1.一種基于數(shù)字全息掃描的三維形貌測(cè)量裝置，包括一個(gè)移動(dòng)測(cè)量裝置和數(shù)字全息檢測(cè)模塊，其特征在于，所述數(shù)字全息檢測(cè)模塊裝配在一個(gè)移動(dòng)測(cè)量裝置上，所述數(shù)字全息檢測(cè)模塊上設(shè)有測(cè)量待測(cè)工件平面到CCD/CMOS圖像傳感器窗口平面的距離的激光測(cè)距儀，通過(guò)激光測(cè)距儀的記錄距離得到CCD/CMOS圖像傳感器上物光波和參考光波的干涉強(qiáng)度信息；實(shí)現(xiàn)數(shù)字全息檢測(cè)模塊在移動(dòng)測(cè)量裝置的帶動(dòng)下對(duì)大型待測(cè)工件表面區(qū)域進(jìn)行測(cè)量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于數(shù)字全息掃描的三維形貌測(cè)量裝置，其特征在于，所述數(shù)字全息檢測(cè)模塊包括一激光器，激光器出射激光束面上設(shè)有一塊半透半反棱鏡，在半透半反棱鏡和激光器之間設(shè)置有空間濾波器；在所述半透半反棱鏡半透射方向設(shè)置有一塊波長(zhǎng)選擇分光棱鏡，激光測(cè)距儀設(shè)在波長(zhǎng)選擇分光棱鏡上方；在所述半透半反棱鏡上方設(shè)有一CCD/CMOS光電耦合器，在所述半透半反棱鏡下方設(shè)有一平面反射鏡，波長(zhǎng)選擇分光棱鏡的反射光路上設(shè)有待測(cè)工件。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于數(shù)字全息掃描的三維形貌測(cè)量裝置，其特征在于，所述移動(dòng)測(cè)量裝置為龍門三坐標(biāo)或六自由度機(jī)械臂。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于數(shù)字全息掃描的三維形貌測(cè)量裝置，其特征在于，所述移動(dòng)測(cè)量裝置與計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)相連。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基于數(shù)字全息掃描的三維形貌測(cè)量裝置，其特征在于，所述波長(zhǎng)選擇分光棱鏡鍍有一層選擇性透反射膜。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基于數(shù)字全息掃描的三維形貌測(cè)量裝置，其特征在于，所述空間濾波器包括顯微物鏡和設(shè)在顯微物鏡上的針孔，空間濾波器的出射光路上設(shè)有一個(gè)準(zhǔn)直鏡頭。