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一種基于數(shù)字全息掃描的三維形貌測量裝置的制作方法

文檔序號:11684034閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了一種基于數(shù)字全息掃描的三維形貌測量裝置,包括一個移動測量裝置和數(shù)字全息檢測模塊,所述數(shù)字全息檢測模塊裝配在一個移動測量裝置上,所述數(shù)字全息檢測模塊上設(shè)有測量待測工件平面到CCD/CMOS圖像傳感器窗口平面的距離的激光測距儀,通過激光測距儀的記錄距離得到CCD/CMOS圖像傳感器上物光波和參考光波的干涉強(qiáng)度信息;實現(xiàn)數(shù)字全息檢測模塊在移動測量裝置的帶動下對大型待測工件表面區(qū)域進(jìn)行測量。該裝置通過對子測量區(qū)域三維模型進(jìn)行激光測距和圖像拼接,得到大型工件表面的三維形貌,降低了儀器對三軸龍門式位移平臺或機(jī)械臂運(yùn)動精度的要求。

技術(shù)研發(fā)人員:姚震;吳易明;樊鵬格;朱帆;尹遜龍
受保護(hù)的技術(shù)使用者:西安中科光電精密工程有限公司
文檔號碼:201621301243
技術(shù)研發(fā)日:2016.11.30
技術(shù)公布日:2017.07.21

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