(18),所述Y軸滑軌組件(28)裝在Y軸滑板(15)與安裝座(17)之間,所述Y軸伺服電機(jī)(18)裝在安裝座(17)上,所述Y軸絲桿螺母組件(27)中的絲桿與Y軸伺服電機(jī)(18)的轉(zhuǎn)軸連接,所述Y軸絲桿螺母組件(27)中的螺母裝在Y軸滑板(15)側(cè)面上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種表面加工精度檢測設(shè)備,其特征在于:所述Z軸組件包括Z軸滑板(12)、Z軸滑軌組件(25)、Z軸絲桿螺母組件(26)以及Z軸伺服電機(jī)(13),所述Z軸滑軌組件(25)裝在Z軸滑板(12)與Y軸滑板(15)之間,所述Z軸伺服電機(jī)(13)裝在Y軸滑板(15)上,所述Z軸絲桿螺母組件(26)中的絲桿與Z軸伺服電機(jī)(13)的轉(zhuǎn)軸連接,所述Z軸絲桿螺母組件(26)中的螺母裝在Z軸滑板(12)上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種表面加工精度檢測設(shè)備,其特征在于:所述工作平臺(11)、Y軸滑板(15)以及Z軸滑板(12)的兩端均裝有風(fēng)琴防護(hù)罩(10)。